下垂臂19末端設有真空吸盤21,真空吸盤21下端吸有工件。該機械手利用真空吸附原理,將真空泵或真空鼓風機作為真空源,通過抽空真空吸盤21內(nèi)的空氣產(chǎn)生真空,從而將各種工件牢牢吸起,并通過擺動主臂10、擺動副臂11、旋轉臂16、下垂臂19等將工件搬運到指定地點。該真空是由一個外部的真空泵或真空鼓風機產(chǎn)生的,不需要鏈或繩子吊重機或其它的提升設備來抓取或提起的負載起重。通過檢測真空吸盤21內(nèi)的真空度,能自動識別下垂臂19上有無載荷,并經(jīng)氣動邏輯控制回路自動調(diào)整主升降氣缸5內(nèi)的氣壓,達到自動平衡的目的。工作時,重物猶如懸浮在空中,可避免產(chǎn)品對接時的碰撞,避免工件表面損傷。在機械手的工作范圍內(nèi),作業(yè)員可將其移動到三維空間內(nèi)任意位置,從而實現(xiàn)工件的搬運、翻轉、裝配等操作。整機無須電控系統(tǒng),只需壓縮空氣和真空源即可工作,非常方便。移動小車2用于更換工位,移動小車2上設有立柱4,立柱4頂端設有主旋轉座6,可實現(xiàn)機械手的主旋轉運動,并對周圍360°范圍內(nèi)的工件進行操作。真空搬運機械手的選型是根據(jù)需要搬運的工件大小、材質(zhì)、重量來定的,不同的材質(zhì)需要用不同材質(zhì)的吸盤。比如工件表面比較粗糙的一般選項用硅膠或者聚胺脂吸盤。雨花臺區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家!梁溪區(qū)包裝袋真空搬運機哪里可以買到
在圖1至圖3中包括有:1——機械手安裝架11——固定安裝豎板111——活動槽12——豎板固定座2——中間活動板3——前端活動架4——水平導軌副41——水平導軌42——水平滑塊5——豎向導軌副51——豎向導軌52——豎向滑塊61——吸盤安裝架62——真空吸盤71——活動架驅動塊72——活動架驅動軸73——軸承8——機械手驅動電機9——驅動軸撥動塊。具體實施方式下面結合具體的實施方式來對本實用新型進行說明。如圖1至圖3所示,一種新式真空搬運式機械手,包括有機械手安裝架1,機械手安裝架1包括有呈豎向布置的固定安裝豎板11,固定安裝豎板11的下端側裝設有豎板固定座12,豎板固定座12的上端部與固定安裝豎板11螺接。進一步的,固定安裝豎板11的前端側可相對活動地裝設有分別呈豎向布置的中間活動板2、前端活動架3,前端活動架3位于中間活動板2的前端側,中間活動板2與固定安裝豎板11之間裝設有呈水平橫向布置的水平導軌副4,前端活動架3與中間活動板2之間裝設有呈豎向布置的豎向導軌副5,前端活動架3的下端部裝設有吸盤安裝架61,吸盤安裝架61裝設有真空吸盤62。更進一步的,固定安裝豎板11的前表面開設有呈“n”形狀的活動槽111,前端活動架3螺裝有活動架驅動塊71。邳州多功能真空搬運機生產(chǎn)廠家浦口區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家!
前端活動架位于中間活動板的前端側,中間活動板與固定安裝豎板之間裝設有呈水平橫向布置的水平導軌副,前端活動架與中間活動板之間裝設有呈豎向布置的豎向導軌副,前端活動架的下端部裝設有吸盤安裝架,吸盤安裝架裝設有真空吸盤;固定安裝豎板的前表面開設有呈“n”形狀的活動槽,前端活動架螺裝有活動架驅動塊,活動架驅動塊裝設有活動架驅動軸,活動架驅動軸伸入至固定安裝豎板的活動槽內(nèi)且活動架驅動軸裝設有嵌插于活動槽內(nèi)的軸承;固定安裝豎板的后表面裝設有機械手驅動電機,機械手驅動電機的動力輸出軸裝設有位于活動槽旁側且用于撥動活動架驅動軸動作的驅動軸撥動塊。通過上述結構設計,本實用新型具有設計新穎、結構簡單、穩(wěn)定可靠性好的優(yōu)點。附圖說明下面利用附圖來對本實用新型進行進一步的說明,但是附圖中的實施例不構成對本實用新型的任何限制。圖1為本實用新型的結構示意圖。圖2為本實用新型另一視角的結構示意圖。圖3為本實用新型的分解示意圖。
本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術:在半導體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運,提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如,參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運車和起重機對應地,分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對軌道的設置花費成本,需要用于鋪設各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應,因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本,并且分擔高架搬運車與起重機的作用,由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備:第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。江寧區(qū)多功能真空搬運機推薦廠家!
使保持部49上升,由此將物品2懸掛保持。在第1、第二移送部44a、44b接收物品2時,將臂部48伸長而使保持部49配置于物品2的上方,在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使第1、第二升降臺43a、43b上升,由此利用保持部49將物品2提起。接著,第1、第二移送部44a、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48,由此將保持有物品2的保持部49配置于第1、第二升降臺43a、43b的下方。此外,第1、第二移送部44a、44b并不限定于上述的結構。例如,也可以是保持部49載置物品2的結構,也可以是保持部49把持且保持物品2的側面的結構。第1、第二升降驅動部45a、45b例如使用升降機等,沿著第1、第二桅桿42a、42b使第1、第二升降臺43a、43b升降。第1、第二升降驅動部45a、45b具備懸掛部件45a和驅動部45b。懸掛部件45a例如是帶狀物或者線材等,第1、第二升降臺43a、43b通過該懸掛部件45a從上部支承體47懸掛。驅動部45b設置于上部支承體,進行懸掛部件45a的抽出、卷繞。若驅動部45b將懸掛部件抽出,則第1、第二升降臺43a、43b被第1、第二桅桿42a、42b引導而下降。另外,若驅動部45b卷繞懸掛部件45a,則第1、第二升降臺43a、43b被第1、第二桅桿42a、42b引導而上升。棲霞區(qū)象鼻子真空搬運機推薦廠家!邳州多功能真空搬運機生產(chǎn)廠家
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由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方,例如能夠作為能夠供操作人員等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿著裝載端口lp在y方向上排列配置多個。第1、第二保管部20a、20b在各個第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2配置兩列。第1、第二保管部20a、20b的各個列相對于裝載端口lp的列在x方向對置配置。第1保管部20a配置于相對于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a的正下方在x方向錯開的位置。第二保管部20b配置于相對于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的正下方在x方向錯開的位置。在第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2中,第1、第二保管部20a、20b在上下方向設置兩層。但是,第1、第二保管部20a、20b并不限定于兩層,可也以設置一層或者三層以上。另外,第1、第二保管部20a、20b也可以設置于地板面上,來代替從頂棚懸掛。第1交接端口30a設置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b設置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有與第1、第二保管部20a、20b相同的結構,第1、第二保管部20a、20b中的一個或者多個作為第1、第二交接端口30a、30b使用。在本實施方式中。梁溪區(qū)包裝袋真空搬運機哪里可以買到
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