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VAISALA維薩拉是許多半導(dǎo)體制造廠測定鎢的CMP研磨液中H2O2濃度的儀器供應(yīng)商Published:三月17,2021工業(yè)測量液體測量化學(xué)機(jī)械研磨/拋光(CMP)將化學(xué)反應(yīng)和機(jī)械研磨結(jié)合在一起，是一項(xiàng)成本高昂且具有挑戰(zhàn)性的重要納米拋光工藝。這一工藝是集成電路制造中關(guān)鍵的使能步驟，對產(chǎn)量和工作效率都會產(chǎn)生影響。CMP簡介拋光工藝使用含氧化劑的漿料完成，氧化劑通常為過氧化氫(H2O2)。在制造過程中，將晶圓和拋光墊緊密地壓在一起，同時(shí)使二者各自以略微不同的速度逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。將漿料鋪在拋光墊中心，然后結(jié)合運(yùn)用機(jī)械操作和化學(xué)操作，逐步除去晶圓表面的材料，使晶圓表面局部和整體都順滑平坦。使用CMP漿料前，先在工廠對其進(jìn)行混合或稀釋。氧化物拋光漿料在購買時(shí)通常為濃縮狀態(tài)，使用前在現(xiàn)場加水稀釋，以減少運(yùn)輸和人工成本。一些多組分拋光漿料只能隨用隨混，因?yàn)檫@些漿料在混合后有效期很短。確保正確地混合至關(guān)重要，寧波蔬菜大棚溫濕度傳感器品牌7100-0066-0100-000 WH-400 1200-0010-4000-0 WH-20 1202-1042-0000-001 LS-Kabelsonde 7000-0050-2200-100 SF-M。

維薩拉VAISALA工業(yè)測量部的產(chǎn)品涵蓋了測量溫濕度、露點(diǎn)儀、二氧化碳、油中水分、變壓器溶解氣體、過氧化氫、沼氣、液體濃度、大氣壓力等，并廣泛應(yīng)用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、民用及科研院所，主要包括半導(dǎo)體、汽車制造、食品與飲料、電力、生命科學(xué)、暖通空調(diào)等諸多領(lǐng)域。儀表手持式溫濕度表HM70維薩拉 HUMICAP HM70 設(shè)計(jì)用于要求嚴(yán)苛的現(xiàn)場抽檢及比對，也是用于維薩拉固定濕度儀的現(xiàn)場檢查和校準(zhǔn)的理想選擇。Image儀表溫度和濕度探頭 HMP1維薩拉 HUMICAP® 溫濕度探頭 HMP1 設(shè)計(jì)用于室內(nèi)空間的環(huán)境測量。

本質(zhì)安全型溫濕度變送器系列HMT370EX適用于0區(qū)和20區(qū)HMT370EX已獲得ATEX、IECEx、CML、NEPSI、KC、FM、CSA和UKEX本質(zhì)安全認(rèn)證。本質(zhì)安全型HMT370EX是適用于級別在0區(qū)和20區(qū)的危險(xiǎn)區(qū)域的理想解決方案。除了測量相對濕度和溫度外，該變送器還輸出其他濕度參數(shù)：露點(diǎn)儀溫度、濕球溫度、***濕度、混合比、水濃度、水質(zhì)量分?jǐn)?shù)、水汽壓和焓值。另有用于測量油中和噴氣燃料油中微量水分的特殊型號可供選擇。聯(lián)系我們數(shù)據(jù)表典型應(yīng)用場景典型應(yīng)用場景包括燃料儲罐，化學(xué)品生產(chǎn)、藥品和食品加工，沼氣生產(chǎn)，噴漆車間，以及任何其他需要本質(zhì)安全型濕度或油中微量水分測量的行業(yè)或工藝流程。查看ee372-teha03d08/cd2-td03 ee372-teha07d08/cd2-td03 ee372-tiha03d08/cd3-td03 ee372-tiha07d08/cd2-td03 .

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因?yàn)榛旌闲Ч苯雨P(guān)系到化學(xué)反應(yīng)速率和晶圓拋光速率；混合過程中的任何缺陷都會對可制造性和可靠性產(chǎn)生負(fù)面影響。盡管制造點(diǎn)(POM)的漿料控制很嚴(yán)格，但后續(xù)過程（包括運(yùn)輸、處理和過濾）會影響化學(xué)特性，因此需要對漿料進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測，直到抵達(dá)使用點(diǎn)(POU)為止，以確保實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量。這樣就需要有效、快速、可靠、準(zhǔn)確且經(jīng)濟(jì)高效的計(jì)量工具和方法，因此許多制造廠選擇使用折光儀。如何借助折射率測量技術(shù)來提高生產(chǎn)質(zhì)量折射率(RI)測量技術(shù)是一種不消耗漿料的連續(xù)在線測量方法，可幫助制造廠在傳遞工藝相關(guān)的實(shí)時(shí)信息時(shí)迅速識別出漿料成分錯(cuò)誤，從而減少存在風(fēng)險(xiǎn)的晶圓數(shù)量。CMP漿料攜帶納米顆粒，其固體含量為1-30%（取決于漿料類型），因此對其中的過氧化氫濃度進(jìn)行分析極具挑戰(zhàn)性。但通過對特定漿料的折射率及溫度特性進(jìn)行標(biāo)定，RI測量法可以不懼這些困難條件，成功測量出鎢漿料中的過氧化氫濃度并將誤差控制在±0.03%（重量）以內(nèi)。此外，內(nèi)蒙古溫濕度變送器溫濕度傳感器價(jià)格

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