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來源: 發(fā)布時間:2024-07-05

隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備,在整個半導體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用,是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設備之一。隨著自動化技術(shù)的飛速發(fā)展,市場對自動化探針臺需求旺盛。自動化探針臺搭配測試機能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學參數(shù)進行測試,根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量,并指導下一道工序。某些針尖壓痕太長,超出PAD范圍,使PAD周圍的鋁線短路。浙江芯片測試探針臺哪里有

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探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,探針臂應與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件:探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器(定位器):探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上,它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當?shù)奈恢谩R坏┕潭?,操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運動。浙江芯片測試探針臺哪里有某些針尖位置高的扎不上AL層,使測試時這些針上電路不通。

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X系列探針臺:1、基板采用鑄件為基準進行設計,使運動的穩(wěn)定性得到提升,底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2、運動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導軌和絲桿;反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環(huán)的反饋檢測,以保證實現(xiàn)高精度高溫度性的運動系統(tǒng)。3、整個四維運動設計成低重心的緊湊結(jié)構(gòu),保證其速率能到達70mm/s,并能提高運動過程中的加速。4、關(guān)鍵零件用導電的表面處理,保證每個位置能進行接地保護。

其實,在我們的身邊隨處都可以看到半導體的身影。例如你的電腦、電視,智能手機,亦或是汽車等。半導體像人類大腦一樣,擔當著記憶數(shù)據(jù),計算數(shù)值的功能。探針臺從操作上來區(qū)分有手動,半自動,全自動從功能上來區(qū)分有高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。一、探針的用途。電流或電壓信號通過探針的傳輸來測試線路板的開路(Open)或短路(Short)I=U/R,如果是開路(Open)電阻=∝:如果是短路(Short)電阻≌0。負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。

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晶圓測試是在半導體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟。在此步驟中,在將晶圓送至芯片準備之前執(zhí)行,晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進行引用:晶圓終端測試(WFT)、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的。晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當?shù)奈恢茫瑫r真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。上海勤確科技有限公司您的滿意就是對我們的支持。浙江芯片測試探針臺哪里有

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x-y工作臺的維護與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng):平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。浙江芯片測試探針臺哪里有