真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。 真空泵的特點： (1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速； (2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可較大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速； (3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染； (4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感； (5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差； (6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。要正確地選擇真空泵的工作點，每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍。杭州隔膜真空泵哪家好

真空泵的機(jī)械選擇： 1.了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。 2.真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 3.正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。江西負(fù)壓羅茨真空泵購買打開真空泵油箱上面的加油螺塞，將配好的真空泵油倒進(jìn)泵內(nèi)。

分子真空泵的應(yīng)用情況： 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

真空泵的測量方式： 1.熱偶真空計 利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計。 2.電離真空計 由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強(qiáng)的真空計。 3.復(fù)合真空計 由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~10-5Pa。 4.冷陰極電離計 陽極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場作用，陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強(qiáng)的真空計。 5.電阻真空計 利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。真空泵立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。

干式真空泵機(jī)組：由干式螺桿泵+羅茨泵+電控箱組成。 干式真空泵機(jī)組，應(yīng)用普遍,高效.節(jié)能.環(huán)保,性能穩(wěn)定，,極限真空，機(jī)組具備運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低、振動小、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小等優(yōu)點。更適應(yīng)化工制藥半導(dǎo)體等惡劣工況!維護(hù)方便,可替代多種傳統(tǒng)真空泵 優(yōu)點：沒有污水和廢油排出。旋片真空機(jī)組：是以旋片真空泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點。因為該機(jī)組的結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機(jī)械真空泵,因此旋片泵機(jī)組普遍地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無炸裂性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學(xué)反應(yīng)的也不會含有顆粒塵埃的氣體。真空泵在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速。江西負(fù)壓羅茨真空泵購買

由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油。杭州隔膜真空泵哪家好

真空泵使用方法和注意事項： 1.三相電機(jī)要注意電機(jī)旋轉(zhuǎn)方向應(yīng)與泵支架上的箭頭方向一致。或在連接管道之前，先接線試車然后用手堵住進(jìn)氣口，看是否有吸力，若是有吸力，則接線正確，不然調(diào)換任意的兩根接線即可以改變其轉(zhuǎn)向（注：對三相電機(jī)確定轉(zhuǎn)向時，必須在瞬間進(jìn)行）； 2.檢查所有閥門開關(guān)是否處于關(guān)閉狀態(tài)，確認(rèn)關(guān)閉后通電試車； 3.通電起動真空泵后，從真空泵較近的閥門開關(guān)開始，依次打開閥門開關(guān)； 4.真空泵的工作環(huán)境溫度：-50C—400C范圍內(nèi)，相對濕度小于85%，進(jìn)氣口壓力小于一個大氣壓力條件下工作。如果環(huán)境溫度過低于真空泵則難以起動、過高會影響真空度；如果相對濕度較高，可以考慮在進(jìn)入真空泵之前使用干燥過濾器，以防止大量的水分進(jìn)入真空泵，從而造成影響真空度； 5.真空泵抽氣口連續(xù)敞通大氣運轉(zhuǎn)，不得超過2分鐘（油泵潤滑除外）； 6.真空泵必須安裝在通風(fēng)并且使泵體保持一定的水平，確保真空泵運轉(zhuǎn)平穩(wěn)、振動小的位置； 7.在真空泵的排氣咀上，較好用皮管接到室外，以免油蒸汽污染環(huán)境，同時也可降低。杭州隔膜真空泵哪家好

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