通??偸遣患訁^(qū)分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡單統(tǒng)稱為微型真空泵,但從技術(shù)角度二者是有區(qū)別的,選型時(shí)更要特別注意。簡而言之,氣體采樣泵只能帶小負(fù)載(即:泵抽氣端阻力不能太大),但價(jià)格便宜;嚴(yán)格意義上的微型真空泵可以帶大負(fù)載(抽氣端允許大阻力,甚至完全堵塞),但價(jià)格稍貴。氣體采樣泵有:PM系列(具體型號如:PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503);微型真空泵有:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列,這些系列下的所有規(guī)格都是真正的微型真空泵,如VM7002、VAA6005、PC3025等。真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵?;し栏婵毡弥圃焐?/p>
擴(kuò)散真空泵抽速在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)保持不變,但在壓強(qiáng)較高或很低時(shí),抽速下降很快。當(dāng)泵入口壓強(qiáng)很低時(shí),氣體從前級通過射流的反擴(kuò)散會增加,同時(shí)工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強(qiáng)較高時(shí),大量氣體分子進(jìn)入射流與蒸汽分子碰撞,射流的定向速度衰減較大,增大了前級的反流,抽速降低;油擴(kuò)散泵的極限壓強(qiáng)與前級側(cè)氣體的反擴(kuò)散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān),當(dāng)泵的出口壓強(qiáng)小于某一出口壓強(qiáng)p2max時(shí),泵的入口壓強(qiáng)不受出口壓強(qiáng)的影響,氣體的反擴(kuò)散對泵的極限壓強(qiáng)影響不大。油擴(kuò)散泵的較大出口壓強(qiáng)取決于一級噴嘴的工作狀態(tài),與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及一級噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān)?;し栏婵毡弥圃焐掏鶑?fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動的活塞。
羅茨真空泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣,在0°位置時(shí),下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時(shí),該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高,引起一部分氣體返沖過來。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí),下轉(zhuǎn)子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí),上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時(shí),上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通,重復(fù)上述過程。180°位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個(gè)v0體積的氣體。
歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口,其價(jià)格十分昂貴。所以,我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。
高真空機(jī)組往往需要三級機(jī)組的另一個(gè)原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強(qiáng),傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級泵必須預(yù)抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時(shí)間,因?yàn)殡S著壓力降低泵的抽速在減小,特別是對于周期性抽氣的真空機(jī)組,對達(dá)到工作真空度的時(shí)間是有要求的,預(yù)抽時(shí)間越長,進(jìn)入工作真空度的時(shí)間也越長,故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合,可在較短的時(shí)間達(dá)到主泵可以工作的壓力。液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)?;し栏婵毡弥圃焐?/p>
真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。化工防腐真空泵制造商
有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨真空泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運(yùn)行的可靠性。目前,國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨真空泵進(jìn)展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級泵高一個(gè)數(shù)量級?;し栏婵毡弥圃焐?/p>
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