光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。網(wǎng)帶爐的原理是什么?合肥真萍告訴您。泉州小型網(wǎng)帶爐批發(fā)
本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。復(fù)合網(wǎng)帶爐價格是多少合肥真萍告訴您網(wǎng)帶爐哪家好?
真空干燥箱是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點,加快干燥的速度。真萍科技作為真空干燥箱的原產(chǎn)廠家,生產(chǎn)的真空干燥箱都是廠家直接生產(chǎn)銷售,質(zhì)量可靠,有品質(zhì)保證,歡迎來電咨詢。大家知道真空干燥箱有哪些特點嗎?不同廠商的真空干燥箱特點自然有所不同,小編下面為大家介紹一下真萍科技真空干燥箱的特點。1.接通電源;2.產(chǎn)品送入腔體,關(guān)門;3.打開電源;4.工作溫度設(shè)定好,啟動加熱,設(shè)備進入自動恒溫狀態(tài);5.真空值和時間設(shè)定好后,啟動真空泵,開始進入自動抽真空階段;6.到達時間值后,真空泵自動關(guān)閉。
精密鼓風(fēng)烘箱適用于電子元器件、橡膠、塑料、裝飾材料等行業(yè)對溫度均勻性要求比較嚴格的實驗。真萍科技精密鼓風(fēng)烤箱采用進口液晶顯示控制器,產(chǎn)品采用綜合的電磁兼容設(shè)計和人性化的菜單設(shè)計,使得設(shè)備操作完全傻瓜化,控溫效果較好。高亮度寬視窗液晶顯示,示值清晰、直觀。微電腦智能控制。設(shè)定溫度和時間后,儀表自行控制加熱功率,并顯示加熱狀態(tài),控溫精確而穩(wěn)定。超溫報警并自動切斷加熱電源。電器控制系統(tǒng):1.電氣控制元器件均采用國內(nèi)出名品牌“正泰”2.電氣線路設(shè)計新穎,合理布線,安全可靠3.箱體頂部為電氣控制柜,方便于集中檢查維修安全保護系統(tǒng):1.超溫報警2.欠相缺相保護3.過電流保護4.快速熔斷器5.接地保護合肥真萍與您分享網(wǎng)帶爐的重要性。
無氧干燥箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。下面為大家簡單介紹一下無氧干燥箱。1.技術(shù)指標(biāo)與基本配置:1.1使用溫度:RT~260℃,極限溫度:300℃;1.2爐膛腔數(shù):2個,上下布置;1.3爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:K分度1.4溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀;2.氧含量(配氧分析儀):2.1高溫狀態(tài)氧含量:≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量:≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度:1℃;2.3溫度均勻度:2%℃(260℃平臺);合肥真萍科技為您提供網(wǎng)帶爐的詳細介紹。廈門烘銀網(wǎng)帶爐
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下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設(shè)計。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點1.后門設(shè)計熱風(fēng)電機2.降溫時風(fēng)機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的。泉州小型網(wǎng)帶爐批發(fā)