而不是全部的實(shí)施例。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，只是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。如圖1-3所示，本發(fā)明的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手，包括立柱1，立柱1的底部安裝有滑輪，滑輪可配合滑軌等移動(dòng)裝置以使得機(jī)械手的移動(dòng)范圍更廣，立柱1的頂壁上安裝有第1電機(jī)2，第1電機(jī)2的驅(qū)動(dòng)端安裝有斜齒輪8，立柱1的一側(cè)的側(cè)壁上安裝有兩個(gè)支撐板10，兩個(gè)支撐板10之間共同安裝有蝸桿9，兩個(gè)支撐板10上均開(kāi)設(shè)有斜螺紋孔，且斜螺紋孔與蝸桿9相互嚙合，蝸桿9與斜齒輪8相互嚙合，蝸桿9的底端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有安裝板7，安裝板7靠近立柱1一側(cè)的側(cè)壁上安裝有滑塊，立柱1的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有與滑塊相互配合的豎向滑槽，安裝板7通過(guò)滑塊與豎向滑槽的配合可沿著立柱1進(jìn)行上下滑動(dòng)，安裝板7的頂壁上開(kāi)設(shè)有轉(zhuǎn)槽，轉(zhuǎn)槽內(nèi)設(shè)有限位板18，蝸桿9的底端貫穿安裝板7的頂壁并延伸至轉(zhuǎn)槽內(nèi)，蝸桿9的底端安裝在限位板18的頂壁上。本發(fā)明中。棲霞區(qū)常見(jiàn)氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！鼓樓區(qū)室內(nèi)深加工氣動(dòng)懸臂吊哪家有

    設(shè)置在所述弧形槽上用于鎖緊所述球頭和所述弧形槽的鎖緊件，以及設(shè)置在所述弧形槽內(nèi)用于增大摩擦力以控制所述球頭在所述弧形槽內(nèi)的位置的阻尼件。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述鎖緊件包括與所述弧形槽上的開(kāi)孔螺紋連接的鎖緊手柄，以及與所述鎖緊手柄固定連接并且位于所述弧形槽內(nèi)與所述球頭的外表面形狀配合的弧形壓板。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述固定夾持機(jī)構(gòu)包括與所述弧形槽連接的防滑手柄，與所述防滑手柄的連接的支架，與所述支架連接的夾持件，以及與所述夾持件的端部連接用于鎖緊所述夾持件的鎖定板。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述夾持件包括與所述支架固定連接的固定夾，位于所述固定夾的一側(cè)與所述支架轉(zhuǎn)動(dòng)連接的轉(zhuǎn)動(dòng)夾，以及設(shè)置所述轉(zhuǎn)動(dòng)夾與所述支架之間用于轉(zhuǎn)動(dòng)夾轉(zhuǎn)動(dòng)后復(fù)位的壓簧；所述鎖定板與所述固定夾的端部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)可將所述固定夾和所述轉(zhuǎn)動(dòng)夾鎖緊在一起。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)包括與所述球頭固定連接的內(nèi)調(diào)節(jié)桿，套置在所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿外與所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿可以相對(duì)往復(fù)移動(dòng)的外調(diào)節(jié)桿，設(shè)置在所述外調(diào)節(jié)桿上用于鎖定或者解鎖所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿和所述外調(diào)節(jié)桿之間的相對(duì)位置的開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面。鼓樓區(qū)室內(nèi)深加工氣動(dòng)懸臂吊哪家有雨花臺(tái)區(qū)粉塵氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過(guò)程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來(lái)越復(fù)雜，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來(lái)越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)。

    蝸桿旋轉(zhuǎn)的同時(shí)通過(guò)與兩個(gè)支撐板的配合可將蝸桿底端安裝的安裝板進(jìn)行提升，進(jìn)而可對(duì)板材進(jìn)行提升，操作完畢后，只需分別將第1電機(jī)與第二電機(jī)反轉(zhuǎn)，即可重復(fù)作業(yè)，除此之外立柱的底部安裝的滑輪可配合滑軌等移動(dòng)裝置對(duì)機(jī)械手進(jìn)行移動(dòng)，以增加機(jī)械手對(duì)板材的移動(dòng)范圍。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易于實(shí)現(xiàn)，通過(guò)各個(gè)部件間的相互配合可對(duì)板材進(jìn)行穩(wěn)固的夾取并提升，節(jié)約了人力勞動(dòng)提高了效率，除此之外機(jī)械手還可在惡劣的環(huán)境中進(jìn)行操作，以保護(hù)人身安全。附圖說(shuō)明圖1為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手的橫板與移動(dòng)夾板的連接示意圖；圖3為本發(fā)明提出的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手的三角形傳動(dòng)件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中：1立柱、2第1電機(jī)、3第二電機(jī)、4橫板、5固定夾板、6移動(dòng)夾板、7安裝板、8斜齒輪、9蝸桿、10支撐板、11第1轉(zhuǎn)盤(pán)、12第二轉(zhuǎn)盤(pán)、13轉(zhuǎn)軸、14三角形傳動(dòng)件、15固定板、16螺紋套管、17轉(zhuǎn)桿、18限位板、19滑槽板、20滑桿、21防滑齒。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例只只是本發(fā)明一部分實(shí)施例。六合區(qū)包裝袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

