本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預處理系統(tǒng)的必要性:在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。 增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。上海存儲柜的價格是多少?嘉興生產(chǎn)存儲柜
下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜的柜體規(guī)格、配備。1.左右雙開門,3mm鋼化玻璃,1mm厚不銹鋼板,氣密式隱藏鎖把手。2.柜體密封高吸附力磁性膠條與柜體密閉,腳墊采高承載車輪及調(diào)整高低腳墊。3.附高載重不銹鋼隔板,柜體加裝高載重煞車輪。4.上掀式氣密蓋,方便FFU保養(yǎng)及維修。5.回風循環(huán)設計,單向氮氣循環(huán)不產(chǎn)生紊流。6.背面氣密開門式設計,方便潔凈清理與保養(yǎng)。真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。連云港存儲柜廠家直供合肥真萍科技的存儲柜,值得推薦。
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜的氮氣監(jiān)控系統(tǒng)。1.溫濕度記錄功能:1.2內(nèi)建內(nèi)存,可儲存溫度/濕度,收集時間1~240分鐘可自行設定。1.3可利用RS232連接阜下載至計算機中讀取。1.4品管記錄格式設計,有助于內(nèi)部記錄追蹤并可支持數(shù)據(jù)庫檔案格式。2.濕度警報系統(tǒng):2.1可設定啟動警報的濕度值及條件,內(nèi)配蜂鳴器(90分貝)及閃爍警示功能。2.2可另外選配積層式警示燈。3.溫濕度偏移校正功能:內(nèi)建校正功能,確保顯示準確度。
下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術(shù)指標。1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無發(fā)塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境。存儲柜的作用是什么?合肥真萍告訴您。
下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。一、爐體配置爐膛結(jié)構(gòu):采用多晶莫來石材料砌筑而成有效尺寸:φ300320mm(DH)設備重量:約1200Kg外觀顏色:掛板采用高溫噴塑,顏色為江淮藍外形尺寸:W1300H2200D1510(mm),不含(囪、指示燈)二、熱工系統(tǒng)1.額定溫度:1550℃2.限制溫度:1600℃3.加熱元件:U型硅鉬棒4.加熱功率:16kW5.空爐保溫功率≤8kW6.溫區(qū)個數(shù):1個7.控溫點數(shù):1點8.熱偶:B分度9.程序**精度:2℃(大于600℃,升溫速率≤3℃/min)10.控溫穩(wěn)定度:1℃(恒溫平臺)11.爐膛溫度均勻度:4℃(恒溫1500℃,2h)上海存儲柜的發(fā)展趨勢?;幢贝鎯褚?guī)格尺寸
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超高真空烘箱廣泛應用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設備等在低氣壓、高溫單項或同時作用下的環(huán)境適應性與可靠性試驗。下面為大家介紹一下超高真空烘箱的降溫速率。1.升溫時間:①常壓時:90min(常溫~+260℃)②低氣壓0.0001pa時:180min(常溫~+260℃)2.降溫時間:3℃~10℃/min(260℃~120℃),1℃~5℃/min(120℃~常溫℃)3.降溫方式:水冷降溫4.試驗箱承壓方式:采用內(nèi)承壓方式5.壓力范圍:常壓~0.0001Pa嘉興生產(chǎn)存儲柜
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