本發(fā)明能夠有效解決現(xiàn)有技術(shù)中機械手運行速度低，定位精度差的問題。本機械手包含3個軸，分別為升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其中伸展軸又包含3個關(guān)節(jié)，三個關(guān)節(jié)分別為一級關(guān)節(jié)、二級關(guān)節(jié)和三級關(guān)節(jié)，三個關(guān)節(jié)之間的傳動比為1:2:1，伸展電機通過諧波減速機驅(qū)動一級伸展臂轉(zhuǎn)動，通過一級關(guān)節(jié)、二級關(guān)節(jié)和三級關(guān)節(jié)之間設(shè)置有傳動結(jié)構(gòu)，同時帶動二級伸展臂和手指固定座的移動，間接將第1級關(guān)節(jié)遠端的一級同步帶輪變?yōu)橹鲃虞?，通過這種結(jié)構(gòu)，可以在一級伸展臂和二級伸展臂移動時，保持手指固定座的始終直線運動，既晶圓中心始終保持直線運動，晶圓的角度也保持不變。這種結(jié)構(gòu)還提高了機械手整體強度，達到高速度運行和重復(fù)定位精度高的雙重目的。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。附圖說明圖1是本發(fā)明示意圖。圖2是本發(fā)明伸展軸示意圖。圖3是本發(fā)明伸展軸內(nèi)部俯視示意圖。具體實施方式下面結(jié)合附圖與具體實施方式對本發(fā)明作進一步詳細描述。實施例1。六合區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家！沛縣粉塵氣動懸臂吊有幾種

    使得助力裝置能夠適應(yīng)航天員的各種維修姿勢的施力或助力。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖只只是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的助力裝置的立體圖；圖2是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的固定夾持機構(gòu)的立體圖；圖3、圖4和圖5分別是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的固定夾持機構(gòu)完全打開狀態(tài)、未鎖定狀態(tài)和鎖定狀態(tài)的剖視圖；圖6是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的長度調(diào)整機構(gòu)的立體圖；圖7和圖8分別是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的開關(guān)機構(gòu)鎖定狀態(tài)和未鎖定狀態(tài)的剖視圖；圖9是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的末端助力機構(gòu)的立體圖；圖10是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的具有鎖定功能的萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)的剖視圖。具體實施方式為了更清楚地說明本發(fā)明實施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹。顯而易見地，下面描述中的附圖只只是本發(fā)明的一些實施方式。蘇州牛皮袋氣動懸臂吊生產(chǎn)廠家江寧區(qū)粉塵氣動懸臂吊推薦廠家！

    自所述電路基板的法線方向觀察時，隔著所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反側(cè)存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離控制電路。作為理想的技術(shù)方案，所述第2線圈布線的所述第2部位自比所述第2電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第2電力電路。由此，能夠使第2線圈布線遠離磁傳感器，能夠抑制因電流在第2線圈布線中流動而產(chǎn)生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術(shù)方案，所述電路基板具有與所述第2線圈布線的所述第2部位相連接的第2通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時，在所述檢測電路的配置位置與所述第2通孔之間存在所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離磁傳感器。隔著所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反側(cè)存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離控制電路。作為理想的技術(shù)方案，還具有配置于所述電路基板的電容器，自所述電路基板的法線方向觀察時。

