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提高了操作的準(zhǔn)確度及速度。本實(shí)施例中,真空吸盤4上設(shè)有手動(dòng)球閥8。用以手動(dòng)打開或關(guān)閉真空動(dòng)力控制系統(tǒng)5與真空吸盤4的通路,方便檢修。本實(shí)施例中,真空吸盤4上設(shè)有真空壓力表9。用以向操作者直觀顯示系統(tǒng)真空壓力,提供安全保障。本實(shí)施例中,蓄能器52上設(shè)有真空過(guò)濾器10。用以過(guò)濾鋁卷表面或空氣中的雜質(zhì)和顆粒,確保真空泵使用壽命。本實(shí)施例中,蓄能器52上設(shè)有電磁閥11。用以控制切換真空泵與真空吸盤4、真空吸盤4與大氣之間的通路。本實(shí)施例中,控制箱51中設(shè)有真空單向閥。當(dāng)系統(tǒng)發(fā)生動(dòng)力故障時(shí),自動(dòng)關(guān)斷真空泵與大氣的通路,鎖住蓄能器真空能量,提供足夠的保壓時(shí)間,確保鋁卷不會(huì)突然掉落。本實(shí)施例中,真空動(dòng)力控制系統(tǒng)5與報(bào)警系統(tǒng)信號(hào)相接,報(bào)警系統(tǒng)包括膜片式真空壓力開關(guān)12以及報(bào)警指示燈13。當(dāng)真空系統(tǒng)壓力未達(dá)到設(shè)定壓力時(shí),或者當(dāng)發(fā)生斷電事故時(shí),報(bào)警指示燈13亮起,同時(shí)蜂鳴器響起,提示操作人員及時(shí)處置。以上所述只是本實(shí)用新型的實(shí)施方式,本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不只局限于上述實(shí)施例,凡屬于本實(shí)用新型思路下的技術(shù)方案均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本實(shí)用新型原理前提下的若干改進(jìn)和潤(rùn)飾。六合區(qū)牛皮袋真空吸盤推薦廠家!濱湖區(qū)包裝袋真空吸盤
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工制造領(lǐng)域,尤其涉及晶圓減薄機(jī)吸附裝置,具體為一種用于減薄機(jī)的真空吸盤。背景技術(shù):晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。在硅晶圓正面制作完集成電路后,為了降低器件熱阻、提高工作散熱及冷卻能力、便于封裝,需要采用減薄機(jī)對(duì)晶圓進(jìn)行背面減薄。一方面,晶圓減薄機(jī)在磨削過(guò)程中,需要將所磨削晶圓置于真空吸盤之上吸附進(jìn)行磨削過(guò)程,對(duì)于所涉及的真空吸盤要求能夠有效的吸附晶圓,并且能夠保證吸盤主體的平整度,以及真空的均勻度,使得減薄機(jī)砂輪在磨削時(shí)吸附晶圓不發(fā)生位移,且吸盤在真空形成的負(fù)壓之下要能防止產(chǎn)生過(guò)大的形變;另一方面,由于加工制造成本相對(duì)較高,所以又要保證減薄機(jī)所用真空吸盤能夠利于更換多次磨削修整后的多孔陶瓷板,且所用底座能夠配合多個(gè)尺寸類型的真空吸盤。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:有鑒于此,本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N安裝方便,能夠保證減薄過(guò)程中吸盤主體的平整度和真空的均勻度,還能更換多孔陶瓷適于不同尺寸的吸盤配合于同一底座的用于減薄機(jī)的真空吸盤。為達(dá)到上述目的。濱湖區(qū)包裝袋真空吸盤棲霞區(qū)包裝袋真空吸盤推薦廠家!
本實(shí)用新型的目的在于提供一種除塵型cnc真空吸盤,其具有對(duì)工件加工時(shí)減少?gòu)U屑進(jìn)入廢屑槽內(nèi),減少操作人員對(duì)真空吸盤清洗的次數(shù),提高生產(chǎn)效率的優(yōu)勢(shì)。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案:一種除塵型cnc真空吸盤,包括吸盤本體和等距設(shè)置在吸盤本體上的放置槽,所述吸盤本體的上表面且位于其中心處設(shè)置有與負(fù)壓泵相連通的氣孔,所述放置槽內(nèi)設(shè)置有密封橡膠條;其特征在于:所述吸盤本體的側(cè)壁固定設(shè)置有連接桿,所述連接桿的長(zhǎng)度方向沿所述吸盤本體的長(zhǎng)度方向進(jìn)行設(shè)置,所述連接桿上設(shè)置有除塵裝置,所述除塵裝置包括馬達(dá)和與馬達(dá)轉(zhuǎn)軸固定連接的扇葉。通過(guò)采用上述技術(shù)方案,當(dāng)在對(duì)工件進(jìn)行加工時(shí),通過(guò)除塵裝置對(duì)吸盤本體上表面產(chǎn)生的廢屑進(jìn)行吹除,有效減少?gòu)U屑進(jìn)入放置槽內(nèi),避免廢屑在放置槽內(nèi)產(chǎn)生堆積,從而操作人員無(wú)需頻繁對(duì)放置槽內(nèi)的廢屑進(jìn)行清理,提高了工作效率。進(jìn)一步地,所述除塵裝置的上方設(shè)置有防護(hù)罩。通過(guò)采用上述技術(shù)方案,防護(hù)罩可以有效減少工件加工時(shí)廢屑和切削液對(duì)除塵裝置的影響。進(jìn)一步地,所述連接桿為圓桿,所述除塵裝置的底部固定設(shè)置有可套接在連接桿上的圓環(huán),所述圓環(huán)的內(nèi)壁側(cè)與連接桿的外側(cè)壁相互貼合。
