下面為大家介紹一下石墨盤(pán)真空烤盤(pán)爐的技術(shù)指標(biāo)。1.使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2.絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;3.加熱元件:石墨加熱棒;4.冷卻方式:氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫;5.控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;6.爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);7.氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無(wú)油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%;8.極限真空:10-3torr級(jí);9.抽氣速率:空載下,30min達(dá)到10-2torr10.升溫功率:170kW;11.升溫速率:15℃/min(空載);12.降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘試驗(yàn)箱的基本結(jié)構(gòu)級(jí)應(yīng)用!合肥高低溫恒定濕熱試驗(yàn)箱
下面為大家介紹一下石墨盤(pán)真空烤盤(pán)爐的用途和設(shè)計(jì)。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤(pán)爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤(pán)或石英盤(pán))上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1.后門(mén)設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2.降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開(kāi)啟,同時(shí)兩端降溫封頭開(kāi)啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過(guò)氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的。西安做試驗(yàn)箱試驗(yàn)箱哪家好,推薦合肥真萍科技。
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于防止晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,防止探針卡潮濕及氧化,防止光罩的受潮---黃光部封裝的金線,液防止晶的受潮,以及防止線路板受潮。下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤竦牡獨(dú)獗O(jiān)控系統(tǒng)。1.溫濕度記錄功能:1.2內(nèi)建內(nèi)存,可儲(chǔ)存溫度/濕度,收集時(shí)間1~240分鐘可自行設(shè)定。1.3可利用RS232連接阜下載至計(jì)算機(jī)中讀取。1.4品管記錄格式設(shè)計(jì),有助于內(nèi)部記錄追蹤并可支持?jǐn)?shù)據(jù)庫(kù)檔案格式。2.濕度警報(bào)系統(tǒng):2.1可設(shè)定啟動(dòng)警報(bào)的濕度值及條件,內(nèi)配蜂鳴器(90分貝)及閃爍警示功能。2.2可另外選配積層式警示燈。3.溫濕度偏移校正功能:內(nèi)建校正功能,確保顯示準(zhǔn)確度。
下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的各項(xiàng)系統(tǒng)。一、氣氛系統(tǒng)。1.爐膛氣氛:2路空氣,流量計(jì)量程為7~70L/min,每路流量可調(diào)節(jié);2.排氣系統(tǒng):在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣囪,用于廢氣排放。二、傳動(dòng)系統(tǒng)1.傳動(dòng)方式:升降式2.傳動(dòng)類型:電動(dòng)推桿傳動(dòng)3.容積:20L三、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu):無(wú)2.產(chǎn)品降溫:隨爐降溫四、安全保護(hù)1.升、降、停按鈕:載料臺(tái)的升、降、停控制2.報(bào)警指示:超溫、斷偶、過(guò)載、超程、偏差等聲光報(bào)警3.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min五、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測(cè)量:采用B分度熱偶測(cè)量2.控制方式:高性能移相調(diào)壓+SCR晶閘管模塊控制2.1當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)設(shè)定的安全值時(shí),斷加熱,并報(bào)警2.2當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)目標(biāo)溫度達(dá)到限制偏差值時(shí),報(bào)警3.控制儀表:采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫上限報(bào)警、熱電偶失效指示等多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能試驗(yàn)箱的基本結(jié)構(gòu)級(jí)應(yīng)用。
下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。一、爐體配置爐膛結(jié)構(gòu):采用多晶莫來(lái)石材料砌筑而成有效尺寸:φ300320mm(DH)設(shè)備重量:約1200Kg外觀顏色:掛板采用高溫噴塑,顏色為江淮藍(lán)外形尺寸:W1300H2200D1510(mm),不含(囪、指示燈)二、熱工系統(tǒng)1.額定溫度:1550℃2.限制溫度:1600℃3.加熱元件:U型硅鉬棒4.加熱功率:16kW5.空爐保溫功率≤8kW6.溫區(qū)個(gè)數(shù):1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù):1點(diǎn)8.熱偶:B分度9.程序**精度:2℃(大于600℃,升溫速率≤3℃/min)10.控溫穩(wěn)定度:1℃(恒溫平臺(tái))11.爐膛溫度均勻度:4℃(恒溫1500℃,2h)試驗(yàn)箱制作原理是什么呢?合肥真萍科技為您專業(yè)解答。溫州高低溫低壓試驗(yàn)箱
使用試驗(yàn)箱的好處有哪些?合肥高低溫恒定濕熱試驗(yàn)箱
真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國(guó)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風(fēng)道部分,塵埃物過(guò)濾部分,N2進(jìn)氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,功能實(shí)用。2.外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵。3.內(nèi)膽材料:采進(jìn)口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺(tái)本身灰塵的產(chǎn)生。4.保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級(jí)高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費(fèi)。5.電熱部分:采用進(jìn)口覆套式電熱器(SHEATHEDHEATER)無(wú)塵無(wú)氧化電熱發(fā)生器。6.風(fēng)道部分:整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A,(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))過(guò)濾效果可達(dá)99.99%,Class100。合肥高低溫恒定濕熱試驗(yàn)箱