自所述電路基板的法線方向觀察時，隔著所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反側(cè)存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達(dá)電動馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離控制電路。作為理想的技術(shù)方案，所述第2線圈布線的所述第2部位自比所述第2電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第2電力電路。由此，能夠使第2線圈布線遠(yuǎn)離磁傳感器，能夠抑制因電流在第2線圈布線中流動而產(chǎn)生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術(shù)方案，所述電路基板具有與所述第2線圈布線的所述第2部位相連接的第2通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時，在所述檢測電路的配置位置與所述第2通孔之間存在所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達(dá)電動馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離磁傳感器。隔著所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反側(cè)存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達(dá)電動馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離控制電路。作為理想的技術(shù)方案，還具有配置于所述電路基板的電容器，自所述電路基板的法線方向觀察時。江寧區(qū)象鼻子氣動懸臂吊推薦廠家！秦淮區(qū)粉塵氣動懸臂吊供應(yīng)

    機械手停止作業(yè)，避免意外的傷害。e）設(shè)備配套安全控制系統(tǒng)，在操作時，系統(tǒng)不會因為誤動作，而突然改變負(fù)載或空載壓力，因此機械手不會因此快速上升或下降而對人身、設(shè)備和產(chǎn)品造成傷害。助力機械手發(fā)展趨勢世界工業(yè)機械手均有高精化，高速化，多軸化，輕量化的發(fā)展趨勢。定位精度可以滿足微米及亞微米級要求，將機械手、柔性制造系統(tǒng)和柔性制造單元相結(jié)合，從而根本改變機械制造系統(tǒng)的人工操作狀態(tài)。隨著機械手的小型化和微型化，其應(yīng)用領(lǐng)域?qū)黄苽鹘y(tǒng)的機槭領(lǐng)域，而向著電子信息、生物技術(shù)、生命科學(xué)及航空航天等行業(yè)發(fā)展[3]。助力機械手助力機械手分類助力機械手分為：硬臂式助力機械手、軟索式助力機械手、折臂吊、電動平衡吊、氣動平衡吊、懸臂吊、墻壁吊。秦淮區(qū)粉塵氣動懸臂吊供應(yīng)浦口區(qū)米袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    蝸桿旋轉(zhuǎn)的同時通過與兩個支撐板的配合可將蝸桿底端安裝的安裝板進(jìn)行提升，進(jìn)而可對板材進(jìn)行提升，操作完畢后，只需分別將第1電機與第二電機反轉(zhuǎn)，即可重復(fù)作業(yè)，除此之外立柱的底部安裝的滑輪可配合滑軌等移動裝置對機械手進(jìn)行移動，以增加機械手對板材的移動范圍。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單易于實現(xiàn)，通過各個部件間的相互配合可對板材進(jìn)行穩(wěn)固的夾取并提升，節(jié)約了人力勞動提高了效率，除此之外機械手還可在惡劣的環(huán)境中進(jìn)行操作，以保護人身安全。附圖說明圖1為本發(fā)明提出的一種板材搬運自動化設(shè)備的機械手的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明提出的一種板材搬運自動化設(shè)備的機械手的橫板與移動夾板的連接示意圖；圖3為本發(fā)明提出的一種板材搬運自動化設(shè)備的機械手的三角形傳動件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中：1立柱、2第1電機、3第二電機、4橫板、5固定夾板、6移動夾板、7安裝板、8斜齒輪、9蝸桿、10支撐板、11第1轉(zhuǎn)盤、12第二轉(zhuǎn)盤、13轉(zhuǎn)軸、14三角形傳動件、15固定板、16螺紋套管、17轉(zhuǎn)桿、18限位板、19滑槽板、20滑桿、21防滑齒。具體實施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例只只是本發(fā)明一部分實施例。

    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)。江寧區(qū)室內(nèi)深加工氣動懸臂吊推薦廠家！