真空吸盤,又稱真空吊具,是真空設(shè)備執(zhí)行器之一。一般來(lái)說(shuō),利用真空吸盤抓取制品是廉價(jià)的一種方法。真空吸盤品種多樣,橡膠制成的吸盤可在高溫下進(jìn)行操作,由硅橡膠制成的吸盤非常適于抓住表面粗糙的制品;由聚氨酯制成的吸盤則很耐用。另外,在實(shí)際生產(chǎn)中,如果要求吸盤具有耐油性,則可以考慮使用聚氨酯、丁腈橡膠或含乙烯基的聚合物等材料來(lái)制造吸盤。通常,為避免制品的表面被劃傷,選擇由丁腈橡膠或硅橡膠制成的帶有波紋管的吸盤吸盤材料采用丁腈橡膠制造,具有較大的扯斷力,因而廣泛應(yīng)用于各種真空吸持設(shè)備上。中文名真空吸盤外文名Thevacuumchuck別名真空吊具材料吸盤材料采用丁腈橡膠制造組成它由吸盤和吸盤箍組成制造聚氨酯、丁腈橡膠或的聚合物目錄1簡(jiǎn)介?基本簡(jiǎn)介?結(jié)構(gòu)?工作原理?特點(diǎn)2應(yīng)用簡(jiǎn)介?用途?選擇事項(xiàng)?應(yīng)用?維護(hù)維修真空吸盤簡(jiǎn)介編輯真空吸盤基本簡(jiǎn)介真空吸盤是真空設(shè)備執(zhí)行器之一,吸盤材料采用丁腈橡膠制造,具有較大的扯斷力,因而廣泛應(yīng)用于各種真空吸持設(shè)備上,如在建筑、造紙工業(yè)及印刷、玻璃等行業(yè),實(shí)現(xiàn)吸持與搬送玻璃、紙張等薄而輕的物品的任務(wù)。真空吸盤又稱真空吊具及真空吸嘴,一般來(lái)說(shuō),利用真空吸盤抓取制品是廉價(jià)的一種方法。浦口區(qū)多功能真空吸盤推薦廠家!
通過(guò)將吊架內(nèi)部設(shè)置成儲(chǔ)存真空氣體的腔體,節(jié)省了儲(chǔ)氣囊的占用空間,減小了裝置的體積;通過(guò)在吸盤4邊沿的C型鋼14上設(shè)置有弧形的倒鉤141,使密封圈15在上下方向上緊密的和C型鋼14貼合在一起,增加了倒鉤141和密封圈15的接觸面積,從而增大了C型鋼14與密封圈15之間的牽扯力。本實(shí)用新型的用于混凝土管片的直提式真空吸盤,解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的脫模夾具的吊架、儲(chǔ)氣囊均是單獨(dú)設(shè)置,整體體積比較大的問(wèn)題;具有結(jié)構(gòu)緊湊、操控方便、工作穩(wěn)定、節(jié)約空間等優(yōu)點(diǎn)。以上內(nèi)容是結(jié)合具體的實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型所作的進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明,不能認(rèn)定本實(shí)用新型的具體實(shí)施只局限于這些說(shuō)明。對(duì)于本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下,還可以做出若干簡(jiǎn)單推演或替換,都應(yīng)當(dāng)視為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。雨花臺(tái)區(qū)多功能真空吸盤推薦廠家!濱湖區(qū)包裝袋真空吸盤
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電動(dòng)破空閥,設(shè)置在所述吸盤安裝座上,并與所述繼電器電連接,所述電動(dòng)破空閥被配置為開啟時(shí),所述真空吸盤與外界大氣連通,所述電動(dòng)破空閥被配置為關(guān)閉時(shí),所述真空吸盤在所述真空泵的作用下吸附待吸附件??蛇x地,所述電動(dòng)破空閥包括第1通氣口和第二通氣口,所述第1通氣口與所述真空吸盤連通,所述第二通氣口與外界大氣連通,所述第二通氣口被配置為能夠開啟或者閉合??蛇x地,所述真空吸盤組件還包括吸盤氣腔體,所述吸盤氣腔體內(nèi)部設(shè)置有空腔,所述吸盤氣腔體上設(shè)置有與所述空腔連通的第1接口和第二接口,所述第1接口用于與所述真空泵以及所述第1通氣口連通,所述第二接口用于與所述真空吸盤連通。可選地,所述第1接口的數(shù)量為多個(gè),多個(gè)所述第1接口包括抽真空口和破空口,所述抽真空口與所述真空泵連通,所述破空口與所述第1通氣口連通??蛇x地,所述抽真空口和所述破空口上均設(shè)置有氣動(dòng)接頭??蛇x地,所述氣動(dòng)接頭與所述真空泵之間通過(guò)氣管連通;所述氣動(dòng)接頭與所述第1通氣口之間通過(guò)氣管連通??蛇x地,所述第二接口的數(shù)量為多個(gè),每一所述第二接口上均設(shè)置有一所述真空吸盤??蛇x地,所述吸盤安裝座包括吸盤底座和吸盤外殼,所述吸盤外殼為上下貫通的中空結(jié)構(gòu)。濱湖區(qū)包裝袋真空吸盤
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