低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整的系列，并研究開發(fā)出各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵。水環(huán)真空泵串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa?；し栏婵毡?/p>

擴散真空泵抽速在很寬的壓強范圍內(nèi)保持不變，但在壓強較高或很低時，抽速下降很快。當泵入口壓強很低時，氣體從前級通過射流的反擴散會增加，同時工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強較高時，大量氣體分子進入射流與蒸汽分子碰撞，射流的定向速度衰減較大，增大了前級的反流，抽速降低；油擴散泵的極限壓強與前級側(cè)氣體的反擴散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān)，當泵的出口壓強小于某一出口壓強p2max時，泵的入口壓強不受出口壓強的影響，氣體的反擴散對泵的極限壓強影響不大。油擴散泵的較大出口壓強取決于一級噴嘴的工作狀態(tài)，與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及一級噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān)。真空泵設(shè)備供貨價格真空泵達到一定臨界壓力時，往往抽速會減小。

歐美半導體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應用還不足1％，國內(nèi)半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。

在實際應用中，微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的：一類是排氣很順暢，直通大氣；另一類是排氣阻力較大，比如在排氣管路上有閥、細小彎管、大阻尼傳感器、非專門用的消音器、在液面以下排氣、氣體排往密閉或半密閉容器等。在現(xiàn)代設(shè)計制造中，把面對不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對待。"排氣口允許較大阻力Por值"這一參數(shù)就是標定泵的排氣能力，讓我們可以用嚴格的技術(shù)手段確定選型是否恰當。簡單地說，對于排氣阻力大的系統(tǒng)，我們的選型范圍是：FM系列、FAA系列、PCF系列；對于排氣阻力小的系統(tǒng)，選型范圍是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。由于真空應用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)真空泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。

由于真空泵的重心較高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構(gòu)也相對復雜。往復真空泵中活塞的驅(qū)動是用曲柄連桿機構(gòu)來完成的。電動真空泵制造商

真空泵的維護檢查油的位置。經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應及時更換新油?；し栏婵毡?/p>

水環(huán)真空泵用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對泵內(nèi)進行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。水環(huán)式真空泵的缺點，效率低，一般在30%左右，較好的可達50%。真空度低，這不只是因為受到結(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點，盡管它效率低，仍然得到了普遍的應用。化工防腐真空泵