本發(fā)明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術：在半導體加工設備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產(chǎn)能就越大。隨著半導體工藝的發(fā)展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結(jié)構合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。為了解決上述技術問題，本發(fā)明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節(jié)。浦口區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家！閔行區(qū)工業(yè)氣動懸臂吊哪家的好

    隔著所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反側(cè)存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離控制電路。作為理想的技術方案，所述第2線圈布線的所述第2部位自比所述第2電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第2電力電路。由此，能夠使第2線圈布線遠離磁傳感器，能夠抑制因電流在第2線圈布線中流動而產(chǎn)生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術方案，所述電路基板具有與所述第2線圈布線的所述第2部位相連接的第2通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時，在所述檢測電路的配置位置與所述第2通孔之間存在所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離磁傳感器。作為理想的技術方案，自所述電路基板的法線方向觀察時，隔著所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反側(cè)存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離控制電路。作為理想的技術方案，還具有配置于所述電路基板的電容器，自所述電路基板的法線方向觀察時。閔行區(qū)工業(yè)氣動懸臂吊哪家的好江寧區(qū)包裝袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    助力機械手，又稱機械手、平衡吊、平衡助力器、手動移載機（以上說法并不專業(yè)但國內(nèi)已經(jīng)流行），是一種新穎的、用于物料搬運及安裝時省力操作的助力設備。它巧妙地應用力的平衡原理，使操作者對重物進行相應的推拉，就可在空間內(nèi)平衡移動定位。重物在提升或下降時形成浮動狀態(tài)，靠氣路保證零操作力（實際情況因為加工工藝及設計成本控制，操作力以小于3kg為判斷標準）操作力受工件重量影響。無需熟練的點動操作，操作者用手推拉重物，就可以把重物正確地放到空間中的任何位置。助力機械手應用由于具有無重力化、精確直觀、操作便捷、安全高效等特點，“平衡吊”應用于現(xiàn)代工業(yè)中的物料移載、高頻率搬運、精確定位、部件裝配等場合。從接受原材料和物料開始，一直到加工、生產(chǎn)、保管及配送等物料流動過程中的每一個環(huán)節(jié)，平衡吊手動移載系統(tǒng)所發(fā)揮的作用是令人矚目的。正確使用相應的物料移載方法和手段，對于各行業(yè)中，重物的移載、搬運現(xiàn)場的操作人員的健康、安全，進而其作業(yè)的合理性、勞動力的節(jié)省、生產(chǎn)效率的提高、產(chǎn)品品質(zhì)的保障等多方面都有極大改善。助力機械手系統(tǒng)組成一套完整的助力機械手裝備主要由三部分組成：平衡吊主機、抓取夾具（或機械手）及安裝結(jié)構。

本發(fā)明涉及具有對電動馬達的旋轉(zhuǎn)進行控制的電子控制裝置的電動驅(qū)動裝置和電動助力轉(zhuǎn)向裝置。背景技術：利用電動馬達產(chǎn)生輔助轉(zhuǎn)向扭矩的電動助力轉(zhuǎn)向裝置具備作為對電動馬達進行控制的裝置的電子控制裝置。例如，在專利文獻1中，記載有能夠?qū)㈦娮釉骷呙芏鹊匕惭b于基板的驅(qū)動裝置?，F(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2016－34204號公報技術實現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的問題在專利文獻1的驅(qū)動裝置中，構成第1逆變器部的開關元件和構成第2逆變器部的開關元件相對于馬達的軸中心對稱地配置。構成第1逆變器部的開關元件和構成第2逆變器部的開關元件是驅(qū)動裝置所具有的電子元器件中發(fā)熱量較大的發(fā)熱元件。另外，在馬達的軸中心配置有旋轉(zhuǎn)角傳感器。在旋轉(zhuǎn)角傳感器的兩側(cè)具有發(fā)熱元件，因此存在旋轉(zhuǎn)角傳感器被自兩側(cè)加熱的可能性。本發(fā)明是鑒于上述課題而做出的，其目的在于，提供能夠抑制磁傳感器的溫度上升的電動驅(qū)動裝置和電動助力轉(zhuǎn)向裝置。用于解決問題的方案為了實現(xiàn)上述目的，一技術方案的電動驅(qū)動裝置具備：電動馬達。溧水區(qū)工業(yè)氣動懸臂吊推薦廠家！

    所述的伸展電機、所述的一級關節(jié)、所述的二級關節(jié)和所述的三級關節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。上述技術方案中，的，所述的一級關節(jié)、所述的二級關節(jié)和所述的三級關節(jié)的傳動比為1:2:1。上述技術方案中，的，所述的伸展電機通過諧波減速機驅(qū)動所述一級伸展臂轉(zhuǎn)動。上述技術方案中，的，所述的一級關節(jié)上設置有一級同步輪，所述的二級關節(jié)上設置有二級同步輪，所述的一級同步輪和所述的二級同步輪通過一級同步帶傳動連接。上述技術方案中，的，所述的一級伸展臂內(nèi)還設置有與所述一級同步帶相配合的一級張緊輪。上述技術方案中，的，所述的二級關節(jié)上設置有三級同步輪，所述的三級關節(jié)上設置有四級同步輪，所述的三級同步輪和所述的四級同步輪通過二級同步帶傳動連接。上述技術方案中，的，所述的二級伸展臂內(nèi)還設置有與所述二級同步帶相配合的二級張緊輪。上述技術方案中，的，所述的手指固定座上設置有插槽，所述的插槽內(nèi)可拆卸安裝晶圓固定裝置。上述技術方案中，的，所述的晶圓固定裝置包括真空吸盤、氣缸機械手。上述技術方案中，的，所述的手指固定座上還設置有掃描傳感器。本發(fā)明具體為一種用于晶圓搬運的機械手，它是自動晶圓處理設備中組成部分。棲霞區(qū)糖袋氣動懸臂吊推薦廠家！普陀區(qū)工業(yè)氣動懸臂吊有幾種

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    如圖1至圖3所示，一種晶圓搬運機械手，包括升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3，所述的伸展軸3包括伸展電機34、一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33，所述的一級伸展臂31與所述伸展電機34之間設置有一級關節(jié)5，所述的一級伸展臂31與所述的二級伸展臂32之間設置有二級關節(jié)6，所述的二級伸展臂32和所述的手指固定座33之間設置有三級關節(jié)7。所述的伸展電機34通過諧波減速機35驅(qū)動所述一級伸展臂31轉(zhuǎn)動。所述的伸展電機34、所述的一級關節(jié)5、所述的二級關節(jié)6和所述的三級關節(jié)7依次傳動，所述的一級關節(jié)5、所述的二級關節(jié)6和所述的三級關節(jié)7的傳動比為1:2:1，根據(jù)本機械手的運動原理，所述的手指固定座34始終保持直線運動。所述的一級關節(jié)5上設置有一級同步輪51，所述的二級關節(jié)6上設置有二級同步輪61，所述的一級同步輪51和所述的二級同步輪61通過一級同步帶52傳動連接，所述的一級伸展臂31內(nèi)還設置有與所述一級同步帶52相配合的一級張緊輪53。所述的二級關,6上設置有三級同步輪62，所述的三級關節(jié)7上設置有四級同步輪71，所述的三級同步輪63和所述的四級同步輪71通過二級同步帶64傳動連接，所述的二級伸展,32內(nèi)還設置有與所述二級同步帶64相配合的二級張緊輪63。閔行區(qū)工業(yè)氣動懸臂吊哪家的好

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