轉(zhuǎn)動(dòng)夾1032遠(yuǎn)離支架102的一端的齒型結(jié)構(gòu)插入至鎖定板104較厚部分的槽中，從而壓住轉(zhuǎn)動(dòng)夾1032，達(dá)到鎖定夾持件103的目的。圖6是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實(shí)施方式的長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)的立體圖。如圖6所示，長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)2包括內(nèi)調(diào)節(jié)桿201、外調(diào)節(jié)桿202和開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)203。內(nèi)調(diào)節(jié)桿201為空心矩形桿，其相對(duì)的兩個(gè)側(cè)壁設(shè)有等間隔直線排列的多個(gè)固定孔2011，每?jī)蓚€(gè)相對(duì)的固定孔2011為一個(gè)長(zhǎng)度調(diào)節(jié)檔位。外調(diào)節(jié)桿202也為空心矩形桿，其內(nèi)孔為與內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外形矩形輪廓相同的矩形孔。外調(diào)節(jié)桿202一端開(kāi)口，而內(nèi)調(diào)節(jié)桿201從此開(kāi)口處插入外調(diào)節(jié)桿202的內(nèi)孔中。并且外調(diào)節(jié)桿202能套在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外做直線往復(fù)移動(dòng)，完成換擋。而為了使航天員更清晰的判斷檔位，可如圖6所示，在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁上位于兩個(gè)同一側(cè)壁的固定孔2011之間的位置設(shè)置軸向環(huán)繞內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁的環(huán)形凹槽。此外，外調(diào)節(jié)桿202外壁的中部位置還設(shè)有扶手204。扶手204為不封閉的矩形框架結(jié)構(gòu)，包括兩個(gè)短邊梁和一個(gè)長(zhǎng)邊梁。兩個(gè)短邊梁遠(yuǎn)離長(zhǎng)邊梁的一端連接在外調(diào)節(jié)桿202的一個(gè)側(cè)壁上，形成一個(gè)封閉的矩形。在調(diào)整長(zhǎng)度時(shí)，航天員握住扶手204向外拉或向里推從而使外調(diào)節(jié)桿202做遠(yuǎn)離或靠近艙壁助力扶手a的運(yùn)動(dòng)。浦口區(qū)常見(jiàn)氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！蘇州糖袋氣動(dòng)懸臂吊原理

    所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿上設(shè)置有多個(gè)固定孔，所述開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)包括支承在所述外調(diào)節(jié)桿上的殼體，在所述殼體內(nèi)可往復(fù)移動(dòng)的鎖定銷(xiāo)，位于所述殼體外與所述鎖定銷(xiāo)的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接用于控制所述鎖定銷(xiāo)插入所述固定孔或者脫離所述固定孔的凸輪手柄。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述殼體包括主體和位于所述主體之上的蓋板，所述鎖定銷(xiāo)包括安裝端和插銷(xiāo)端，所述安裝端穿過(guò)所述蓋板與所述凸輪手柄的凸輪端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述插銷(xiāo)端位于所述主體內(nèi)，其與所述蓋板之間設(shè)置有用于配合所述凸輪手柄控制所述鎖定銷(xiāo)往復(fù)移動(dòng)的彈性件。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述長(zhǎng)度調(diào)整機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述外調(diào)節(jié)桿上的扶手。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述萬(wàn)向接頭結(jié)構(gòu)包括球形槽和第二球頭；所述球形槽與所述外調(diào)節(jié)桿的端部固定連接；所述末端助力機(jī)構(gòu)包括末端扶手和與所述末端扶手連接的連桿；所述第二球頭與所述連桿固定連接。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，夾持件中的固定夾固定在支架上，轉(zhuǎn)動(dòng)夾鉸接在支架上，壓簧設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)夾與支架之間。使得夾持件可以牢固的夾持在艙壁助力扶手上，從而使整個(gè)助力裝置固定。而加緊艙壁扶手后，將鎖定板旋轉(zhuǎn)90°即可將夾持件鎖緊。防滑手柄兩側(cè)設(shè)有多個(gè)等間隔排列的圓弧形凹陷，可以增大摩擦力。蘇州糖袋氣動(dòng)懸臂吊原理江寧區(qū)牛皮袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

