干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子，通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似，一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機(jī)，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。液環(huán)泵屬于粗真空泵，在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著很大的市場。電動真空泵供貨價格

水環(huán)真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環(huán)泵開始用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到普遍的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。深圳防腐真空泵真空泵的轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可降低驅(qū)動功率。

冷凝水在多級真空泵中具有舉足輕重的作用，冷凝水可以將蒸汽充沛冷凝，真空泵排出壓力中的水蒸汽分壓有必要高于其所對應(yīng)的飽滿蒸汽壓，因此冷凝水的溫度也要低于該壓力下的飽滿溫度，才能保證泵體的正常作業(yè)。對真空泵系統(tǒng)密封要求的研究：真空泵處于極限狀態(tài)時，第1級排出的水很少，有時甚至沒有。因此，第1級泵有大量水排出，可以認(rèn)為是系統(tǒng)有泄漏。通常的漏氣原因有：墊片沒裝、裝錯或損壞，螺栓未擰緊，法蘭面損壞，焊縫有沙眼，接頭（壓力表、真空表等）未裝好。

液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。液環(huán)真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內(nèi)回轉(zhuǎn)運動使工作室容積周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉(zhuǎn)液環(huán)和葉輪構(gòu)成，其結(jié)構(gòu)和工作原理與液環(huán)壓縮機(jī)相似。當(dāng)工作液體為水時，稱水環(huán)式真空泵，水環(huán)真空泵是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000 Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670 Pa。干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體等行業(yè)選擇真空獲得設(shè)備。

微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問題。根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴(yán)重性而定，完全根據(jù)自己的要求。好的品的平均無故障連續(xù)運行時間都大于1000小時，有的高到數(shù)千小時。特別注意，這項參數(shù)是在滿負(fù)荷、不間斷的運行狀態(tài)下測定的，是比較惡劣的工況，如果實際使用不是滿載或連續(xù)運行，該數(shù)值會高一些，高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗制造商的技術(shù)實力，從產(chǎn)品外觀上可以看出一些，如采用特制電機(jī)而非普通低價電機(jī)、體積相當(dāng)?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問題。如果有精密電路控制微型泵，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。水環(huán)真空泵泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，而且磨損很小。上海抽打兩用真空泵

水環(huán)真空泵串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。電動真空泵供貨價格

羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。電動真空泵供貨價格

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