下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設(shè)計(jì)。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達(dá)到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1.后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2.降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開啟，同時(shí)兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換，達(dá)到快速降溫的目的氣氛爐如何選擇？合肥真萍科技告訴您。常州氣氛爐供應(yīng)商家

下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱，使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時(shí)更易。2.低液報(bào)警裝置，采用紅外液體感測(cè)器，能及時(shí)靈敏給出指令（當(dāng)HMDS液過低時(shí)發(fā)出報(bào)警及及時(shí)切斷工作起動(dòng)功能）3.溫度與PLC聯(lián)動(dòng)保護(hù)功能（當(dāng)PLC沒有啟動(dòng)程序時(shí)，加溫功能啟動(dòng)不了，相反加溫功能啟動(dòng)時(shí)，PLC程序不按正常走時(shí)也及時(shí)切斷工作功能，發(fā)出警報(bào)）4.整個(gè)箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料，整體使用無縫焊接（避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對(duì)人體的傷害）泉州氣氛爐生產(chǎn)廠商合肥真萍科技建材為您提供專業(yè)的氣氛爐定制服務(wù)。

下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動(dòng)度：0.5℃4.真空泵：油泵或無油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài)）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時(shí)間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間），為正常工作周期不含降溫時(shí)間（因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫）。

中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理，下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度6℃（恒溫800℃,1h）二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮?dú)?，流量?jì)量程為2～20L/min；每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣囪，用于廢氣排放，廢氣3.經(jīng)過水封清洗后進(jìn)入大氣中，減少對(duì)環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量：5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量合肥真萍科技為您提供氣氛爐的詳細(xì)介紹。

密封性為了控制爐內(nèi)的氣氛，維持爐內(nèi)的壓力，爐內(nèi)工作空間始終要與外界空氣隔絕，盡量避免漏氣和吸入空氣，故要求爐殼，砌體，爐門及所有外界連接零件如風(fēng)扇，熱電偶，輻射管，推拉料機(jī)等采用密封裝置；加熱方法為了保證氣氛的穩(wěn)定性，氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種，馬弗爐的火焰在馬弗外，工件在馬弗內(nèi)進(jìn)行間接加熱；無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管，將火焰或者電熱體與爐氣隔開，以免破環(huán)爐內(nèi)氣氛的穩(wěn)定。防爆裝置還原氣體和空氣混合達(dá)到一定混合比，在一定溫度下易引起，故對(duì)爐子的前，后室，淬火室以及緩冷室等均設(shè)有防爆裝置，爐子供氣和排氣的控制系統(tǒng)也要有防爆措施。合肥真萍科技?xì)夥諣t價(jià)格更優(yōu)惠。泉州氣氛爐生產(chǎn)廠商

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電熱鼓風(fēng)烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機(jī)械、食品、化工、化學(xué)品、五金工具等在恒溫環(huán)境條件下做干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風(fēng)烤箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.工作室與外箱之間的保溫材質(zhì)是質(zhì)量超細(xì)玻璃纖維保溫棉，保溫厚度：＞70mm，隔溫效果好，國內(nèi)高性能的絕緣結(jié)構(gòu)。從內(nèi)到外有內(nèi)腔、外殼、超細(xì)玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層，內(nèi)膽熱量損失少。內(nèi)膽外箱及門膽結(jié)構(gòu)獨(dú)特，極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。2.門與門框之間采用高性能密封材料及獨(dú)特的橡膠密封結(jié)構(gòu)，密封、耐高溫性、抗老化性好。3.箱內(nèi)風(fēng)道采用雙循環(huán)系統(tǒng)，不銹鋼多翼式離心風(fēng)輪及循環(huán)風(fēng)道組成，置于箱體背部的電加熱器熱量通過側(cè)面風(fēng)道向前排出，經(jīng)過干燥物后再被背部的離心風(fēng)輪吸入，形成合理的風(fēng)道，能使熱氣充分對(duì)流，使箱內(nèi)溫度相當(dāng)大限度達(dá)到均勻。提高了空氣流量加熱的能力，大幅改善了干燥箱的溫度均勻性。4.加熱器用不銹鋼電加熱管，升溫快，壽命長。常州氣氛爐供應(yīng)商家

合肥真萍電子科技有限公司是一家生產(chǎn)型類企業(yè)，積極探索行業(yè)發(fā)展，努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。是一家有限責(zé)任公司企業(yè)，隨著市場(chǎng)的發(fā)展和生產(chǎn)的需求，與多家企業(yè)合作研究，在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進(jìn)，追求新型，在強(qiáng)化內(nèi)部管理，完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時(shí)，良好的質(zhì)量、合理的價(jià)格、完善的服務(wù)，在業(yè)界受到寬泛好評(píng)。公司始終堅(jiān)持客戶需求優(yōu)先的原則，致力于提供高質(zhì)量的潔凈箱，干燥箱，高溫?zé)o氧烤箱，隧道爐。真萍電子自成立以來，一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專業(yè)化路線，得到了廣大客戶及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持。