真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵,真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)?,真空泵必須具有前級泵配合,方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感,普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。真空泵市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領(lǐng)域的日益擴大。干式真空泵訂做價格
微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問題。根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴重性而定,完全根據(jù)自己的要求。好的品的平均無故障連續(xù)運行時間都大于1000小時,有的高到數(shù)千小時。特別注意,這項參數(shù)是在滿負荷、不間斷的運行狀態(tài)下測定的,是比較惡劣的工況,如果實際使用不是滿載或連續(xù)運行,該數(shù)值會高一些,高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗制造商的技術(shù)實力,從產(chǎn)品外觀上可以看出一些,如采用特制電機而非普通低價電機、體積相當?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問題。如果有精密電路控制微型泵,視電路抗干擾能力而定,可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。真空泵廠真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。
歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計,目前國產(chǎn)干泵的應用還不足1%,國內(nèi)半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口,其價格十分昂貴。所以,我國應大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。
往復真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復直線運動的活塞,活塞的驅(qū)動是用曲柄連桿機構(gòu)來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件,以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運轉(zhuǎn)時,在電動機的驅(qū)動下,通過曲柄連桿機構(gòu)的作用,使氣缸內(nèi)的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運動時,由于氣缸的左腔體積不斷增大,氣缸內(nèi)氣體的密度減小,而形成抽氣過程,此時被抽容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到右位置時,氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。真空泵泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染。
在現(xiàn)代設計制造中,把面對不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對待?!芭艢饪谠试S較大阻力Por值”這一參數(shù)就是標定泵的排氣能力,讓我們可以用嚴格的技術(shù)手段確定選型是否恰當。簡單地說,對于排氣阻力大的系統(tǒng),我們的選型范圍是:FM系列、FAA系列、PCF系列;對于排氣阻力小的系統(tǒng),選型范圍是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。根據(jù)我們對流量和真空度的要求就可以確定具體的型號了。對于質(zhì)量欠佳的產(chǎn)品盡量不要選用。水環(huán)真空泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的。VP0435A真空泵價格
高真空一側(cè)的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。干式真空泵訂做價格
對真空泵的工作蒸汽及其干度的研究:蒸汽壓力偏低及壓力波動均對真空泵的能力有較大影響,因此蒸汽壓力不應低于要求的工作壓力,但所用真空泵結(jié)構(gòu)設計已定型,過多提高蒸汽壓力并不會增加抽氣量及真空度。另外,要確保鍋爐供給的蒸汽壓力穩(wěn)定,建議用一臺鍋爐專門給蒸汽噴射泵提供工作蒸汽,這樣蒸汽壓力就不會出現(xiàn)波動,真空泵性能穩(wěn)定。對循環(huán)冷卻水要求的研究:冷卻水供量不足,冷凝器會發(fā)熱,氣流聲音變大,真空度迅速下降,甚至蒸汽會返入抽氣管。干式真空泵訂做價格
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