本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍科技試驗箱誠信經(jīng)營。攀枝花大型試驗箱
隧道爐適用于五金模具、航天航空、納米材料、精密陶瓷、粉末治金、鐵氟龍噴涂、五金、鋰電池、化工、運(yùn)動器材、汽車零配件、電機(jī)、化工、工業(yè)之烘烤、干燥、預(yù)熱回火、退火、老化等用途。作為隧道爐的質(zhì)量供應(yīng)商原產(chǎn)廠家,小編下面就為大家介紹一下真萍科技隧道爐的產(chǎn)品材質(zhì)的構(gòu)成。1.外箱構(gòu)成。外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板/內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼2.系統(tǒng)裝置保護(hù)裝置定時報警斷電裝置、超溫斷電、漏電保護(hù)斷路器、電機(jī)過載保護(hù)。試驗箱批發(fā)試驗箱如何選擇?合肥真萍科技告訴您。
精密鼓風(fēng)烘箱主要應(yīng)用于電子元器件、橡膠、塑料、裝飾材料等行業(yè)對溫度均勻性要求比較嚴(yán)格的實驗。下面為大家介紹一下真萍科技精密鼓風(fēng)烤箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.本設(shè)備由室體、加熱系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、送風(fēng)系統(tǒng)、保護(hù)系統(tǒng)等組成。2.箱體采用先進(jìn)設(shè)備制作、先進(jìn)的工藝制造流程、線條流暢,美觀大方。3.工作室材質(zhì)為不銹鋼SUS304材質(zhì),外箱材質(zhì)為冷軋鋼板,產(chǎn)品外殼采用環(huán)保金屬漆噴制,整體設(shè)計美觀大方,適合實驗室的顏色搭配。4.工作室內(nèi)擱架可隨用戶的要求任意調(diào)節(jié)高度以及擱架的數(shù)量。5.工作室與外箱之間的保溫材料為超細(xì)玻璃纖維保溫棉,保溫層厚度:>70mm,隔溫效果好,國內(nèi),高性能的絕緣結(jié)構(gòu)。從里到外有內(nèi)腔、內(nèi)殼、超細(xì)玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層,內(nèi)膽熱量損失少。內(nèi)膽外箱及門膽結(jié)構(gòu)獨特,極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。
下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無發(fā)塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境。試驗箱的重要組成部分。
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個數(shù)1個7.控溫點數(shù)2點8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮氣,流量計量程為2~20L/min;每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設(shè)置一個排氣囪,用于廢氣排放,廢氣3.經(jīng)過水封清洗后進(jìn)入大氣中,減少對環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量試驗箱怎么選?合肥真萍科技告訴您。高低溫試驗箱價格是多少
使用試驗箱前的檢查步驟。攀枝花大型試驗箱
1.爐膛氣氛:2路空氣,流量計量程為7~70L/min,每路流量可調(diào)節(jié);2.排氣系統(tǒng):在爐膛頂部設(shè)置一個排氣囪,用于廢氣排放。二、傳動系統(tǒng)1.傳動方式:升降式2.傳動類型:電動推桿傳動3.容積:20L三、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu):無2.產(chǎn)品降溫:隨爐降溫四、安全保護(hù)1.升、降、停按鈕:載料臺的升、降、??刂?.報警指示:超溫、斷偶、過載、超程、偏差等聲光報警3.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min五、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測量:采用B分度熱偶測量2.控制方式:高性能移相調(diào)壓+SCR晶閘管模塊控制2.1當(dāng)測量溫度超過設(shè)定的安全值時,斷加熱,并報警2.2當(dāng)測量溫度超過目標(biāo)溫度達(dá)到限制偏差值時,報警3.控制儀表:采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多項報警保護(hù)功能。攀枝花大型試驗箱