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真空吸盤,又稱真空吊具,是真空設(shè)備執(zhí)行器之一。一般來(lái)說(shuō),利用真空吸盤抓取制品是廉價(jià)的一種方法。真空吸盤品種多樣,橡膠制成的吸盤可在高溫下進(jìn)行操作,由硅橡膠制成的吸盤非常適于抓住表面粗糙的制品;由聚氨酯制成的吸盤則很耐用。另外,在實(shí)際生產(chǎn)中,如果要求吸盤具有耐油性,則可以考慮使用聚氨酯、丁腈橡膠或含乙烯基的聚合物等材料來(lái)制造吸盤。通常,為避免制品的表面被劃傷,選擇由丁腈橡膠或硅橡膠制成的帶有波紋管的吸盤吸盤材料采用丁腈橡膠制造,具有較大的扯斷力,因而廣泛應(yīng)用于各種真空吸持設(shè)備上。中文名真空吸盤外文名Thevacuumchuck別名真空吊具材料吸盤材料采用丁腈橡膠制造組成它由吸盤和吸盤箍組成制造聚氨酯、丁腈橡膠或的聚合物目錄1簡(jiǎn)介?基本簡(jiǎn)介?結(jié)構(gòu)?工作原理?特點(diǎn)2應(yīng)用簡(jiǎn)介?用途?選擇事項(xiàng)?應(yīng)用?維護(hù)維修真空吸盤簡(jiǎn)介編輯真空吸盤基本簡(jiǎn)介真空吸盤是真空設(shè)備執(zhí)行器之一,吸盤材料采用丁腈橡膠制造,具有較大的扯斷力,因而廣泛應(yīng)用于各種真空吸持設(shè)備上,如在建筑、造紙工業(yè)及印刷、玻璃等行業(yè),實(shí)現(xiàn)吸持與搬送玻璃、紙張等薄而輕的物品的任務(wù)。真空吸盤又稱真空吊具及真空吸嘴,一般來(lái)說(shuō),利用真空吸盤抓取制品是廉價(jià)的一種方法。浦口區(qū)室內(nèi)深加工真空吸盤推薦廠家!南通多功能真空吸盤生產(chǎn)廠家
且可以在通孔14內(nèi)進(jìn)行上下活動(dòng);閥芯密封3安裝在真空閥芯1的環(huán)形凹槽11內(nèi),可以密封真空閥芯1和面板13之間的間隙;調(diào)整頂絲6安裝在吸盤主體5下部底板16的螺紋孔17內(nèi),調(diào)整頂絲6可以在底板16內(nèi)通過(guò)螺紋副上下活動(dòng),通過(guò)壓縮彈簧7調(diào)節(jié)真空閥芯1的預(yù)緊力;調(diào)整頂絲6與真空閥芯1的盲孔12之間安裝彈簧7;參照附圖2、3,試樣8放置在吸盤主體5的上表面,并壓迫部分真空閥芯1退回至吸盤主體5內(nèi)部,使真空閥芯呈兩種狀態(tài),一種為常態(tài),一種為壓迫態(tài)。如圖1所示,真空閥芯1為常態(tài),真空閥芯1在彈簧7的作用下,向上頂出,使頂針10完全突出在吸盤主體5的外部,密封閥芯、真空閥芯1和真空室4上表面之間的間隙,保證真空室的密封狀態(tài)。如圖2所示,真空閥芯1為壓迫態(tài),試樣8放置在吸盤主體5的上表面,將頂針10壓迫到吸盤主體5以下,而且試樣8與吸盤主體5之間由試樣密封2所密封,則試樣8下部形成真空狀態(tài),在大氣壓力的作用下,壓緊在吸盤主體5的表面。參照附圖3所示,試樣8的面積越大,壓迫的頂針10數(shù)量就越多,吸盤的吸力就越大。在放置試樣8時(shí),必須保證試樣8完全蓋住頂針10周圍的通孔,才能壓迫頂針,否則需要調(diào)整試樣的位置,防止破壞真空室的真空度。普陀區(qū)真空吸盤推薦廠家棲霞區(qū)多功能真空吸盤推薦廠家!
