HMDS預處理系統(tǒng)的必要性:在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱的應(yīng)用范圍。合肥工業(yè)烤箱保養(yǎng)
用途介紹:無氧干燥箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。1、技術(shù)指標與基本配置:1.1使用溫度:RT~260℃,極限溫度:300℃;1.2爐膛腔數(shù):2個,上下布置;1.3爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:K分度1.4溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀;2、氧含量(配氧分析儀):2.1高溫狀態(tài)氧含量:≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量:≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度:±1℃;2.3溫度均勻度:±2%℃(260℃平臺);安徽工業(yè)烤箱的工廠工業(yè)烤箱的發(fā)展趨勢如何?
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應(yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜。柜體規(guī)格、配備:1.左右雙開門,3mm鋼化玻璃,1mm厚不銹鋼板,氣密式隱藏鎖把手。2.柜體密封高吸附力磁性膠條與柜體密閉,腳墊采高承載車輪及調(diào)整高低腳墊。3.附高載重不銹鋼隔板,柜體加裝高載重煞車輪。4.上掀式氣密蓋,方便FFU保養(yǎng)及維修。5.回風循環(huán)設(shè)計,單向氮氣循環(huán)不產(chǎn)生紊流。6.背面氣密開門式設(shè)計,方便潔凈清理與保養(yǎng)。
1、本烘箱由室體、加熱系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、送風系統(tǒng)、保護系統(tǒng)等組成。2、箱體采用先進設(shè)備制作、業(yè)內(nèi)的制造工藝流程、線條流暢、美觀大方。3、工作室材質(zhì)為不銹鋼、外箱材質(zhì)為優(yōu)良冷軋鋼板,產(chǎn)品外殼使用環(huán)保金屬漆噴制,整體設(shè)計美觀大方,適合較好實驗室的顏色搭配。4、工作室內(nèi)的擱架不可調(diào)節(jié)。5、工作室與外箱之間的保溫材質(zhì)是優(yōu)良超細玻璃纖維保溫棉,保溫厚度:>70mm,隔溫效果好,國內(nèi),高性能的絕緣結(jié)構(gòu)。從內(nèi)到外有內(nèi)腔、外殼、超細玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層,內(nèi)膽熱量損失少。內(nèi)膽外箱及門膽結(jié)構(gòu)獨特,極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。6、門與門框之間采用高性能密封材料及獨特的橡膠密封結(jié)構(gòu),密封、耐高溫性、抗老化性好。工業(yè)烤箱的作用是什么?合肥真萍告訴您。
工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)有利于提高空氣溫度的均勻性,在工業(yè)烤箱開關(guān)箱門運送物料的過程中,溫度值會受到影響發(fā)生變動,熱風循環(huán)系統(tǒng)的均勻性則有利于在比較大快速度內(nèi)恢復工作狀態(tài)的溫度值。工業(yè)烤箱在工作時,操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值,在通過控制系統(tǒng)進行操作。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動性,能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)由送風馬達、風輪和電熱器組成,送風馬達帶動風輪送出冷風,冷風經(jīng)過電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風道進入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。合肥真萍告訴您什么是工業(yè)烤箱?淮安工業(yè)烤箱價格多少
工業(yè)烤箱使用時的注意事項。合肥工業(yè)烤箱保養(yǎng)
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應(yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜。潔凈節(jié)能氮氣柜的過濾系統(tǒng):2.1EBM電子式EC馬達控制無塵室FFU。2.2鏡面不銹鋼結(jié)構(gòu)體。2.3特殊導流風道設(shè)計,風壓平均,可有效提供風量,降低噪音。2.4電路板控制模塊,提供安全保護裝置,運轉(zhuǎn)異常指示燈及控制干接點輸出。2.5無段式風量調(diào)速器可任意調(diào)整風量大小。2.6濾網(wǎng)ULPA,0.12μm,99.9995%以上的過濾效果。2.7電力格:單相220V50Hz0.95A,輸出功率150W。潔凈節(jié)能氮氣柜的柜體規(guī)格、配備:1.左右雙開門,3mm鋼化玻璃,1mm厚不銹鋼板,氣密式隱藏鎖把手。2.柜體密封高吸附力磁性膠條與柜體密閉,腳墊采高承載車輪及調(diào)整高低腳墊。3.附高載重不銹鋼隔板,柜體加裝高載重煞車輪。4.上掀式氣密蓋,方便FFU保養(yǎng)及維修。5.回風循環(huán)設(shè)計,單向氮氣循環(huán)不產(chǎn)生紊流。6.背面氣密開門式設(shè)計,方便潔凈清理與保養(yǎng)。合肥工業(yè)烤箱保養(yǎng)