干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子，通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似，一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機(jī)，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。VP0925A真空泵供應(yīng)公司

爪形真空泵為多級串聯(lián)結(jié)構(gòu)，每級泵均應(yīng)嚴(yán)格控制端面間隙，即四級泵需嚴(yán)格控制8個端面間隙，泵在運(yùn)行時的熱膨脹及抽除粉未等時容易造成泵的故障，另外爪式泵的多級串聯(lián)的結(jié)構(gòu)特性決定了其裝配的復(fù)雜性，一般人員很難達(dá)到裝配要求；因爪形真空泵為多級串聯(lián)結(jié)構(gòu)，排氣通道復(fù)雜，在抽除可凝性氣體時（例如：水蒸汽，有機(jī)溶劑氣體等），在泵腔內(nèi)壓縮時會產(chǎn)生較多的液體，這部分液體進(jìn)入泵的端面造成泵的負(fù)載明顯變大，四級爪形真空泵有8個端面，不宜抽除大量可凝性氣體?；ふ婵毡枚ㄖ茝S家水環(huán)真空泵用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。

擴(kuò)散真空泵抽速在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)保持不變，但在壓強(qiáng)較高或很低時，抽速下降很快。當(dāng)泵入口壓強(qiáng)很低時，氣體從前級通過射流的反擴(kuò)散會增加，同時工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強(qiáng)較高時，大量氣體分子進(jìn)入射流與蒸汽分子碰撞，射流的定向速度衰減較大，增大了前級的反流，抽速降低；油擴(kuò)散泵的極限壓強(qiáng)與前級側(cè)氣體的反擴(kuò)散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān)，當(dāng)泵的出口壓強(qiáng)小于某一出口壓強(qiáng)p2max時，泵的入口壓強(qiáng)不受出口壓強(qiáng)的影響，氣體的反擴(kuò)散對泵的極限壓強(qiáng)影響不大。油擴(kuò)散泵的較大出口壓強(qiáng)取決于一級噴嘴的工作狀態(tài)，與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及一級噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān)。

便攜式真空泵其工作原理同微型真空泵工作原理相同，都是電機(jī)的圓周運(yùn)動，通過機(jī)械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復(fù)式運(yùn)動，從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進(jìn)行壓縮、拉伸形成真空（負(fù)壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。正因?yàn)槌闅饪谔幓蛘叱榕艢饪诳梢耘c外界大氣形成壓力差，同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油，不會污染工作介質(zhì)，而且具有體積小巧、噪音低、免維護(hù)，可以連續(xù)24小時運(yùn)轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)，冷凝水在多級真空泵中具有舉足輕重的作用。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。羅茨真空泵分為常規(guī)羅茨泵及氣冷直排大氣羅茨泵，常規(guī)羅茨泵承受的壓差小大約為3000~6000Pa，所以常規(guī)羅茨泵必須帶前級泵預(yù)抽，不能直接排大氣。氣冷羅茨泵因?yàn)樵黾恿藷崃科胶庋b置可以直接排大氣，氣冷羅茨真空泵的極限壓力為13000Pa。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。小型真空泵制造商

真空泵的轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可降低驅(qū)動功率。VP0925A真空泵供應(yīng)公司

在真空泵選型前，我們必須弄清楚幾個基礎(chǔ)概念：真空，理論上是指容積里面不含有任何的物質(zhì)。（現(xiàn)實(shí)中是不存在真正的真空的）通常把容器內(nèi)氣壓低于正常大氣壓（101325 Pa）的都稱之為真空狀態(tài)。真空度表示處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用壓力值來表示。實(shí)際應(yīng)用中，真空度，通常有真空和相對真空兩種說法。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實(shí)際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值，從表上表示出來的數(shù)值又稱為表壓強(qiáng)，業(yè)界也稱為極限相對壓強(qiáng)，即： 真空度=大氣壓強(qiáng)-壓強(qiáng)(大氣壓強(qiáng)一般取101325Pa，水環(huán)式真空泵極限壓強(qiáng)3300Pa；旋片式真空泵極限壓強(qiáng)約10Pa)。VP0925A真空泵供應(yīng)公司