通??偸遣患訁^(qū)分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡單統(tǒng)稱為微型真空泵,但從技術(shù)角度二者是有區(qū)別的,選型時更要特別注意。簡而言之,氣體采樣泵只能帶小負(fù)載(即:泵抽氣端阻力不能太大),但價格便宜;嚴(yán)格意義上的微型真空泵可以帶大負(fù)載(抽氣端允許大阻力,甚至完全堵塞),但價格稍貴。氣體采樣泵有:PM系列(具體型號如:PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503);微型真空泵有:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列,這些系列下的所有規(guī)格都是真正的微型真空泵,如VM7002、VAA6005、PC3025等。真空泵抽速的抽氣量一般單位用L/S和m3/h來表示。VP0940T真空泵價格
往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運動的活塞,活塞的驅(qū)動是用曲柄連桿機構(gòu)來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件,以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運轉(zhuǎn)時,在電動機的驅(qū)動下,通過曲柄連桿機構(gòu)的作用,使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運動。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運動時,由于氣缸的左腔體積不斷增大,氣缸內(nèi)氣體的密度減小,而形成抽氣過程,此時被抽容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到右位置時,氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。VP0940T真空泵價格真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。
如果水環(huán)真空泵以葉輪的上部0°為起點,那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外。水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡?。水環(huán)式真空泵的優(yōu)點,結(jié)構(gòu)簡單,制造精度要求不高,容易加工。結(jié)構(gòu)緊湊,泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高,一般可與電動機直聯(lián),無須減速裝置。
羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭。
環(huán)境對真空泵的影響,主要是指被抽氣體對體系的污染,在鋼液處置過程中,鋼液會放出很多的氣體,同時也會有一部分細(xì)微的氧化粉皮等小顆粒被吸入真空泵,這些小顆粒會堆積粘附在泵體上,減小了抽氣管路流導(dǎo),延長了抽氣時間,下降了泵的抽氣功能。泵體布局的影響:關(guān)于單級真空泵,簡單磨損的部位是蒸汽的噴嘴,噴嘴被磨損后,不只會影響泵的功能,還會增加體系的運轉(zhuǎn)本錢。所以真空泵在使用時要非常注意周圍環(huán)境和蒸汽噴嘴的影響。折疊液環(huán)泵屬于粗真空泵的一種類型。VP0140真空泵廠家
全球真空泵市場的年銷售額約20億美元,年增長率在7%左右。VP0940T真空泵價格
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子,通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤滑,軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似,一般真空泵的排氣端用機械式密封件,進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上,目前通用的是直連電機,用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。VP0940T真空泵價格