探針臺分類探針臺從操作上來區(qū)分有:手動(dòng)探針臺、半自動(dòng)探針臺和全自動(dòng)探針臺。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺、真空探針臺(很低溫探針臺)、RF探針臺、LCD平板探針臺、霍爾效應(yīng)探針臺和表面電阻率探針臺。高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測試條件提供保證。特性-近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn))OTS通過對照相機(jī)相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),來源于東京精密的度量技術(shù)。實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)。上海勤確科技有限公司以完善的服務(wù)和改變?yōu)橹辽献非?。福建全自?dòng)探針臺要多少錢
探針卡沒焊到位,是因?yàn)楹稿a時(shí)針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點(diǎn)區(qū),而針虛焊和布線斷線或短路,測試時(shí)都要測不穩(wěn),所以焊針時(shí),應(yīng)憑自己的經(jīng)驗(yàn),把針尖離壓點(diǎn)中心稍微偏一點(diǎn),焊完后使針尖剛好回到壓點(diǎn)中心,同時(shí)針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。技術(shù)員平時(shí)焊完卡后應(yīng)注意檢查探針卡的質(zhì)量如何,把背面的突起物和焊錫線頭剪平,否則要扎傷AL層,造成短路或斷路,而操作工也應(yīng)在測試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測大電流時(shí),針尖上要引起多AL粉,使電流測不穩(wěn),所以需要經(jīng)常用灑精清洗探針并用氮?dú)獯蹈桑瑫r(shí)測試時(shí)邊測邊吹氮?dú)?,以減少針尖上的AL粉。河南射頻探針臺報(bào)價(jià)磁場探針臺主要用于半導(dǎo)體材料、微納米器件、磁性材料。
手動(dòng)探針臺應(yīng)用領(lǐng)域:Failure analysis集成電路失效分析;Wafer level reliability晶元可靠性認(rèn)證;Device characterization元器件特性量測;Process modeling塑性過程測試(材料特性分析);IC Process monitoring制成監(jiān)控;Package part probing IC封裝階段打線品質(zhì)測試;Flat panel probing液晶面板的特性測試;PC board probing PC主板的電性測試;ESD&TDR testing ESD和TDR測試;Microwave probing微波量測(高頻);Solar太陽能領(lǐng)域檢測分析;LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測分析。
半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的探測,可略分為三大類:1.參數(shù)探測:提供制造期間的裝置特性測量;2.晶圓探測:當(dāng)制造完成要進(jìn)行封裝前,在一系列的晶圓上(wafer sort)測試裝置功能;3.以探針臺為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(Final Test):在出貨給顧客前,對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后,即進(jìn)入晶圓探測階段,此時(shí)需要用復(fù)雜的機(jī)器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/O pads)放在接腳和探針卡正確對應(yīng)的晶圓后,探針臺會將晶圓向上挪動(dòng),使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸,以進(jìn)行探測。當(dāng)測試完成,則會自動(dòng)將下一個(gè)待測晶圓替換到探針卡下面,如此周而復(fù)始地循環(huán)著。上海勤確科技有限公司通常用戶得到電路,直接安裝在印刷電路板(PCB)上。
晶圓探針器是用于測試集成電路的機(jī)器(自動(dòng)測試設(shè)備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?,同時(shí)真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動(dòng)到電接觸狀態(tài)。當(dāng)一個(gè)管芯(或管芯陣列)經(jīng)過電氣測試后,探針臺將晶片移動(dòng)到下一個(gè)管芯(或管芯),下一個(gè)測試就可以開始了。晶圓探針臺通常負(fù)責(zé)從載具(或盒子)裝載和卸載晶圓,并配備自動(dòng)模式識別光學(xué)器件,能夠以足夠的精度對準(zhǔn)晶圓,以確保晶圓上的接觸墊和探針針尖之間的準(zhǔn)確對準(zhǔn)。探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點(diǎn)中心,同時(shí)針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。四川直流探針臺要多少錢
探針卡上有細(xì)小的金屬探針附著,通過降低探針高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盤接觸。福建全自動(dòng)探針臺要多少錢
實(shí)現(xiàn)芯片測試的途徑就是探針卡。探針卡是自動(dòng)測試儀與待測器件之間的接口,我們通過探針卡把測試儀和被測芯片連接起來。典型的探針卡是一個(gè)帶有很多細(xì)針的印刷電路板,這些細(xì)針和待測器件進(jìn)行物理和電學(xué)接觸,通常我們習(xí)慣的做法是做一個(gè)與每個(gè)管芯焊盤幾何形狀匹配的PCB電路板,并把它連接到測試設(shè)備上。探針測試這一過程是非常精密的,要有很高的專業(yè)水平和經(jīng)驗(yàn)才能完成。把晶圓片安放在一個(gè)可移動(dòng)的金屬板上。這樣,在水平和垂直兩個(gè)方向上,可以手動(dòng)或者自動(dòng)移動(dòng)晶圓片,并通過探針卡實(shí)現(xiàn)這一部分的電子線路連接。福建全自動(dòng)探針臺要多少錢