增設(shè)可調(diào)節(jié)高度的支撐腿等滑道的固定方式也是可行的，這里不做詳細(xì)介紹。利用第1滑道200和第二滑道300的鉸接關(guān)系，可對(duì)兩個(gè)滑道的傾角進(jìn)行調(diào)整，并較終通過(guò)絞索600來(lái)固定滑道位置。從而讓輸送滑道滿足輸送不同規(guī)格產(chǎn)品時(shí)，摩擦系數(shù)變化所帶來(lái)的影響。此外，對(duì)于長(zhǎng)距離滑道運(yùn)輸?shù)膱?chǎng)景，還可在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上增設(shè)前段滑道400和支撐腿500。前段滑道400底端搭接于第1滑道200的頂端，而其頂端對(duì)接于前段設(shè)備，在本實(shí)施例中，因?yàn)榍岸卧O(shè)備為一輸送皮帶，在前段滑道400的頂端增設(shè)有u字形缺口，貼合皮帶端頭的外形，同時(shí)為防止物料卡包，對(duì)u字形缺口的邊緣進(jìn)行卷邊處理。為了對(duì)前段滑道400進(jìn)行必要的支撐，至少要有一支撐腿500對(duì)滑道進(jìn)行固定。如圖3所示，為了快捷的調(diào)整絞索600的拉線長(zhǎng)度，增設(shè)一種絞索固定件，其包括一個(gè)滑輪121、旋鈕122和卡塊123?；?21轉(zhuǎn)軸固定在塔架100上。卡塊100為金屬件，在本實(shí)施例中具體選用316l，其帶有第1通道123a和第二通道123b，二者相互平行。并且卡塊123上端延伸出有兩個(gè)連接筋124，分別鉸接于滑輪121轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)。絞索600穿過(guò)第1通道123a后繞過(guò)滑輪121，然后穿過(guò)第二通道123b。旋鈕122垂直從卡塊123側(cè)壁插入，并接通第二通道123b。

    末端扶手301同樣為矩形框，有兩個(gè)長(zhǎng)邊梁和兩個(gè)短邊梁組成。連桿302為圓柱形桿件，其可轉(zhuǎn)動(dòng)地插在末端扶手301的一個(gè)長(zhǎng)邊梁上，且該長(zhǎng)邊梁與兩個(gè)短邊梁連接處為圓弧形。由此，末端扶手301可繞連桿302的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。結(jié)合圖6可知，萬(wàn)向接頭結(jié)構(gòu)5包括球形槽501和第二球頭502。球形槽501為一個(gè)由兩部分組成的空心殼體，其一部分為截頭圓錐形殼體，另一部分為從截頭圓錐形殼體錐底向遠(yuǎn)處延伸的一段球面殼體。截頭圓錐形殼體的錐頂固定在外調(diào)節(jié)桿202未開(kāi)口的一端。而球形槽501的球面殼體部分遠(yuǎn)離外調(diào)節(jié)桿202的一端設(shè)有開(kāi)口。如圖9所示，第二球頭502固定在連桿302遠(yuǎn)離末端扶手301的一端。其設(shè)置在球形槽501中，并可自由轉(zhuǎn)動(dòng)，使得萬(wàn)向接頭結(jié)構(gòu)5形成類(lèi)似關(guān)節(jié)的結(jié)構(gòu)。結(jié)合圖2和圖6可知，萬(wàn)向球頭接頭結(jié)構(gòu)4包括球頭401、弧形槽402、鎖緊件403和阻尼件404(參見(jiàn)圖10)。如圖2所示，弧形槽402為球形殼體，其固定在防滑手柄101遠(yuǎn)離支架102的一端。而弧形槽402遠(yuǎn)離防滑手柄101的一端設(shè)有開(kāi)口，而弧形槽402的兩側(cè)設(shè)有開(kāi)孔4021(參見(jiàn)圖10)，該開(kāi)孔4021為螺紋孔。如圖6所示，球頭401通過(guò)一圓柱形桿件固定在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201未插入外調(diào)節(jié)桿202中的一端。同樣，球頭401設(shè)置在弧形槽402的內(nèi)部。浦口區(qū)牛皮袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

