本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。試驗箱有什么特點?合肥真萍科技告訴您。高低溫試驗箱怎么樣
下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設(shè)計。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點1.后門設(shè)計熱風電機2.降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的。徐州大型試驗箱合肥真萍科技建材為您提供專業(yè)的試驗箱定制服務(wù)。
真空烘箱是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點,加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點。1.長方體工作室,使有效容積達到相當大,微電腦溫度控制器,精確控溫。2.鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體,一目了然。3.箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度4.工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。
電熱鼓風烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機械、食品、化工、化學品、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風烤箱的技術(shù)參數(shù)。產(chǎn)品類型:數(shù)顯微電腦控制電源電壓:AC220V±10%50Hz±2%溫控范圍:室溫+10℃-250℃溫度分辨率:0.1℃溫度波動率:≤±0.5℃溫度均勻度:≤±2℃輸入功率:500W內(nèi)膽尺寸(mm):W300×D300×H270外形尺寸(mm):W580×D480×H440載物托架:2塊定時范圍:0-9999分鐘試驗箱如何發(fā)揮重要作用?合肥真萍告訴您。
下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術(shù)指標。1.HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱,使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時更易。2.低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能)3.溫度與PLC聯(lián)動保護功能(當PLC沒有啟動程序時,加溫功能啟動不了,相反加溫功能啟動時,PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能,發(fā)出警報)4.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無縫焊接(避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害)使用試驗箱能給人們帶來便利嗎?杭州高低溫恒定濕熱試驗箱
試驗箱的運作原理是什么?高低溫試驗箱怎么樣
使用高溫鐘罩爐有特定的操作方法,需按照標準操作規(guī)范進行,下面是真萍科技的鐘罩爐的使用注意事項。在使用高溫鐘罩爐時,其升溫要緩慢地用逐漸進步電壓的方法進行。留意不要超過安全溫度,避免焚毀電熱絲。將物料放入爐膛時,切勿碰及熱電偶,因伸入爐膛內(nèi)的熱電偶熱端在高溫下易于折斷。將金屬以及其它礦藏放入高溫鐘罩爐爐內(nèi)加熱時,有必要置于耐高溫的瓷坍渦或瓷皿中,或墊以耐火泥板或石棉板,避免與爐膛粘連在一起。不要讓高溫鐘罩爐受潮,以防漏電。高低溫試驗箱怎么樣