下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng)度:0.5℃4.真空泵:油泵或無(wú)油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開(kāi)箱溫度可以由user自行設(shè)定來(lái)降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫)。氣氛爐的常見(jiàn)用途介紹。熱風(fēng)排膠氣氛爐廠(chǎng)家直供
真空烘箱是一種將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的箱體式干燥設(shè)備。利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),從而降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點(diǎn)。一、真空程序分段控制該型號(hào)機(jī)型,抽真空過(guò)程可提供程序化編程,只需根據(jù)客戶(hù)要求編輯設(shè)定真空值,保壓時(shí)間值。相當(dāng)大可實(shí)現(xiàn)18段抽真空和保壓編程。二、操作步驟1.接通電源;2.產(chǎn)品送入腔體,關(guān)門(mén);3.打開(kāi)電源;4.工作溫度設(shè)定好,啟動(dòng)加熱,設(shè)備進(jìn)入自動(dòng)恒溫狀態(tài);5.真空值和時(shí)間設(shè)定好后,啟動(dòng)真空泵,開(kāi)始進(jìn)入自動(dòng)抽真空階段;6.到達(dá)時(shí)間值后,真空泵自動(dòng)關(guān)閉。江蘇氣氛爐銷(xiāo)售價(jià)格氣氛爐定制生產(chǎn),價(jià)格從優(yōu)。
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類(lèi)似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮?dú)?,流量?jì)量程為2~20L/min;每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣囪,用于廢氣排放,廢氣3.經(jīng)過(guò)水封清洗后進(jìn)入大氣中,減少對(duì)環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問(wèn)題解決光罩的受潮問(wèn)題---黃光部封裝的金線(xiàn),解決液晶的受潮問(wèn)題,解決線(xiàn)路板受潮問(wèn)題。下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤竦墓耋w規(guī)格、配備。1.左右雙開(kāi)門(mén),3mm鋼化玻璃,1mm厚不銹鋼板,氣密式隱藏鎖把手。2.柜體密封高吸附力磁性膠條與柜體密閉,腳墊采高承載車(chē)輪及調(diào)整高低腳墊。3.附高載重不銹鋼隔板,柜體加裝高載重煞車(chē)輪。4.上掀式氣密蓋,方便FFU保養(yǎng)及維修。5.回風(fēng)循環(huán)設(shè)計(jì),單向氮?dú)庋h(huán)不產(chǎn)生紊流。6.背面氣密開(kāi)門(mén)式設(shè)計(jì),方便潔凈清理與保養(yǎng)。合肥真萍科技?xì)夥諣t值得推薦。
真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國(guó)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)的半導(dǎo)體設(shè)備。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的的測(cè)控系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。一、測(cè)控系統(tǒng)1.溫度控制裝置:日本進(jìn)口溫控器,內(nèi)置PID自動(dòng)整定,斜率設(shè)定功能2.溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3.溫度監(jiān)控裝置:采用日本六通道巡回檢測(cè)有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實(shí)時(shí)環(huán)境溫度進(jìn)行檢測(cè)打印。二、控制系統(tǒng)1.操作控制系統(tǒng),采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動(dòng)系統(tǒng)控制,更快速,更穩(wěn)定。2.防護(hù)措施:緊急停止,超溫保護(hù),斷線(xiàn)報(bào)警,相序保護(hù),過(guò)載保護(hù),短路保護(hù),漏電保護(hù),及電磁門(mén)禁保護(hù)等。合肥真萍科技的氣氛爐,值得推薦。廈門(mén)氣氛爐規(guī)格尺寸
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1、以硅碳棒為加熱元件,爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu),雙層風(fēng)冷系統(tǒng),可以快速升降溫,爐殼表面溫度低;2、爐門(mén)、爐頂采用高溫硅橡膠密封,爐門(mén)配備水冷系統(tǒng)。爐體上有進(jìn)氣口、出氣口、抽真空口;3、爐膛材料采用質(zhì)量的進(jìn)口氧化鋁多晶纖維真空吸附制成,節(jié)能50%,加熱元件采用硅碳棒;4、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定能力并可編制各種升溫程序等功能,該控制系統(tǒng)溫度顯示精度為1℃,溫場(chǎng)穩(wěn)定度±5℃,升溫速率1~20℃可任意置;5、可以通氫氣、氬氣、氮?dú)獾绕渌麣怏w,并能預(yù)抽真空,真氛壓力可以達(dá)到0.1Mpa,爐體采用厚鋼板加工而成,安全可靠,符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。熱風(fēng)排膠氣氛爐廠(chǎng)家直供