    能夠?qū)⒌?電力電路和第2電力電路配置于靠近電路基板的外周的位置，能夠增大第1電力電路以及第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。由此，由第1電力電路和第2電力電路產(chǎn)生的熱不易向磁傳感器傳遞，因此，能夠抑制磁傳感器的溫度上升。作為理想的技術(shù)方案，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線相鄰地配置。由此，能夠?qū)⒌?電力電路和第2電力電路相鄰地配置。作為理想的技術(shù)方案，所述第1線圈布線的所述第2部位自比所述第1電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第1電力電路。由此，能夠使第1線圈布線遠(yuǎn)離磁傳感器，能夠抑制因電流在第1線圈布線中流動而產(chǎn)生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術(shù)方案，所述電路基板具有與所述第1線圈布線的所述第2部位相連接的第1通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時，在所述檢測電路的配置位置與所述第1通孔之間存在所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達(dá)電動馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離磁傳感器。作為理想的技術(shù)方案，自所述電路基板的法線方向觀察時。棲霞區(qū)常見氣動懸臂吊推薦廠家！秦淮區(qū)粉塵氣動懸臂吊供應(yīng)

高淳區(qū)糖袋氣動懸臂吊推薦廠家！秦淮區(qū)粉塵氣動懸臂吊供應(yīng)

    譬如增設(shè)可調(diào)節(jié)高度的支撐腿等滑道的固定方式也是可行的，這里不做詳細(xì)介紹。利用第1滑道200和第二滑道300的鉸接關(guān)系，可對兩個滑道的傾角進(jìn)行調(diào)整，并較終通過絞索600來固定滑道位置。從而讓輸送滑道滿足輸送不同規(guī)格產(chǎn)品時，摩擦系數(shù)變化所帶來的影響。此外，對于長距離滑道運輸?shù)膱鼍埃€可在上述實施例的基礎(chǔ)上增設(shè)前段滑道400和支撐腿500。前段滑道400底端搭接于第1滑道200的頂端，而其頂端對接于前段設(shè)備，在本實施例中，因為前段設(shè)備為一輸送皮帶，在前段滑道400的頂端增設(shè)有u字形缺口，貼合皮帶端頭的外形，同時為防止物料卡包，對u字形缺口的邊緣進(jìn)行卷邊處理。為了對前段滑道400進(jìn)行必要的支撐，至少要有一支撐腿500對滑道進(jìn)行固定。如圖3所示，為了快捷的調(diào)整絞索600的拉線長度，增設(shè)一種絞索固定件，其包括一個滑輪121、旋鈕122和卡塊123?；?21轉(zhuǎn)軸固定在塔架100上?？▔K100為金屬件，在本實施例中具體選用316l，其帶有第1通道123a和第二通道123b，二者相互平行。并且卡塊123上端延伸出有兩個連接筋124，分別鉸接于滑輪121轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)。絞索600穿過第1通道123a后繞過滑輪121，然后穿過第二通道123b。旋鈕122垂直從卡塊123側(cè)壁插入，并接通第二通道123b。秦淮區(qū)粉塵氣動懸臂吊供應(yīng)

上海勁容自動化設(shè)備有限公司位于上海市金山區(qū)亭林鎮(zhèn)松隱南星村3016號1樓45室，是一家專業(yè)的工業(yè)自動化設(shè)備，真空設(shè)備及配件，起重設(shè)備及配件，傳動設(shè)備及配件。氣動液壓設(shè)備，液壓元件及工具，包裝機械設(shè)備， 包裝耗材，機電設(shè)備，儀器儀表，金屬材料，電子產(chǎn)品，化工原料及產(chǎn)品，五金交電，建材，橡膠制品，通訊器材，電線電纜銷售，機電設(shè)備安裝維修，商務(wù)信息咨詢。公司。專業(yè)的團隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能，致力于發(fā)展上海勁容自動化設(shè)備有限公的品牌。公司不僅*提供專業(yè)的工業(yè)自動化設(shè)備，真空設(shè)備及配件，起重設(shè)備及配件，傳動設(shè)備及配件。氣動液壓設(shè)備，液壓元件及工具，包裝機械設(shè)備， 包裝耗材，機電設(shè)備，儀器儀表，金屬材料，電子產(chǎn)品，化工原料及產(chǎn)品，五金交電，建材，橡膠制品，通訊器材，電線電纜銷售，機電設(shè)備安裝維修，商務(wù)信息咨詢。，同時還建立了完善的售后服務(wù)體系，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。上海勁容自動化始終以質(zhì)量為發(fā)展，把顧客的滿意作為公司發(fā)展的動力，致力于為顧客帶來***的氣管吸吊機，助力機械手，真空吊具，軌道交通。