手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術(shù)參數(shù)。探針臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。全自動探針臺生產(chǎn)

探針卡沒焊到位，是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮，使針尖偏離壓點區(qū)，而針虛焊和布線斷線或短路，測試時都要測不穩(wěn)，所以焊針時，應(yīng)憑自己的經(jīng)驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點,焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置，檢查針的牢固性。技術(shù)員平時焊完卡后應(yīng)注意檢查探針卡的質(zhì)量如何，把背面的突起物和焊錫線頭剪平，否則要扎傷AL層，造成短路或斷路，而操作工也應(yīng)在測試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測大電流時，針尖上要引起多AL粉，使電流測不穩(wěn)，所以需要經(jīng)常用灑精清洗探針并用氮氣吹干，同時測試時邊測邊吹氮氣，以減少針尖上的AL粉。全自動探針臺生產(chǎn)隨著探針接觸到焊點金屬的亞表層，這些效應(yīng)將增加。

射頻測試探針必須具有與測試點相匹配的阻抗。通常要做的是在設(shè)計中各個預先計劃好的測試點焊接射頻同軸電纜（尾纖）。這有助于確保足夠的阻抗匹配，并且測試點可以選在對整體設(shè)計性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤或者引線設(shè)計上，從而減少侵入性探測。高性能測試設(shè)備供應(yīng)商可以提供高達毫米波頻率的用探針。但這些探針的末端通常都很昂貴，且無法持續(xù)訪問組成元件的電路。因此，它們在大容量的測試應(yīng)用或者故障排除應(yīng)用中受到限制，更適合于原型設(shè)計和研發(fā)。

X系列探針臺：1、基板采用鑄件為基準進行設(shè)計，使運動的穩(wěn)定性得到提升，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2、運動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導軌和絲桿；反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環(huán)的反饋檢測，以保證實現(xiàn)高精度高溫度性的運動系統(tǒng)。3、整個四維運動設(shè)計成低重心的緊湊結(jié)構(gòu)，保證其速率能到達70mm/s，并能提高運動過程中的加速。4、關(guān)鍵零件用導電的表面處理，保證每個位置能進行接地保護。探針尖磨損和污染也會對測試結(jié)果造成極大的負面影響。

探針臺由哪些部分組成？樣品臺（載物臺）：是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計大小，并配套了相應(yīng)的精密移動定位功能。光學元件：這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物，以便精確地將探針尖銳端對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用立體變焦顯微鏡，有的采用數(shù)碼相機，或者兩者兼有?？ūP：有一個非常平坦的金屬表面，卡盤用夾具來固定待測物，或使用真空來吸附晶圓。探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。上海勤確科技有限公司追求客戶的數(shù)量遠不是我們的目的。全自動探針臺生產(chǎn)

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下面我們來簡單講講選擇探針臺設(shè)備時需要注意事項：一、機械加工精度；二、電學量測精度三、環(huán)境要求，如：真空環(huán)境、高溫、低溫環(huán)境、磁場環(huán)境及其它。四、光學成像；五、自動化控制精度?？傮w而言，具有清晰并高景深的微觀成像，再通過準確的探針裝置對探針進行多方向移動，對準量測點，進行信號加載，通過高精度線纜將所需測試數(shù)據(jù)傳輸至量測儀表，以達到所需得到的分析數(shù)據(jù)，所以，如果想得到高質(zhì)量的分析數(shù)據(jù)，從成像到點針，再到數(shù)據(jù)傳輸每項步驟都會起到重要的作用，另外振動對精度也有一定的影響。全自動探針臺生產(chǎn)