能夠抑制磁傳感器相對于磁體的振動。由此，能夠進(jìn)一步將磁傳感器與磁體之間的間隔距離保持為恒定。磁傳感器能夠精度良好地檢測磁體的旋轉(zhuǎn)角度。作為理想的技術(shù)方案，所述彈性體具有環(huán)形狀，在自所述軸的軸向俯視時，所述通孔位于所述彈性體的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由此，當(dāng)彈性體分別貼緊于壁部和電路基板時，壁部的環(huán)被電路基板封堵。由此，能夠防止異物自散熱器的第1面?zhèn)冗M(jìn)入壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由于磁于壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)，因此能夠抑制異物附著于磁體(發(fā)生污染)。作為理想的技術(shù)方案，所述壁部具有在與所述電路基板相對的面設(shè)置的槽部，所述彈性體能嵌入所述槽部。由此，易于將彈性體配置于壁部的與電路基板相對的面?zhèn)取Ｄ軌蚍乐箯椥泽w相對于壁部錯位。作為理想的技術(shù)方案，所述彈性體為絕緣性。由此，彈性體能夠使電路基板與壁部之間絕緣。例如，即使在壁部由金屬制成的情況下，彈性體也能夠防止電流在壁部與電路基板之間流動。作為理想的技術(shù)方案，還具備將所述壁部的外周面和所述第1面連結(jié)起來的多個肋。由此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結(jié)強度。作為理想的技術(shù)方案，所述多個肋沿著所述壁部的周圍以等間隔配置能夠確保壁部與散熱器之間的連結(jié)強度不產(chǎn)生偏差。作為理想的技術(shù)方案。棲霞區(qū)常見氣動懸臂吊推薦廠家！鼓樓區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊

    還具備配置于所述槽部的第2粘接劑，利用所述第2粘接劑將所述外周部和所述散熱器粘接起來。由此，蓋體和散熱器通過快速裝配機構(gòu)和粘接劑這兩者固定在一起。一技術(shù)方案的電動助力轉(zhuǎn)向裝置具備上述電動驅(qū)動裝置，所述電動驅(qū)動裝置能夠產(chǎn)生輔助轉(zhuǎn)向扭矩。由此，能夠抑制電動驅(qū)動裝置所具備的磁傳感器的溫度上升。另一技術(shù)方案的電動驅(qū)動裝置具備：電動馬達(dá)，其包含軸、與所述軸連動的馬達(dá)轉(zhuǎn)子、具有使所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的定子芯的馬達(dá)定子、每3相至少分成第1線圈組和第2線圈組這兩個系統(tǒng)且用3相交流電對所述定子芯進(jìn)行勵磁的多個線圈組、以及在內(nèi)側(cè)收納所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子、所述馬達(dá)定子和所述多個線圈組的筒狀的殼體；電子控制裝置，其是為了對所述電動馬達(dá)進(jìn)行驅(qū)動控制而設(shè)置的，包含設(shè)于所述軸的靠負(fù)載相反側(cè)的端部的磁體、以及位于所述軸的負(fù)載相反側(cè)且配置在所述軸的軸向的延長線上的電路基板；第1線圈布線，其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來；第2線圈布線，其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來；散熱器，其具有第1面和位于所述第1面的相反側(cè)的第2面，該散熱器在所述第1面?zhèn)戎С兴鲭娐坊澹灰约碍h(huán)狀的壁部，其配置在所述第1面與所述電路基板之間。長寧區(qū)室內(nèi)深加工氣動懸臂吊推薦廠家棲霞區(qū)包裝袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    轉(zhuǎn)動夾1032遠(yuǎn)離支架102的一端的齒型結(jié)構(gòu)插入至鎖定板104較厚部分的槽中，從而壓住轉(zhuǎn)動夾1032，達(dá)到鎖定夾持件103的目的。圖6是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的長度調(diào)整機構(gòu)的立體圖。如圖6所示，長度調(diào)整機構(gòu)2包括內(nèi)調(diào)節(jié)桿201、外調(diào)節(jié)桿202和開關(guān)結(jié)構(gòu)203。內(nèi)調(diào)節(jié)桿201為空心矩形桿，其相對的兩個側(cè)壁設(shè)有等間隔直線排列的多個固定孔2011，每兩個相對的固定孔2011為一個長度調(diào)節(jié)檔位。外調(diào)節(jié)桿202也為空心矩形桿，其內(nèi)孔為與內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外形矩形輪廓相同的矩形孔。外調(diào)節(jié)桿202一端開口，而內(nèi)調(diào)節(jié)桿201從此開口處插入外調(diào)節(jié)桿202的內(nèi)孔中。并且外調(diào)節(jié)桿202能套在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外做直線往復(fù)移動，完成換擋。而為了使航天員更清晰的判斷檔位，可如圖6所示，在內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁上位于兩個同一側(cè)壁的固定孔2011之間的位置設(shè)置軸向環(huán)繞內(nèi)調(diào)節(jié)桿201外壁的環(huán)形凹槽。此外，外調(diào)節(jié)桿202外壁的中部位置還設(shè)有扶手204。扶手204為不封閉的矩形框架結(jié)構(gòu)，包括兩個短邊梁和一個長邊梁。兩個短邊梁遠(yuǎn)離長邊梁的一端連接在外調(diào)節(jié)桿202的一個側(cè)壁上，形成一個封閉的矩形。在調(diào)整長度時，航天員握住扶手204向外拉或向里推從而使外調(diào)節(jié)桿202做遠(yuǎn)離或靠近艙壁助力扶手a的運動。

