“精確度”是探測(cè)儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個(gè)層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測(cè)到小型墊片,載臺(tái)系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動(dòng)晶圓托盤(pán),并在晶圓移動(dòng)的過(guò)程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對(duì)位;其次,必須具備動(dòng)態(tài)監(jiān)控機(jī)制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性;后,必須對(duì)高產(chǎn)出的進(jìn)階移動(dòng)做動(dòng)態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言,針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,為了強(qiáng)化更小晶粒定位的精確性,需要?jiǎng)討B(tài)的Z軸輔助校正工作,以避免無(wú)謂的產(chǎn)出損失。探針尖接觸電阻即探針尖與焊點(diǎn)之間接觸時(shí)的層間電阻。云南全自動(dòng)探針臺(tái)供應(yīng)
探針臺(tái)市場(chǎng)占有率及行業(yè)分析:針對(duì)于電學(xué)量測(cè)分析設(shè)備,探針臺(tái)則是眾多量測(cè)設(shè)備之一,探針臺(tái)也是不可或缺的一部分,就目前國(guó)內(nèi)探針臺(tái)設(shè)備的占有率來(lái)講,好的型產(chǎn)品主要集中在歐美以及日本品牌,中端設(shè)備主要集中在品牌,而對(duì)于量測(cè)精度而言,產(chǎn)設(shè)備具有一定的優(yōu)勢(shì),我公司探針臺(tái)系列產(chǎn)品量測(cè)組件均采用歐美品牌設(shè)備,所以在量測(cè)精度上來(lái)講,可以與歐美及日本品牌相媲美,價(jià)格適中,應(yīng)用普遍,并與國(guó)內(nèi)多家高校及研究所合作。這是由于射頻傳輸線(xiàn)和電壓探針之間缺乏阻抗匹配,插入常用電壓探針會(huì)使得結(jié)果出現(xiàn)很大偏差。云南全自動(dòng)探針臺(tái)供應(yīng)重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命。
晶圓級(jí)半自動(dòng)面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù):垂直或面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái),通用性設(shè)計(jì);容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測(cè)試);提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能,實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試;磁場(chǎng)強(qiáng)度≥330mT;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150mm,調(diào)節(jié)精度2μm;T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,小至調(diào)節(jié)精度5’。晶圓級(jí)半自動(dòng)二維磁場(chǎng)探針臺(tái):詳細(xì)參數(shù)可對(duì)晶圓施加垂直或面內(nèi)磁場(chǎng),兼容性設(shè)計(jì);容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測(cè)試);提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能,實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試;磁場(chǎng)強(qiáng)度≥0.7T;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150mm,調(diào)節(jié)精度2μm;T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,小到調(diào)節(jié)精度5’。
x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng):無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái),x-y向工作臺(tái)都是其很中心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障,而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在小編只對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一一介紹。平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi),定子是基礎(chǔ)平臺(tái),動(dòng)子和定子間有一層氣墊,動(dòng)子浮于氣墊上,而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái),由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損,使用壽命長(zhǎng)。隨著探針接觸到焊點(diǎn)金屬的亞表層,這些效應(yīng)將增加。
探針臺(tái)概要:晶圓探針臺(tái)是在半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)和制造過(guò)程中用于晶片電氣檢查的設(shè)備。在電氣檢查中,通過(guò)探針或探針卡向晶片上的各個(gè)設(shè)備提供來(lái)自測(cè)量?jī)x器或測(cè)試器的測(cè)試信號(hào),并返回來(lái)自設(shè)備的響應(yīng)信號(hào)。在這種情況下,晶片探測(cè)器用于輸送晶片并接觸設(shè)備上的預(yù)定位置。探針臺(tái)是檢測(cè)芯片的重要設(shè)備,在芯片的設(shè)計(jì)驗(yàn)證階段,主要工作是檢測(cè)芯片設(shè)計(jì)的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),在檢測(cè)過(guò)程中會(huì)對(duì)芯片樣品逐一檢查,只有通過(guò)設(shè)計(jì)驗(yàn)證的產(chǎn)品型號(hào)才會(huì)量產(chǎn)。晶圓測(cè)試一般在晶圓廠(chǎng)、封測(cè)廠(chǎng)或?qū)iT(mén)的測(cè)試代工廠(chǎng)進(jìn)行,主要用到的設(shè)備為測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)。探針臺(tái)由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損,使用壽命長(zhǎng)。浙江全自動(dòng)探針臺(tái)哪里有
探針尖磨損和污染都會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響。云南全自動(dòng)探針臺(tái)供應(yīng)
錸鎢探針的針尖尖部經(jīng)過(guò)特殊工藝加工而成,針錐精度高,具有厲害度和彈性模量,產(chǎn)品更耐磨、更耐腐蝕,表面光滑無(wú)傷,光潔度可達(dá)到Ra0.25以下,幾乎為鏡面。錸鎢探針有不同的針尖類(lèi)型,即不同的尖部形狀,例如,針尖帶平臺(tái),針尖完全尖以及針尖為圓??;探針直徑為0.05-1.2mm,長(zhǎng)度為15-300mm,尖部為0.08-100μm。錸鎢探針主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、LCD等行業(yè),應(yīng)用于探針卡、探針臺(tái)、芯片測(cè)試、晶圓測(cè)試和LED芯片測(cè)試等領(lǐng)域。上海勤確科技有限公司。云南全自動(dòng)探針臺(tái)供應(yīng)