    能夠抑制磁傳感器相對于磁體的振動。由此，能夠進一步將磁傳感器與磁體之間的間隔距離保持為恒定。磁傳感器能夠精度良好地檢測磁體的旋轉(zhuǎn)角度。作為理想的技術(shù)方案，所述彈性體具有環(huán)形狀，在自所述軸的軸向俯視時，所述通孔位于所述彈性體的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由此，當彈性體分別貼緊于壁部和電路基板時，壁部的環(huán)被電路基板封堵。由此，能夠防止異物自散熱器的第1面?zhèn)冗M入壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由于磁于壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)，因此能夠抑制異物附著于磁體(發(fā)生污染)。作為理想的技術(shù)方案，所述壁部具有在與所述電路基板相對的面設(shè)置的槽部，所述彈性體能嵌入所述槽部。由此，易于將彈性體配置于壁部的與電路基板相對的面?zhèn)?。能夠防止彈性體相對于壁部錯位。作為理想的技術(shù)方案，所述彈性體為絕緣性。由此，彈性體能夠使電路基板與壁部之間絕緣。例如，即使在壁部由金屬制成的情況下，彈性體也能夠防止電流在壁部與電路基板之間流動。作為理想的技術(shù)方案，還具備將所述壁部的外周面和所述第1面連結(jié)起來的多個肋。由此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結(jié)強度。作為理想的技術(shù)方案，所述多個肋沿著所述壁部的周圍以等間隔配置能夠確保壁部與散熱器之間的連結(jié)強度不產(chǎn)生偏差。作為理想的技術(shù)方案。溧水區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    設(shè)置在所述弧形槽上用于鎖緊所述球頭和所述弧形槽的鎖緊件，以及設(shè)置在所述弧形槽內(nèi)用于增大摩擦力以控制所述球頭在所述弧形槽內(nèi)的位置的阻尼件。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，所述鎖緊件包括與所述弧形槽上的開孔螺紋連接的鎖緊手柄，以及與所述鎖緊手柄固定連接并且位于所述弧形槽內(nèi)與所述球頭的外表面形狀配合的弧形壓板。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，所述固定夾持機構(gòu)包括與所述弧形槽連接的防滑手柄，與所述防滑手柄的連接的支架，與所述支架連接的夾持件，以及與所述夾持件的端部連接用于鎖緊所述夾持件的鎖定板。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，所述夾持件包括與所述支架固定連接的固定夾，位于所述固定夾的一側(cè)與所述支架轉(zhuǎn)動連接的轉(zhuǎn)動夾，以及設(shè)置所述轉(zhuǎn)動夾與所述支架之間用于轉(zhuǎn)動夾轉(zhuǎn)動后復(fù)位的壓簧；所述鎖定板與所述固定夾的端部轉(zhuǎn)動連接，通過轉(zhuǎn)動可將所述固定夾和所述轉(zhuǎn)動夾鎖緊在一起。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，所述長度調(diào)整機構(gòu)包括與所述球頭固定連接的內(nèi)調(diào)節(jié)桿，套置在所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿外與所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿可以相對往復(fù)移動的外調(diào)節(jié)桿，設(shè)置在所述外調(diào)節(jié)桿上用于鎖定或者解鎖所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿和所述外調(diào)節(jié)桿之間的相對位置的開關(guān)結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的一個方面。浦口區(qū)粉塵氣動懸臂吊推薦廠家！普陀區(qū)多功能氣動懸臂吊供應(yīng)

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    可在其中自由轉(zhuǎn)動。由此，萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)4也形成一個類似關(guān)節(jié)的結(jié)構(gòu)。圖10是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的具有鎖定功能的萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)的剖視圖。如圖10所示，鎖緊件403包括鎖緊手柄4031和弧形壓板4032。鎖緊手柄4031有兩個根桿組成，其中第1桿垂直連接在第二桿中部，使得鎖緊手柄4031形成“t”型結(jié)構(gòu)。弧形板4032位于第1桿遠離第二桿的一端，其弧度適應(yīng)于球頭401的表面。第1桿設(shè)有與弧形槽402上的螺紋孔配合的外螺紋。由此，通過轉(zhuǎn)動第二桿，可以使鎖緊件403向弧形槽402內(nèi)部或外部移動。而弧形槽402的兩個螺紋孔中各設(shè)有一個鎖緊件403?；⌒尾?02內(nèi)部靠近防滑手柄101與其的連接處的位置還設(shè)有向著防滑手柄101延伸的圓柱形槽。阻尼件404設(shè)置在其中，而阻尼件404的外部還套設(shè)有一個彈簧405。由此，在空間失重環(huán)境下，長度調(diào)整機構(gòu)2轉(zhuǎn)動帶動球頭401轉(zhuǎn)動，到位后可依靠阻尼件404和球頭401之間的摩擦力立刻停止，在此過程中，彈簧405也起到壓緊球頭401的作用。在轉(zhuǎn)動到位后，航天員可轉(zhuǎn)動兩個鎖緊手柄4031使得兩個弧形板4032從球頭401相對的兩側(cè)壓緊球頭401，完成鎖緊，使球頭401不能再轉(zhuǎn)動。以上所述只為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明。沛縣粉塵氣動懸臂吊有幾種