    自所述電路基板的法線方向觀察時，隔著所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反側(cè)存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達(dá)電動馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離控制電路。作為理想的技術(shù)方案，所述第2線圈布線的所述第2部位自比所述第2電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第2電力電路。由此，能夠使第2線圈布線遠(yuǎn)離磁傳感器，能夠抑制因電流在第2線圈布線中流動而產(chǎn)生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術(shù)方案，所述電路基板具有與所述第2線圈布線的所述第2部位相連接的第2通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時，在所述檢測電路的配置位置與所述第2通孔之間存在所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達(dá)電動馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離磁傳感器。隔著所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反側(cè)存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達(dá)電動馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離控制電路。作為理想的技術(shù)方案，還具有配置于所述電路基板的電容器，自所述電路基板的法線方向觀察時。江寧區(qū)糖袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)。雨花臺區(qū)米袋氣動懸臂吊推薦廠家！閔行區(qū)多功能氣動懸臂吊哪里可以買到

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    而不是全部的實施例。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，只是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。如圖1-3所示，本發(fā)明的一種板材搬運自動化設(shè)備的機械手，包括立柱1，立柱1的底部安裝有滑輪，滑輪可配合滑軌等移動裝置以使得機械手的移動范圍更廣，立柱1的頂壁上安裝有第1電機2，第1電機2的驅(qū)動端安裝有斜齒輪8，立柱1的一側(cè)的側(cè)壁上安裝有兩個支撐板10，兩個支撐板10之間共同安裝有蝸桿9，兩個支撐板10上均開設(shè)有斜螺紋孔，且斜螺紋孔與蝸桿9相互嚙合，蝸桿9與斜齒輪8相互嚙合，蝸桿9的底端轉(zhuǎn)動連接有安裝板7，安裝板7靠近立柱1一側(cè)的側(cè)壁上安裝有滑塊，立柱1的側(cè)壁上開設(shè)有與滑塊相互配合的豎向滑槽，安裝板7通過滑塊與豎向滑槽的配合可沿著立柱1進(jìn)行上下滑動，安裝板7的頂壁上開設(shè)有轉(zhuǎn)槽，轉(zhuǎn)槽內(nèi)設(shè)有限位板18，蝸桿9的底端貫穿安裝板7的頂壁并延伸至轉(zhuǎn)槽內(nèi)，蝸桿9的底端安裝在限位板18的頂壁上。本發(fā)明中。鼓樓區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