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來源: 發(fā)布時間:2024-06-27

無氧干燥箱應用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。下面為大家介紹一下真萍科技無氧干燥箱。一、技術(shù)指標與基本配置:1.使用溫度:RT~260℃,極限溫度:300℃;2.爐膛腔數(shù):2個,上下布置;3.爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:K分度4.溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀;二、氧含量(配氧分析儀):1.高溫狀態(tài)氧含量:≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量:≤20ppm+氣源氧含量2.控溫穩(wěn)定度:1℃;2.3溫度均勻度:2%℃(260℃平臺);網(wǎng)帶爐的品牌哪個好?合肥真萍科技告訴您。溫州干燥網(wǎng)帶爐專賣

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1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規(guī)降溫)。固化網(wǎng)帶爐標準使用網(wǎng)帶爐的好處有哪些?

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超高真空烘箱被廣泛應用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項或同時作用下的環(huán)境適應性與可靠性試驗。下面為大家介紹一下超高真空烘箱的降溫速率。1.升溫時間:①常壓時:90min(常溫~+260℃)②低氣壓0.0001pa時:180min(常溫~+260℃)2.降溫時間:3℃~10℃/min(260℃~120℃),1℃~5℃/min(120℃~常溫℃)3.降溫方式:水冷降溫4.試驗箱承壓方式:采用內(nèi)承壓方式5.壓力范圍:常壓~0.0001Pa

下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。一、爐體配置爐膛結(jié)構(gòu):采用多晶莫來石材料砌筑而成有效尺寸:φ300320mm(DH)設(shè)備重量:約1200Kg外觀顏色:掛板采用高溫噴塑,顏色為江淮藍外形尺寸:W1300H2200D1510(mm),不含(囪、指示燈)二、熱工系統(tǒng)1.額定溫度:1550℃2.限制溫度:1600℃3.加熱元件:U型硅鉬棒4.加熱功率:16kW5.空爐保溫功率≤8kW6.溫區(qū)個數(shù):1個7.控溫點數(shù):1點8.熱偶:B分度9.程序精度:2℃(大于600℃,升溫速率≤3℃/min)10.控溫穩(wěn)定度:1℃(恒溫平臺)11.爐膛溫度均勻度:4℃(恒溫1500℃,2h)歡迎致電合肥真萍科技咨詢網(wǎng)帶爐相關(guān)知識。

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下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規(guī)降溫)。合肥真萍科技網(wǎng)帶爐誠信經(jīng)營。大型網(wǎng)帶爐批發(fā)

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一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個數(shù)1個7.控溫點數(shù)2點8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度±1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度±6℃(恒溫800℃,1h)二、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護4.報警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報警保護5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min,在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。溫州干燥網(wǎng)帶爐專賣

合肥真萍電子科技有限公司,是安徽旭騰微電子設(shè)備有限公司全資子公司,總部位于合肥經(jīng)開區(qū)天都路4345號真萍科技產(chǎn)業(yè)園,是一家專注于熱(+30~1600℃)、真空(1~1*10-6torr)、高壓(10MPa)等設(shè)備的半導體裝備行業(yè)技術(shù)企業(yè)。技術(shù)團隊主要由一批多年從事熱工、流體、結(jié)構(gòu)、半導體等行業(yè)的專業(yè)工程技術(shù)人員組成,現(xiàn)有研發(fā)人員40余人,均為本科及以上學歷。通過ISO9001質(zhì)量體系認證。目前,自有廠房面積約32000平米,潔凈車間約2000平米,是具有設(shè)計、制造、銷售及售后服務(wù)能力的綜合性企業(yè)。2022年,引入戰(zhàn)略投資公司入股真萍科技母公司安徽旭騰微電子設(shè)備有限公司,融資融智,加速推進公司產(chǎn)品技術(shù)研發(fā)進程,助力完善半導體裝備產(chǎn)業(yè)鏈拼圖。初創(chuàng)期設(shè)備從以單機、自動化程度不高的加熱/真空高潔凈度的半導體設(shè)備為基礎(chǔ),不斷向高集成自動化、滿足復雜制成工藝的立式爐、真空焊接爐發(fā)展,現(xiàn)已成為多家**研究中心以及集成電路生產(chǎn)優(yōu)先專業(yè)設(shè)備供應商。