探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺。縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:平面電機(jī)型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對待。在檢測虛焊和斷路的時候,探針卡用戶經(jīng)常需要為路徑電阻指定一個標(biāo)稱值。湖南手動高低溫探針臺機(jī)構(gòu)
平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺:平面電機(jī)由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動。天津磁場探針臺一般多少錢探針卡是自動測試儀與待測器件之間的接口。
滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài),所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。
定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命,損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報廢。由于平面電機(jī)的定子及動子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命,對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗。上海勤確科技有限公司管理嚴(yán)格,服務(wù)超值。
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要很少的培訓(xùn),易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件。圓片移動到下一個芯片的位置,這種方法可以讓圓片上的每一個芯片都經(jīng)過測試。山西磁場探針臺報價
平面電機(jī)由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開。湖南手動高低溫探針臺機(jī)構(gòu)
磁場探針臺主要用于半導(dǎo)體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電、磁學(xué)特性測試,能夠提供磁場或變溫環(huán)境,并進(jìn)行高精度的直流/射頻測量。我們生產(chǎn)各類磁場探針臺,穩(wěn)定性強(qiáng)、功能多樣、可升級擴(kuò)展,適用于各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)的實驗研究和生產(chǎn)。詳細(xì)參數(shù):二維磁場探針臺,包含兩組磁鐵,可同時提供垂直與面內(nèi)磁場;面內(nèi)磁鐵極頭間距可根據(jù)樣品尺寸調(diào)整以獲得大的磁場,兼容性強(qiáng);大兼容7組探針(4組RF,3組DC同時測試使用);Y軸提供大行程位移裝置,在不移動探針情況下快速抽拉更換樣品;配備樣品臺傾斜微調(diào)旋鈕,確保樣品平面平行于面內(nèi)磁場方向;至多支持7組探針同時放置:直流探針(3組)+微波探針(4組);XY軸位移行程±12.5 mm,T軸旋轉(zhuǎn)±5°;面內(nèi)磁場單獨施加時,磁場垂直分量優(yōu)于0.025%。湖南手動高低溫探針臺機(jī)構(gòu)