羅茨真空泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣，在0°位置時(shí)，下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時(shí)，該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高，引起一部分氣體返沖過來。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí)，下轉(zhuǎn)子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí)，上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時(shí)，上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通，重復(fù)上述過程。180°位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個(gè)v0體積的氣體。微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。耐腐蝕真空泵批發(fā)

對于微型真空泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定，把它與泵的技術(shù)參數(shù)"進(jìn)氣口允許較大阻力"Por值比較就可以知道選型是否合適。通常根據(jù)經(jīng)驗(yàn)采用簡便的方法確定，比如下述幾種情況都屬于負(fù)載較大(即泵的抽氣端阻力較大)，只能在微型真空泵范圍內(nèi)選型：在泵的抽氣端要接很長的管道，或管道彎曲點(diǎn)多、彎曲厲害甚至?xí)枞忾]，或管道內(nèi)孔很小(比如小于φ2毫米)；在管路上有節(jié)流閥、電磁閥、氣路開關(guān)、過濾器等元件；泵抽氣口與密閉容器連接，或該容器雖未密閉但進(jìn)氣量較??；泵抽氣口與吸盤連接，用于吸附物體(如集成塊、精密工件等)；⑤泵的抽氣端與過濾容器相連，容器口放置濾網(wǎng)，用于加速液體過濾。油環(huán)真空泵廠家直供真空泵整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。

水環(huán)真空泵用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。水環(huán)式真空泵的缺點(diǎn)，效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。真空度低，這不只是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn)，盡管它效率低，仍然得到了普遍的應(yīng)用。水環(huán)真空泵串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備。傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，通過同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似，一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上，目前通用的是直連電機(jī)，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng)。當(dāng)真空泵中的葉輪順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，由于離心力的作用，形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的封閉圓環(huán)。油環(huán)真空泵廠家直供

對于微型真空泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定。耐腐蝕真空泵批發(fā)

微型真空泵被作為動(dòng)力裝置，普遍用于氣體采樣、氣體循環(huán)、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合，在醫(yī)療、衛(wèi)生、科研、環(huán)保等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。輸入壓縮空氣，如果只是用微型氣泵輸出壓縮空氣。簡單地說，就是只用它來打氣、充氣，泵的抽氣口基本不用。這種情況比較簡單，按輸出壓力從大到小依次可選：PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001。當(dāng)然還要參考流量指標(biāo)等相關(guān)技術(shù)參數(shù)。如果是用微型泵抽氣，情況稍微復(fù)雜些。判斷微型泵抽氣端工況，用于抽氣的微型泵分為兩類：氣體采樣泵和微型真空泵。耐腐蝕真空泵批發(fā)

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