EdwardsiGX半導(dǎo)體干式真空泵iGX干式真空泵系列為大修之間的零維護(hù)設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn)。提高效率降低了擁有成本，并在整個(gè)壓力范圍內(nèi)提供連續(xù)的泵送任務(wù)。iGX干泵包括以太網(wǎng)連接，允許通過網(wǎng)頁查看關(guān)鍵數(shù)據(jù)，以及一套***的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng)，以確保泵的持續(xù)可用性。iGX泵提供各種峰值速度和變體，可滿足從清潔到中型工藝的應(yīng)用。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶配置iGX干泵以滿足個(gè)別晶圓廠的要求。超緊湊的占地面積允許安裝選項(xiàng)，包括工具上、近距離或遠(yuǎn)程。iGX干式真空泵系列為大修之間的零維護(hù)設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn)。提高效率降低了擁有成本，并在整個(gè)壓力范圍內(nèi)提供連續(xù)的泵送任務(wù)iGX干泵--iGX1000N真空泵維修，干泵維修iGX干式泵--iGX100L干式真空泵維修iGX干泵--iGX100M干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX100MTI干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX100N干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX600L干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX600M干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修iGX干泵--iGX600N干式真空泵維修，干泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修。Kashiyama Industry的產(chǎn)品贏得了客戶的信賴，包括半導(dǎo)體和液晶制造領(lǐng)域。附近真空泵常用知識

其他用途還有木材烘干處理、蒸汽回收、溶劑回收、土壤凈化等等結(jié)構(gòu)特點(diǎn)1、機(jī)泵同軸式直聯(lián)設(shè)計(jì)，可靠性高，易于安裝，比傳統(tǒng)真空泵體積少30%，2、采用機(jī)械密封作為標(biāo)準(zhǔn)配置，消除了泄露，采用無油設(shè)計(jì)，基本上免于維護(hù)3、采用Y2系列電動(dòng)機(jī)，防護(hù)等級為IP54；4、運(yùn)行平穩(wěn)，噪音可低至62分貝；5、統(tǒng)一的耐腐蝕設(shè)計(jì)，青銅葉輪強(qiáng)度高，經(jīng)久耐用，并提高了泵的耐腐蝕性，過流部件采用不銹鋼材質(zhì)則適用于更為苛刻的應(yīng)用環(huán)境；6、的柔性排氣口設(shè)計(jì)，不會產(chǎn)生過壓縮，確保了2BV系列真空泵在其性能范圍內(nèi)效率江蘇真空泵設(shè)備廠家TXD系列產(chǎn)品采用整體式缸體結(jié)構(gòu)，從結(jié)構(gòu)上保證缸 體 的 精 度和變形對真空泵的影響同時(shí)采用頂面切點(diǎn)圓弧設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品特性：1.整體式缸體靜音運(yùn)行TXD系列產(chǎn)品采用整體式缸體結(jié)構(gòu)，從結(jié)構(gòu)上保證缸體的精度和變形對真空泵的影響，同時(shí)采用頂面切點(diǎn)圓弧設(shè)計(jì)，使產(chǎn)品的限真空穩(wěn)定在4×10Pa以下。2.強(qiáng)制進(jìn)油系統(tǒng)強(qiáng)制潤滑可靠運(yùn)行TXD系列產(chǎn)品采用內(nèi)置油泵循環(huán)強(qiáng)制進(jìn)油系統(tǒng)，對泵腔進(jìn)行強(qiáng)制潤滑，因此可以在入口壓強(qiáng)為大氣壓的情況下較長時(shí)間工作。3.防返油進(jìn)氣口閥迅速關(guān)閉防止返流TXD系列產(chǎn)品采用自動(dòng)防返油閥結(jié)構(gòu)，可在停泵時(shí)自動(dòng)切斷被抽系統(tǒng)，保證系統(tǒng)的真空及不被污染。4.可調(diào)節(jié)氣鎮(zhèn)強(qiáng)的水蒸汽處理能力TXD系列產(chǎn)品裝有可調(diào)節(jié)氣鎮(zhèn)，保證強(qiáng)的耐水蒸汽能力，有效排除可凝性氣體。5.大散熱設(shè)計(jì)低溫運(yùn)行結(jié)構(gòu)原理：真空泵為雙級直聯(lián)旋片式真空泵，產(chǎn)品以高可靠性、低噪音和高限真空度為設(shè)計(jì)定位，通過采用世界的整體式泵體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，強(qiáng)制油泵潤滑油壓控制系統(tǒng)，同時(shí)具有不同滲氣的氣鎮(zhèn)閥設(shè)計(jì)使得產(chǎn)品在不同使用環(huán)境中保持高可靠性。用途及使用范圍：TXD系列真空泵是真空應(yīng)用領(lǐng)域中基本的真空獲得設(shè)備，特別適用于需要獲得高限真空低噪音環(huán)境的科研、教學(xué)、實(shí)驗(yàn)室、分析儀器、醫(yī)療器械、真空鍍膜等不同真空應(yīng)用領(lǐng)域。TXD系列真空泵可作為中、低真空系統(tǒng)的主軸泵，也可以作為羅茨泵、擴(kuò)散泵

