探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)分類(lèi):探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)。從功能上來(lái)區(qū)分有:溫控探針臺(tái),真空探針臺(tái)(低溫探針臺(tái)),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái)。經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型根據(jù)客戶(hù)需求定制:chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);X-Y移動(dòng)行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);chuckZ軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型、龍門(mén)結(jié)構(gòu)型(可選);探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開(kāi)關(guān);可搭配Probecard測(cè)試;適用領(lǐng)域:晶圓廠(chǎng)、研究所、高校等。測(cè)試信號(hào)的完整性需要高質(zhì)量的探針接觸,這與接觸電阻(CRes)直接相關(guān)。遼寧手動(dòng)探針臺(tái)報(bào)價(jià)
探針(探針卡):待測(cè)芯片需要測(cè)試探針的連接,才能與測(cè)試儀器建立連接。常見(jiàn)的有普通DC測(cè)試探針、同軸DC測(cè)試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測(cè)特征的尺寸和所需的測(cè)量類(lèi)型。探針尖直接接觸被測(cè)件,探針臂應(yīng)與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件:探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測(cè)量?jī)x器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器(定位器):探針臺(tái)使用操縱器將探針?lè)胖迷诒粶y(cè)物上,它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)奈恢谩R坏┕潭?,操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。貴州探針臺(tái)哪里有適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。
全自動(dòng)探針臺(tái)相比手動(dòng)探針臺(tái)和自動(dòng)探針臺(tái)兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)和模式識(shí)別(自動(dòng)對(duì)準(zhǔn))。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試??梢?4小時(shí)連續(xù)工作,通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴。軟件為探針臺(tái)系統(tǒng)增加了很多功能,使用者可以通過(guò)軟件或機(jī)械操縱桿以各種速度向任何方向移動(dòng)載物臺(tái),程序可以設(shè)置映射以匹配器件,可以選擇要檢測(cè)的器件。
半自動(dòng)型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2";可搭配Probecard測(cè)試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品。電動(dòng)型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mmx300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個(gè)數(shù)8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2“x2”x2“;材質(zhì):花崗巖臺(tái)面+不銹鋼;可搭配Probecard測(cè)試;適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品。探針尖磨損和污染都會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響。
探針臺(tái)大家不陌生了,是我們半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室電性能測(cè)試的常用設(shè)備,也是各大實(shí)驗(yàn)室的熟客。優(yōu)點(diǎn)太多了,成本低,用途廣,操作方便,對(duì)環(huán)境要求也不高,即使沒(méi)有超凈間,普通的壞境也可以配置,測(cè)試結(jié)果穩(wěn)定,客觀(guān)。深受工程師們的青睞。手動(dòng)探針臺(tái)用途:探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。手動(dòng)探針臺(tái)的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途。半導(dǎo)體行業(yè)向來(lái)有“一代設(shè)備,一代工藝,一代產(chǎn)品”的說(shuō)法。遼寧手動(dòng)探針臺(tái)報(bào)價(jià)
在檢測(cè)虛焊和斷路的時(shí)候,探針卡用戶(hù)經(jīng)常需要為路徑電阻指定一個(gè)標(biāo)稱(chēng)值。遼寧手動(dòng)探針臺(tái)報(bào)價(jià)
探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤(pán),壓盤(pán)將探針頭與芯片分開(kāi),然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程,提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。遼寧手動(dòng)探針臺(tái)報(bào)價(jià)