探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應區(qū)別對待。上海勤確科技有限公司秉承專業(yè)、科技、快捷、準確、誠信的服務精神。山東射頻探針臺供應商
探針臺主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺??v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應區(qū)別對待。福建探針臺一般多少錢探針尖磨損和污染也會對測試結(jié)果造成極大的負面影響。
探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號,保證半導體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。因為我們需要知道器件真正的性能,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因為有時我們需要進行自動化測試,在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統(tǒng),主要包括:矢量網(wǎng)絡分析儀,線纜,探針,探針定位器,探針臺,校準設(shè)備及軟件,電源偏置等。
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要很少的培訓,易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件。上海勤確科技有限公司以“真誠服務,用戶滿意”為服務宗旨。
手動探針臺規(guī)格描述(以實驗室常見的儀準ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側(cè)標配顯微鏡升降機構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微調(diào)控制臺面升降范圍25mm(客戶有特殊需求,可以增大范圍),精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,標配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動,移動范圍為150mm or 200mm,移動精度為1μm載物臺具備快速導入導出功能。如果發(fā)現(xiàn)問題,就需要復雜的診斷過程和人工分析,才能找到問題的原因。江蘇手動探針臺要多少錢
探針臺存放在氮氣柜中,防止探針的加快氧化。山東射頻探針臺供應商
以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。山東射頻探針臺供應商