在現(xiàn)代設(shè)計制造中，把面對不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對待。“排氣口允許較大阻力Por值”這一參數(shù)就是標(biāo)定泵的排氣能力，讓我們可以用嚴(yán)格的技術(shù)手段確定選型是否恰當(dāng)。簡單地說，對于排氣阻力大的系統(tǒng)，我們的選型范圍是：FM系列、FAA系列、PCF系列；對于排氣阻力小的系統(tǒng)，選型范圍是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。根據(jù)我們對流量和真空度的要求就可以確定具體的型號了。對于質(zhì)量欠佳的產(chǎn)品盡量不要選用。真空泵泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。手動真空泵制造商

往復(fù)真空泵活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨站活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓力達(dá)到或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環(huán)。當(dāng)活塞再左向右運動時，又重復(fù)前一循環(huán)，如此反復(fù)下去，被抽容器內(nèi)達(dá)到某一穩(wěn)定的平衡壓力。為提高抽氣效率，一般在氣缸的兩端均設(shè)有吸氣閥和排氣閥，然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯(lián)起來。往復(fù)真空泵從安裝形式來分，有臥式往復(fù)真空泵及立式往復(fù)真空泵；從油潤滑來分，有有油往復(fù)真空泵及無油往復(fù)真空泵。化驗室用真空泵供貨公司羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵。

往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運動的活塞，活塞的驅(qū)動是用曲柄連桿機構(gòu)來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件，以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運轉(zhuǎn)時，在電動機的驅(qū)動下，通過曲柄連桿機構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運動。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時被抽容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到右位置時，氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。

真空泵的轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。結(jié)構(gòu)，泵總體結(jié)構(gòu)型式。真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運動的活塞。

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口，其價格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點。冷凝水在多級真空泵中具有舉足輕重的作用。不銹鋼真空泵廠商

由于真空泵的重心較高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。手動真空泵制造商

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子，通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。手動真空泵制造商