下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設(shè)計(jì)。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達(dá)到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1.后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2.降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開(kāi)啟，同時(shí)兩端降溫封頭開(kāi)啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過(guò)氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換，達(dá)到快速降溫的目的氣氛爐常見(jiàn)的用途有哪些？合肥真萍告訴您！熱風(fēng)排膠氣氛爐

密封性為了控制爐內(nèi)的氣氛，維持爐內(nèi)的壓力，爐內(nèi)工作空間始終要與外界空氣隔絕，盡量避免漏氣和吸入空氣，故要求爐殼，砌體，爐門及所有外界連接零件如風(fēng)扇，熱電偶，輻射管，推拉料機(jī)等采用密封裝置；加熱方法為了保證氣氛的穩(wěn)定性，氣氛爐可分為馬弗爐和無(wú)馬弗爐兩種，馬弗爐的火焰在馬弗外，工件在馬弗內(nèi)進(jìn)行間接加熱；無(wú)馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管，將火焰或者電熱體與爐氣隔開(kāi)，以免破環(huán)爐內(nèi)氣氛的穩(wěn)定。防爆裝置還原氣體和空氣混合達(dá)到一定混合比，在一定溫度下易引起，故對(duì)爐子的前，后室，淬火室以及緩冷室等均設(shè)有防爆裝置，爐子供氣和排氣的控制系統(tǒng)也要有防爆措施。廈門氣氛爐圖片合肥真萍科技的氣氛爐是否耐用？

中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理，下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度6℃（恒溫800℃,1h）二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛，兩路氮?dú)?，流量?jì)量程為2～20L/min；每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣囪，用于廢氣排放，廢氣3.經(jīng)過(guò)水封清洗后進(jìn)入大氣中，減少對(duì)環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量：5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量

下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動(dòng)度：0.5℃4.真空泵：油泵或無(wú)油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài)）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開(kāi)箱溫度可以由user自行設(shè)定來(lái)降低process時(shí)間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間），為正常工作周期不含降溫時(shí)間（因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫）。合肥真萍科技-氣氛爐生產(chǎn)廠家。

1、以硅碳棒為加熱元件，爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu)，雙層風(fēng)冷系統(tǒng)，可以快速升降溫，爐殼表面溫度低；2、爐門、爐頂采用高溫硅橡膠密封，爐門配備水冷系統(tǒng)。爐體上有進(jìn)氣口、出氣口、抽真空口；3、爐膛材料采用質(zhì)量的進(jìn)口氧化鋁多晶纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，加熱元件采用硅碳棒；4、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定能力并可編制各種升溫程序等功能，該控制系統(tǒng)溫度顯示精度為1℃，溫場(chǎng)穩(wěn)定度±5℃，升溫速率1~20℃可任意置；5、可以通氫氣、氬氣、氮?dú)獾绕渌麣怏w，并能預(yù)抽真空，真氛壓力可以達(dá)到0.1Mpa,爐體采用厚鋼板加工而成，安全可靠，符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。合肥真萍科技?xì)夥諣t專業(yè)值得信賴。福建氣氛爐價(jià)格多少

氣氛爐怎樣使用？合肥真萍告訴您。熱風(fēng)排膠氣氛爐

氣氛爐的結(jié)構(gòu)，就是普通馬弗爐的一個(gè)改進(jìn)版本，在馬弗爐的基礎(chǔ)上把箱體滿焊，再通過(guò)硅橡膠達(dá)到爐體的密封，爐門有冷卻水系統(tǒng)，爐體上有幾路進(jìn)出氣閥門，有壓力表，有真空泵，客戶可以一邊進(jìn)氣一邊出氣。同時(shí)也可以抽真空，可以沖正壓。但真空度是一定的，市場(chǎng)上生產(chǎn)的氣氛爐一般都是方型的，結(jié)構(gòu)決定了它不能抽到很高的真空度。功率輸出穩(wěn)定性，質(zhì)量的電磁爐應(yīng)具備輸出功率自動(dòng)調(diào)整功能，這一功能可改善電源適應(yīng)性和負(fù)載適應(yīng)性的。熱風(fēng)排膠氣氛爐