下面為大家介紹一下石墨盤烤盤爐一.產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達(dá)到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1、后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開啟，同時(shí)兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換，達(dá)到快速降溫的目的三、技術(shù)指標(biāo)1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；4、加熱元件：石墨加熱棒；5、冷卻方式：氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫；6、控溫穩(wěn)定度：2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；7、爐膛溫度均勻度：5℃（恒溫1500℃）；8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%；9、極限真空:10-3torr級(jí)；10、抽氣速率：空載下，30min達(dá)到10-2torr11、升溫功率：170kW；12、升溫速率：15℃/min（空載）；13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘工業(yè)烤箱哪個(gè)性價(jià)比高？合肥真萍科技告訴您。生產(chǎn)工業(yè)烤箱非標(biāo)定制

下面為大家簡單介紹一下真萍科技的產(chǎn)品之一——潔凈烘箱。本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造，普遍應(yīng)用于電子液晶顯示，LCD,CMOS,IC，醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。技術(shù)指標(biāo)：1無塵等級(jí)：Class100：（符合FED-STD209E標(biāo)準(zhǔn)：0.3um≤300個(gè)0.5≤100個(gè)）2溫度范圍：+60℃~+250℃（極限溫度350℃）3溫度均勻性：2℃（空箱測試）4溫度精確度：1℃（空箱測試）箱體結(jié)構(gòu)：1烘箱總體由箱體部分，電氣控制柜部分，電加熱部分，風(fēng)道部分，塵埃物過濾部分，N2進(jìn)氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，功能實(shí)用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵，內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺(tái)本身灰塵的產(chǎn)生。3保溫材料：采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級(jí)高密度保溫板填充，防止了熱能浪費(fèi)。4電熱部分：采用覆套式電熱器（SHEATHEDHEATER）無塵無氧化電熱發(fā)生器精密工業(yè)烤箱價(jià)格多少合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱發(fā)揮的重要作用。

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達(dá)到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1、后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開啟，同時(shí)兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換，達(dá)到快速降溫的目的三、技術(shù)指標(biāo)1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；4、加熱元件：石墨加熱棒；5、冷卻方式：氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫；6、控溫穩(wěn)定度：2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；7、爐膛溫度均勻度：5℃（恒溫1500℃）；8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%；9、極限真空:10-3torr級(jí)；10、抽氣速率：空載下，30min達(dá)到10-2torr11、升溫功率：170kW；12、升溫速率：15℃/min（空載）；13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘合肥哪家工業(yè)烤箱值得信賴呢？

高溫鐘罩爐設(shè)備規(guī)格及結(jié)構(gòu)爐膛結(jié)構(gòu)：采用多晶莫來石材料砌筑而成

一、熱工系統(tǒng)1.1額定溫度：1550℃1.2限制溫度：1600℃1.3加熱元件：U型硅鉬棒1.4加熱功率：16kW1.5空爐保溫功率≤8kW1.6溫區(qū)個(gè)數(shù)：1個(gè)1.7控溫點(diǎn)數(shù)：1點(diǎn)1.8熱偶:B分度1.9程序**精度：2℃（大于600℃,升溫速率≤3℃/min）二、氣氛系統(tǒng)2.1爐膛氣氛：2路空氣，流量計(jì)量程為7～70L/min；每路流量可調(diào)節(jié)2.2排氣系統(tǒng)：在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣*囪，用于廢氣排放三、傳動(dòng)系統(tǒng)3.1傳動(dòng)方式：升降式3.2傳動(dòng)類型：電動(dòng)推桿傳動(dòng)3.3容積：20L四、冷卻系統(tǒng)。 為什么大家都選擇合肥真萍科技的工業(yè)烤箱，原因真萍告訴您。福州精密工業(yè)烤箱

合肥真萍告訴您工業(yè)烤箱的應(yīng)用范圍。生產(chǎn)工業(yè)烤箱非標(biāo)定制

質(zhì)量連續(xù)爐的產(chǎn)品特性：1、采用智能型溫度控制模塊，PID自動(dòng)演算，LED顯示，配合SSR大功率可控硅輸出，能控制溫度之精細(xì)度；2、分段控制（當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定溫度時(shí)可任意關(guān)掉其中幾段發(fā)熱管，降低加熱功率，其達(dá)到省電效果）3、內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼(清潔無塵，防生銹、耐腐蝕)，外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板(強(qiáng)度、塑性和焊接綜合性能相當(dāng)好)；4、整機(jī)控制系統(tǒng)采用觸摸屏加PLC程序控制，設(shè)備加熱、運(yùn)風(fēng)、傳動(dòng)、自動(dòng)門開關(guān)均采用智能控制，防止失誤動(dòng)作；5、當(dāng)實(shí)際檢測溫度超過超溫保護(hù)溫控器設(shè)定值時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源，起到雙重保護(hù)功能。生產(chǎn)工業(yè)烤箱非標(biāo)定制