    所述的手指固定座33上設(shè)置有插槽41，所述的插槽41內(nèi)可拆卸安裝晶圓固定裝置4。所述的晶圓固定裝置4包括真空吸盤(pán)、氣缸機(jī)械手等。所述的手指固定座33上還設(shè)置有掃描傳感器42，掃描傳感器42包括光纖放大器以及濾光片等光信號(hào)探測(cè)設(shè)備。使用時(shí)，升降軸1進(jìn)行機(jī)械手的豎直上升下降工作，旋轉(zhuǎn)軸2進(jìn)行機(jī)械手的水平旋轉(zhuǎn)工作，伸展軸3進(jìn)行機(jī)械手的伸展拿取工作。相比現(xiàn)有的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本申請(qǐng)中伸展軸3中的一級(jí)伸展臂31、二級(jí)伸展臂32和手指固定座33聯(lián)動(dòng)，一級(jí)伸展臂31、二級(jí)伸展臂32和手指固定座33之間分別具有傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)一級(jí)關(guān)節(jié)5、二級(jí)關(guān)節(jié)6和三級(jí)關(guān)節(jié)7之間的一級(jí)同步帶52和二級(jí)同步帶64在一級(jí)伸展臂31轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，帶動(dòng)二級(jí)伸展臂32和手指固定座33不同速率的轉(zhuǎn)動(dòng)，在升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3三軸聯(lián)動(dòng)的同時(shí)讓手指固定座33始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。這種方式不僅簡(jiǎn)化了整個(gè)伸展軸3傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，共用一個(gè)傳動(dòng)系后不僅提高了運(yùn)行精度、重復(fù)定位精度，又提高了機(jī)械手整體剛度和承重能力。本發(fā)明的機(jī)械手可以通過(guò)設(shè)定在機(jī)械手后方的掃描傳感器42，自動(dòng)掃描片盒中晶片的狀態(tài)（包括：有，無(wú)，重片，斜片），通過(guò)數(shù)據(jù)分析后把結(jié)果傳送給上位設(shè)備控制系統(tǒng)。浦口區(qū)多功能氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！睢寧象鼻子氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家

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    如圖1至圖3所示，一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3，所述的伸展軸3包括伸展電機(jī)34、一級(jí)伸展臂31、二級(jí)伸展臂32和手指固定座33，所述的一級(jí)伸展臂31與所述伸展電機(jī)34之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)5，所述的一級(jí)伸展臂31與所述的二級(jí)伸展臂32之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)6，所述的二級(jí)伸展臂32和所述的手指固定座33之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)7。所述的伸展電機(jī)34通過(guò)諧波減速機(jī)35驅(qū)動(dòng)所述一級(jí)伸展臂31轉(zhuǎn)動(dòng)。所述的伸展電機(jī)34、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)5、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)6和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)7依次傳動(dòng)，所述的一級(jí)關(guān)節(jié)5、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)6和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)7的傳動(dòng)比為1:2:1，根據(jù)本機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)原理，所述的手指固定座34始終保持直線運(yùn)動(dòng)。所述的一級(jí)關(guān)節(jié)5上設(shè)置有一級(jí)同步輪51，所述的二級(jí)關(guān)節(jié)6上設(shè)置有二級(jí)同步輪61，所述的一級(jí)同步輪51和所述的二級(jí)同步輪61通過(guò)一級(jí)同步帶52傳動(dòng)連接，所述的一級(jí)伸展臂31內(nèi)還設(shè)置有與所述一級(jí)同步帶52相配合的一級(jí)張緊輪53。所述的二級(jí)關(guān),6上設(shè)置有三級(jí)同步輪62，所述的三級(jí)關(guān)節(jié)7上設(shè)置有四級(jí)同步輪71，所述的三級(jí)同步輪63和所述的四級(jí)同步輪71通過(guò)二級(jí)同步帶64傳動(dòng)連接，所述的二級(jí)伸展,32內(nèi)還設(shè)置有與所述二級(jí)同步帶64相配合的二級(jí)張緊輪63。蘇州糖袋氣動(dòng)懸臂吊原理

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