真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，目前這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力泵種。近年來(lái)，伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地發(fā)展。國(guó)際有名廠家也紛紛尋找伙伴在中國(guó)建制造基地。近年來(lái)，國(guó)內(nèi)雖然有一些企業(yè)逐漸崛起，在真空泵市場(chǎng)上占據(jù)了較為前列的地位。真空干燥箱對(duì)于所烘的物料是有要求的，其一是不能含有大量的水，其二是不能含有有機(jī)化合物。水噴射式真空泵訂做

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵，使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。耐腐真空泵真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。

為了使國(guó)產(chǎn)滑閥真空泵能夠進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工裝配工作量很大，價(jià)格又很低，所以有的國(guó)外真空廠商在中國(guó)建立專業(yè)廠。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān)，價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵便宜，所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠，同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。

螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，在國(guó)內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到普遍應(yīng)用。優(yōu)點(diǎn)是壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的，可抽除易燃、易爆的氣體。

真空泵的傳動(dòng)方式，真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)高精度齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中均勻。這種傳動(dòng)方式的較大缺點(diǎn)是，主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便。真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵。水噴射式真空泵訂做

液環(huán)泵屬于粗真空泵，在我國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著很大的市場(chǎng)。水噴射式真空泵訂做

真空泵達(dá)到一定臨界壓力時(shí)，往往抽速會(huì)減小，這樣前級(jí)泵的排氣流量可能會(huì)小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求，必然會(huì)引起真空機(jī)組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺(tái)中真空泵，便可起到承上啟下的作用，流量連續(xù)，而且各泵皆可工作在較好的狀態(tài)。羅茨泵能工作在中真空范圍，是適合的，故又稱羅茨增壓泵，由于其壓縮比不高，正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當(dāng)三級(jí)高真空機(jī)組進(jìn)入較高的真空度時(shí)，由于主泵的排氣流量明顯減少，此時(shí)只靠一臺(tái)較小的前級(jí)泵便可維持抽氣的連續(xù)性，在實(shí)際運(yùn)用中這是經(jīng)常采用的方法，這樣可減少機(jī)組的能耗。水噴射式真空泵訂做

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