結(jié)構(gòu)原理：真空泵為雙級直聯(lián)旋片式真空泵，產(chǎn)品以高可靠性、低噪音和高限真空度為設(shè)計(jì)定位，通過采用世界的整體式泵體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，強(qiáng)制油泵潤滑油壓控制系統(tǒng)，同時(shí)具有不同滲氣的氣鎮(zhèn)閥設(shè)計(jì)使得產(chǎn)品在不同使用環(huán)境中保持高可靠性。用途及使用范圍：TXD系列真空泵是真空應(yīng)用領(lǐng)域中基本的真空獲得設(shè)備，特別適用于需要獲得高限真空低噪音環(huán)境的科研、教學(xué)、實(shí)驗(yàn)室、分析儀器、醫(yī)療器械、真空鍍膜等不同真空應(yīng)用領(lǐng)域。TXD系列真空泵可作為中、低真空系統(tǒng)的主軸泵，也可以作為羅茨泵、擴(kuò)散泵、分子泵等中高真空、超高真空系統(tǒng)的前級泵。旋片式真空泵系統(tǒng)：2臺（1臺）旋片泵+儲氣罐。

真空原理：TRP系列羅茨真空泵是利用兩個(gè)8字形轉(zhuǎn)子相互垂直安裝在一對平行軸上，由傳動(dòng)比為1:1的一對齒輪坐反向同步旋轉(zhuǎn)，在轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔之間保持一定的間隙，進(jìn)行高速運(yùn)轉(zhuǎn)，從而完成吸氣和排氣的過程，達(dá)到抽出系統(tǒng)內(nèi)氣體的目的。泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子處于位置1和2時(shí)，進(jìn)氣口側(cè)內(nèi)體積增加。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)到位置3時(shí)，一部分容積從進(jìn)氣口側(cè)被分離出來。在位置4時(shí)，這個(gè)容積開放到排氣口測流入。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體通過排氣口排出。轉(zhuǎn)子每轉(zhuǎn)動(dòng)一圈完成兩次以上的過程。羅茨泵進(jìn)氣口和排氣口之間的壓差是受到限制的。TRP系列羅茨泵在進(jìn)排氣口間設(shè)置了一旁通閥（2），當(dāng)今氣口的壓差達(dá)到一定值時(shí)，旁通閥就自動(dòng)打開，排氣口處的部分氣體通過旁通閥和反流通道（1）反流到進(jìn)氣口，這就**降低了高壓差下羅茨泵和前級泵的運(yùn)行負(fù)荷。同時(shí)，因?yàn)榇蜷_的旁通閥具有泄流作用，可確保TRP系列真空泵和前級泵可以同時(shí)啟動(dòng)而不會使羅茨泵和前級泵過載。由于羅茨泵不能單獨(dú)工作，必須與前級泵（如旋片泵、滑閥泵、水環(huán)泵等）組成羅茨泵機(jī)組使用，若欲獲得更高的真空度，可采用兩臺羅茨泵串聯(lián)組成三級羅茨泵機(jī)組。穩(wěn)定可靠：我們的真空泵采用好材料和精密制造工藝，具有良好的抗腐蝕性和耐用性。附近真空泵常用知識

用戶可以通過界面直觀地調(diào)整參數(shù)和監(jiān)測設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，提高操作便利性和工作安全性。附近真空泵常用知識

性能：?100號真空泵油具有適宜的粘度，在低溫下能使真空泵迅速啟動(dòng)，在高溫下具有良好的密封性；?分別滿足規(guī)定要求的真空度和使用場合；?較好的抗乳化性，適應(yīng)于常規(guī)生產(chǎn)環(huán)境和工況要求；?較好的抗泡沫性，減少由于溢流、斷流引起泵體的磨損。?100號真空泵油在使用過程中不易氧化，延長換油周期，產(chǎn)生油泥少減少對泵部件的磨損和腐蝕，延長泵的使用壽命

用途：?適用于8L-70L旋片真空泵適用客戶：?沈陽恒星、成都南光、北京北儀、上海真空泵、浙江力鑫包裝：?16L/桶、200L/桶 附近真空泵常用知識