微納加工是指制造特征尺寸以納米為單位的結構，尤其是側面小于20納米的結構。目前的技術大多只允許在二維意義上進行微納加工。納加工通常用于制造計算機芯片，傳統(tǒng)的光刻技術是計算機行業(yè)的支柱，可用于創(chuàng)建尺寸小于22m的特征，雖然這是非常昂貴的，而目且目前還不被認為是經濟有效的。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，面向半導體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領域，致力于打造高級的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務，面向國內外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術驗證以及產品中試提供技術支持。微納加工涉及領域廣、多學科交叉融合，其較主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)（MEMS）。攀枝花微納加工中心

    激光微納加工相比納秒激光器、連續(xù)激光器，飛秒激光加工是“冷加工”，其加工過程中幾近不會有熱：傳導。飛秒激光加工優(yōu)勢在于：峰值能量高、加工精度高、對材料幾乎無熱損傷等，其具體加工方式包括：蝕刻、改性、切割、打孔、周雕刻以及集成電路光刻等。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，面向半導體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領域，致力于打造高級的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務，面向國內外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術驗證以及產品中試提供技術支持。 無錫超快微納加工高精度的微細結構可以通過電子束直寫或激光直寫制作！

微納加工技術都有高精度、科技含量高、產品附加值高等特點，能突顯一個國家工業(yè)發(fā)展水平，在推動科技進步、促進產業(yè)發(fā)展、提升生活品質等方面都發(fā)揮著重要作用。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，是國內少數擁有完整半導體工藝鏈的研究平臺之一，可進行鍍膜、光刻、刻蝕等工藝，加工尺寸覆蓋2-6英寸。微納加工平臺將面向國內外科研機構和企業(yè)提供較全的開放服務，對半導體材料與器件的深入研發(fā)給予較全支持，能夠為廣大科研單位和企業(yè)提供好品質服務。

在過去的幾年中，全球各地的研究機構和一些大學已開始集中研究微觀和納米尺度現象、器件和系統(tǒng)。雖然這一領域的研究產生了微納制造方面的先進知識，但比較顯然，這些知識的產業(yè)應用將是增強這些技術未來增長的關鍵。雖然在這些領域的大規(guī)模生產方面已經取得了進步，但微納制造技術的主要生產環(huán)境仍然是停留在實驗室中，在企業(yè)的大規(guī)模生產環(huán)境中難得一見。這就導致企業(yè)在是否采用這些技術方面猶豫不決，擔心它們可能引入未知因素，影響制造鏈的性能與質量。就這一點而言，投資于基礎設施的發(fā)展，如更高的模塊化、靈活性和可擴展性可能會有助于生產成本的減少，對于新生產平臺成功推廣至關重要。這將有助于吸引產業(yè)界的積極參與，與率先的研究實驗室一起推動微納產品的不斷升級換代。微納加工技術的特點：微型化。

當前納米制造技術在環(huán)境友好方面有望大展身手的一些領域有以下幾種：1、照明：對于傳統(tǒng)的白熾光源來說，LEDs是一種高效能的替代，納米技術可用來開發(fā)更多新的光源。2、發(fā)動機/燃料效率：采用納米顆粒燃料添加劑能夠減少柴油機的能耗并改善局部空氣質量。微納材料也用來改善飛機渦輪葉片的熱阻性能，使得發(fā)動機可以在更高的溫度下繼續(xù)運轉，進而提高整個發(fā)動機的效率。3、減重：新型較強度復合材料能夠減輕材料的重量。未來的目標包括：在金屬合金和塑料中摻雜納米管來減少飛機的重量；改進橡膠配方中摻雜入輪胎的納米顆粒；利用通過納米技術制得的汽車等的催化式排氣凈化器優(yōu)化車內燃料的燃燒過程。新一代微納制造系統(tǒng)應滿足的要求：能生產多種多樣高度復雜的微納產品！福州微納加工工藝流程

微納制造技術是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件！攀枝花微納加工中心

伴隨著國際制造業(yè)向中國轉移，中國大陸電子元器件行業(yè)得到了飛速發(fā)展。從細分領域來看，隨著4G、移動支付、信息安全、汽車電子、物聯(lián)網等領域的發(fā)展，微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務產業(yè)進入飛速發(fā)展期；為行業(yè)發(fā)展帶來了廣闊的發(fā)展空間。目前，我們的生活充斥著各種電子產品，無論是智能設備還是非智能設備，都離不開電子元器件的身影。智能化發(fā)展帶來的經濟化效益無疑是更為明顯的，但是在它身后的微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務前景廣闊。5G時代天線、射頻前端和電感等電子元件需求將明顯提升,相關微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務公司如信維通信、碩貝德、順絡電子等值的關注。提升傳統(tǒng)消費電子產品中高級供給體系質量,增強產業(yè)重點競爭力:在傳統(tǒng)消費電子產品智能手機和計算機產品上,中國消費電子企業(yè)在產業(yè)全球化趨勢下作為關鍵供應鏈和主要市場的地位已經確立,未來供應體系向中高級端產品傾斜有利于增強企業(yè)贏利能力。目前國內外面臨較為復雜的經濟環(huán)境,傳統(tǒng)電子制造企業(yè)提升自身技術能力是破局轉型的關鍵。通過推動和支持傳統(tǒng)電子企業(yè)制造升級和自主創(chuàng)新,可以增強企業(yè)在產業(yè)鏈中的重點競爭能力。同時我國層面通過財稅政策的持續(xù)推進,從實質上給予微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務創(chuàng)新型企業(yè)以支持,亦將對產業(yè)進步產生更深遠的影響。攀枝花微納加工中心

廣東省科學院半導體研究所正式組建于2016-04-07，將通過提供以微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務等服務于于一體的組合服務。業(yè)務涵蓋了微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務等諸多領域，尤其微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務中具有強勁優(yōu)勢，完成了一大批具特色和時代特征的電子元器件項目；同時在設計原創(chuàng)、科技創(chuàng)新、標準規(guī)范等方面推動行業(yè)發(fā)展。我們強化內部資源整合與業(yè)務協(xié)同，致力于微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務等實現一體化，建立了成熟的微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務運營及風險管理體系，累積了豐富的電子元器件行業(yè)管理經驗，擁有一大批專業(yè)人才。值得一提的是，廣東省半導體所致力于為用戶帶去更為定向、專業(yè)的電子元器件一體化解決方案，在有效降低用戶成本的同時，更能憑借科學的技術讓用戶極大限度地挖掘芯辰實驗室,微納加工的應用潛能。