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歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿(mǎn)足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速?gòu)?0m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口,其價(jià)格十分昂貴。所以,我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵,使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭。VP0140真空泵供貨價(jià)格
真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶(hù)的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。目前,全球真空泵市場(chǎng)的年銷(xiāo)售額約20億美元,年增長(zhǎng)率在7%左右。我國(guó)生產(chǎn)真空泵的廠(chǎng)家很多,全部真空泵的年銷(xiāo)售額大約在1.5億元左右(2015年),只相當(dāng)于美國(guó)公司一家真空泵的年銷(xiāo)售額。通過(guò)對(duì)全球真空泵市場(chǎng)的分析我們可以看出,各類(lèi)真空泵的市場(chǎng)及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國(guó)真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ),國(guó)產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過(guò)驗(yàn)證,有些泵還出口國(guó)外,得到國(guó)外用戶(hù)的認(rèn)可并受到好評(píng),應(yīng)該說(shuō)我國(guó)真空泵制造業(yè)在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)仍然有著巨大的發(fā)展空間。VP0140真空泵供貨價(jià)格由于真空泵的重心較高,在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。
羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵,分子增壓泵有極高的壓縮比,這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能,同時(shí)在中真空范圍也有較強(qiáng)的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級(jí)機(jī)組的高真空機(jī)組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高,所以可使前級(jí)泵易于處于高流量狀態(tài);而分子增壓泵吸入壓力高,減緩了前級(jí)泵的預(yù)抽負(fù)擔(dān)。這樣可以使系統(tǒng)盡快地進(jìn)入工作壓力,保證了設(shè)備的使用效率。
液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí),把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩R涵h(huán)真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內(nèi)回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉(zhuǎn)液環(huán)和葉輪構(gòu)成,其結(jié)構(gòu)和工作原理與液環(huán)壓縮機(jī)相似。當(dāng)工作液體為水時(shí),稱(chēng)水環(huán)式真空泵,水環(huán)真空泵是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000 Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670 Pa。水環(huán)真空泵用小的結(jié)構(gòu)尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。
在現(xiàn)代設(shè)計(jì)制造中,把面對(duì)不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對(duì)待?!芭艢饪谠试S較大阻力Por值”這一參數(shù)就是標(biāo)定泵的排氣能力,讓我們可以用嚴(yán)格的技術(shù)手段確定選型是否恰當(dāng)。簡(jiǎn)單地說(shuō),對(duì)于排氣阻力大的系統(tǒng),我們的選型范圍是:FM系列、FAA系列、PCF系列;對(duì)于排氣阻力小的系統(tǒng),選型范圍是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。根據(jù)我們對(duì)流量和真空度的要求就可以確定具體的型號(hào)了。對(duì)于質(zhì)量欠佳的產(chǎn)品盡量不要選用。真空泵必須具有前級(jí)泵配合,方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速。VP0140真空泵供貨價(jià)格
真空干燥箱對(duì)于所烘的物料是有要求的,其一是不能含有大量的水,其二是不能含有有機(jī)化合物。VP0140真空泵供貨價(jià)格
羅茨真空泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣,在0°位置時(shí),下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時(shí),該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高,引起一部分氣體返沖過(guò)來(lái)。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí),下轉(zhuǎn)子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí),上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時(shí),上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通,重復(fù)上述過(guò)程。180°位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個(gè)v0體積的氣體。VP0140真空泵供貨價(jià)格
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