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工制造領(lǐng)域,尤其涉及晶圓減薄機(jī)吸附裝置,具體為一種用于減薄機(jī)的真空吸盤。背景技術(shù):晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。在硅晶圓正面制作完集成電路后,為了降低器件熱阻、提高工作散熱及冷卻能力、便于封裝,需要采用減薄機(jī)對(duì)晶圓進(jìn)行背面減薄。一方面,晶圓減薄機(jī)在磨削過(guò)程中,需要將所磨削晶圓置于真空吸盤之上吸附進(jìn)行磨削過(guò)程,對(duì)于所涉及的真空吸盤要求能夠有效的吸附晶圓,并且能夠保證吸盤主體的平整度,以及真空的均勻度,使得減薄機(jī)砂輪在磨削時(shí)吸附晶圓不發(fā)生位移,且吸盤在真空形成的負(fù)壓之下要能防止產(chǎn)生過(guò)大的形變;另一方面,由于加工制造成本相對(duì)較高,所以又要保證減薄機(jī)所用真空吸盤能夠利于更換多次磨削修整后的多孔陶瓷板,且所用底座能夠配合多個(gè)尺寸類型的真空吸盤。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:有鑒于此,本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N安裝方便,能夠保證減薄過(guò)程中吸盤主體的平整度和真空的均勻度,還能更換多孔陶瓷適于不同尺寸的吸盤配合于同一底座的用于減薄機(jī)的真空吸盤。為達(dá)到上述目的。
使吸盤底座可承受重量大的待加工工件。密封件可在支撐凸塊形成的輪廓槽中構(gòu)成任意形狀的閉環(huán)輪廓,且閉環(huán)輪廓的高度大于支撐凸塊的高度,當(dāng)待加工工件放置在閉環(huán)輪廓上面時(shí),待加工工件與閉環(huán)輪廓和吸盤底座構(gòu)成密閉的腔體,開啟抽氣裝置,會(huì)使腔體中的空氣通過(guò)通氣槽流入到吸盤底座的空腔中,再經(jīng)過(guò)空腔通過(guò)第1出氣口排到外界,使腔體成為真空腔體,利用氣壓原理將待加工工件固定在夾具上。吸盤底座上表面的中心處設(shè)有排料通口,吸盤底座側(cè)面設(shè)有出料口,排料通口的面積大于通氣槽的面積,可將加工時(shí)產(chǎn)生的廢屑由排料通口清理到吸盤底座空腔中,再由出料口排出,當(dāng)排料通孔處在密閉的腔體中時(shí),還可與通氣槽起到相同的作用。本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為:所述吸盤底座上表面設(shè)有關(guān)于吸盤底座中心線對(duì)稱分布的輔助凸塊,輔助凸塊的橫截面積大于支撐凸塊的橫截面積,輔助凸塊和支撐凸塊高度相等,所述輔助凸塊上設(shè)有與空腔相通的輔助槽。通過(guò)上述技術(shù)方案,輔助凸塊與支撐凸塊高度相同,但輔助凸塊的橫截面積比支撐凸塊大,且輔助凸塊上設(shè)有與空腔相通的輔助槽,當(dāng)輔助凸塊處在密封件構(gòu)成的閉環(huán)輪廓中時(shí),輔助槽會(huì)與通氣槽起到相同的作用,且不容易堵塞。六合區(qū)多功能真空吸盤推薦廠家!
然后與待提升物如玻璃、紙張等接觸,起動(dòng)真空設(shè)備抽吸,使吸盤內(nèi)產(chǎn)生負(fù)氣壓,從而將待提升物吸牢,即可開始搬送待提升物。當(dāng)待提升物搬送到目的地時(shí),平穩(wěn)地充氣進(jìn)真空吸盤內(nèi),使真空吸盤內(nèi)由負(fù)氣壓變成零氣壓或稍為正的氣壓,真空吸盤就脫離待提升物,從而完成了提升搬送重物的任務(wù)。問題在EOAT使用真空吸盤(不帶夾鉗)的情況下,需要注意的是,機(jī)械手的移動(dòng)速度不能太高,否則會(huì)在吸盤上產(chǎn)生一個(gè)切力,使制品在快速扭轉(zhuǎn)的過(guò)程中很容易掉下來(lái)。在有些情況下,可以使用一個(gè)夾鉗來(lái)保證制品的安全運(yùn)送。考慮到可能會(huì)出現(xiàn)制品粘附在模具上的情況,通??梢园惭b一個(gè)氣鉗來(lái)解決這一問題。當(dāng)制品表面積太小或者制品太重而無(wú)法使用真空吸盤時(shí),同樣可以通過(guò)使用夾鉗來(lái)解決這個(gè)問題。如果制品對(duì)外觀要求很嚴(yán)格,那么被夾住的部位就不能是外表面。為解決這一問題,可以安裝一個(gè)傳感電路。在確認(rèn)夾鉗或者吸盤抓穩(wěn)了制品以后,傳感器就會(huì)給機(jī)械手傳送一個(gè)信號(hào),使其能進(jìn)行下一步的操作。在機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)能力有限、需要人工扭一下或者翹一下才能使制品脫?;虬阎破泛虴OAT移出成型區(qū)的,情況下可以添置一個(gè)能夠獨(dú)自移動(dòng)EOAT而不依于機(jī)械手操作的特殊汽缸,從而使這一問題得到改善。浦口區(qū)多功能真空吸盤推薦廠家!徐州真空吸盤哪家有
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在本實(shí)用新型的描述中,需要說(shuō)明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過(guò)中間媒介間接相連,可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。本實(shí)施例提供了一種真空吸盤裝置,該真空吸盤裝置能夠外接在機(jī)器人的機(jī)械臂的端部,以使機(jī)器人的機(jī)械臂能夠執(zhí)行吸附抓取作業(yè)。當(dāng)然除了機(jī)器人外,該真空吸盤裝置還適于裝配至其他需要執(zhí)行吸附抓取作業(yè)的設(shè)備上。如圖1所示,該真空吸盤裝置包括吸盤安裝座10、繼電器4、真空吸盤組件和電動(dòng)破空閥3。真空吸盤組件具體包括真空泵5和真空吸盤9,真空吸盤9與真空泵5連通。繼電器4、真空泵5和電動(dòng)破空閥3均設(shè)置在該吸盤安裝座10內(nèi)部。其中,吸盤安裝座10是整個(gè)真空吸盤裝置的安裝及固定結(jié)構(gòu)。具體地,如圖1所示,該吸盤安裝座10包括吸盤底座2和吸盤外殼6,吸盤底座2為板狀結(jié)構(gòu),可選地,吸盤底座2呈圓板狀。吸盤外殼6為上下貫通的中空結(jié)構(gòu),可選地,吸盤外殼6呈圓柱狀。吸盤底座2連接在吸盤外殼6的頂部開口處。南通多功能真空吸盤生產(chǎn)廠家
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