抽氣量是真空泵抽速的一個衡量因素。一般單位用L/S和m3/h來表示。是彌補漏氣率的參數(shù)。不難理解,理論下抽一個相同體積的容器,為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度,而抽氣量小的真空泵很慢甚至無法抽到我們想要的真空度? 因為管路或者容器始終不可能做到不漏氣,而抽氣量大的彌補了漏氣所帶來的真空度下降的因素,所以,大氣量的很容易抽到理想真空度值。這里建議,在計算出理論抽氣量的情況下,我們盡量選擇高一級的抽氣量的真空泵。真空泵在工作第1個月內(nèi),經(jīng)100小時更換潤滑油,以后每個500小時,換油一次。水環(huán)式真空泵定制廠家
羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。水環(huán)式真空泵定制廠家微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的:一類是排氣很順暢,直通大氣;另一類是排氣阻力較大。
擴(kuò)散真空泵抽速在很寬的壓強范圍內(nèi)保持不變,但在壓強較高或很低時,抽速下降很快。當(dāng)泵入口壓強很低時,氣體從前級通過射流的反擴(kuò)散會增加,同時工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強較高時,大量氣體分子進(jìn)入射流與蒸汽分子碰撞,射流的定向速度衰減較大,增大了前級的反流,抽速降低;油擴(kuò)散泵的極限壓強與前級側(cè)氣體的反擴(kuò)散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān),當(dāng)泵的出口壓強小于某一出口壓強p2max時,泵的入口壓強不受出口壓強的影響,氣體的反擴(kuò)散對泵的極限壓強影響不大。油擴(kuò)散泵的較大出口壓強取決于一級噴嘴的工作狀態(tài),與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及一級噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān)。
微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問題。根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴(yán)重性而定,完全根據(jù)自己的要求。好的品的平均無故障連續(xù)運行時間都大于1000小時,有的高到數(shù)千小時。特別注意,這項參數(shù)是在滿負(fù)荷、不間斷的運行狀態(tài)下測定的,是比較惡劣的工況,如果實際使用不是滿載或連續(xù)運行,該數(shù)值會高一些,高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗制造商的技術(shù)實力,從產(chǎn)品外觀上可以看出一些,如采用特制電機(jī)而非普通低價電機(jī)、體積相當(dāng)?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問題。如果有精密電路控制微型泵,視電路抗干擾能力而定,可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。水環(huán)真空泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的。
水環(huán)真空泵在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)內(nèi)界面之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點,那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外。臥式真空泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。小型真空泵廠商
往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運動的活塞。水環(huán)式真空泵定制廠家
關(guān)于真空泵的發(fā)展,國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。水環(huán)式真空泵定制廠家