    從而使夾持件103呈打開(kāi)狀態(tài)。固定夾1031與轉(zhuǎn)動(dòng)夾1032遠(yuǎn)離支架102的一端均為弧形壁板。這兩個(gè)弧形壁板相面對(duì)的一側(cè)在夾持件103閉合狀態(tài)時(shí)形成一個(gè)容納艙壁助力扶手a的空間。該空間有四個(gè)沿圓周方向等間隔排列的圓弧形凹槽組成，這樣的設(shè)計(jì)適應(yīng)于目前艙壁助力扶手a的橫截面均為如圖3所示的長(zhǎng)圓形截面的特點(diǎn)。而轉(zhuǎn)動(dòng)夾1032用于構(gòu)成容納艙壁助力扶手a的空間的弧形壁板為兩段結(jié)構(gòu)。如圖4所示，當(dāng)艙壁助力扶手a垂直于支架102置于固定夾1031與轉(zhuǎn)動(dòng)夾1032之間的空間中時(shí)，扶手a的兩端卡在空間的上下兩個(gè)圓弧形凹槽中。如圖5所示，當(dāng)艙壁助力扶手a平行于支架102置于固定夾1031與轉(zhuǎn)動(dòng)夾1032之間的空間中時(shí)，艙壁助力扶手a的兩端卡在該空間的左右兩個(gè)圓弧形凹槽中。鎖定板104分為兩部分結(jié)構(gòu)，一部分較薄，便于航天員轉(zhuǎn)動(dòng)；另一部分較厚且空心，并在圖3中上側(cè)設(shè)置多個(gè)相間排列的槽。鎖定板104較厚的一部分鉸接在固定夾1031遠(yuǎn)離支架102的一端。而由圖2可知，轉(zhuǎn)動(dòng)夾1032遠(yuǎn)離支架102的一端為扁的齒型結(jié)構(gòu)(圖中未示出)，齒的尺寸和數(shù)量恰好與鎖定板104較厚部分的槽對(duì)應(yīng)。結(jié)合圖4和圖5，在鎖定時(shí)，航天員向上撥動(dòng)鎖定板104較薄的部分使其順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)90°時(shí)。六合區(qū)工業(yè)氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！天寧區(qū)室內(nèi)深加工氣動(dòng)懸臂吊原理

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    可將被抓取部位的形狀分成圓柱形、正方柱形、板形、球形和圓錐形等5種典型表面。各種手指在抓取這5種典型表面時(shí)的接觸狀態(tài)是各不相同的，根據(jù)這時(shí)的接觸狀態(tài)，即可對(duì)不同形狀和數(shù)量的手指及其抓取機(jī)能進(jìn)行分析和比較，以便從中選出合理的指形和手指?jìng)€(gè)數(shù)[2]。手指抓取機(jī)能與手指、被抓取物件的關(guān)系助力機(jī)械手控制系統(tǒng)a）設(shè)置有元件保護(hù)盒，以保護(hù)主要精密氣動(dòng)元器件，避免操作時(shí)意外撞擊及灰塵沉積。氣路排布完全按豐田AMS標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，方便維修。b）系統(tǒng)配備二聯(lián)件、單向閥和儲(chǔ)氣罐，為系統(tǒng)提供持續(xù)穩(wěn)定的壓縮空氣，當(dāng)主供氣源意外斷氣時(shí)，可提供一定時(shí)間的安全保障，并使系統(tǒng)有足夠的動(dòng)力完成本次操作或?qū)⒐ぜ遁d。助力機(jī)械手助力機(jī)械手系統(tǒng)安全a）配備有負(fù)載顯示器，指示負(fù)載狀態(tài)，告知操作者：此時(shí)物料是否可被提起或被卸載。當(dāng)系統(tǒng)處于負(fù)載狀態(tài)時(shí)，顯示器呈紅）配備有負(fù)載壓力表，指示壓縮空氣工作狀況。c）配備有安全誤操作保護(hù)裝置，防止誤動(dòng)作對(duì)人身或設(shè)備造成傷害；在操作者未對(duì)安裝狀況進(jìn)行確認(rèn)前，即工件未安裝到位前，如果工人誤操作松開(kāi)按鈕，工件不能被卸載（限于動(dòng)力夾具）。d）系統(tǒng)配備了失氣保護(hù)裝置，當(dāng)主供氣源意外斷氣時(shí)，主機(jī)臂桿不能動(dòng)作。鼓樓區(qū)室內(nèi)深加工氣動(dòng)懸臂吊哪家有

上海勁容自動(dòng)化設(shè)備有限公司專(zhuān)注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大。公司目前擁有專(zhuān)業(yè)的技術(shù)員工，為員工提供廣闊的發(fā)展平臺(tái)與成長(zhǎng)空間，為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù)，深受員工與客戶好評(píng)。上海勁容自動(dòng)化設(shè)備有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋氣管吸吊機(jī)，助力機(jī)械手，真空吊具，軌道交通，堅(jiān)持“質(zhì)量保證、良好服務(wù)、顧客滿意”的質(zhì)量方針，贏得廣大客戶的支持和信賴。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù)，我們相信誠(chéng)實(shí)正直、開(kāi)拓進(jìn)取地為公司發(fā)展做正確的事情，將為公司和個(gè)人帶來(lái)共同的利益和進(jìn)步。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展，已成為氣管吸吊機(jī)，助力機(jī)械手，真空吊具，軌道交通行業(yè)出名企業(yè)。