本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。網(wǎng)帶爐選購應(yīng)該注意哪些呢?合肥真萍科技告訴您。干燥網(wǎng)帶爐推薦廠家
下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無發(fā)塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境。常州小型網(wǎng)帶爐價格多少網(wǎng)帶爐的結(jié)構(gòu)如何組成?
冷熱沖擊試驗箱具有模擬大氣環(huán)境中溫度變化規(guī)律。主要針對于電工,電子產(chǎn)品,以及其元器件及其它材料在高溫,低溫綜合環(huán)境下運輸,使用時的適應(yīng)性試驗。用于產(chǎn)品設(shè)計,改進(jìn),鑒定及檢驗等環(huán)節(jié)。真萍科技作為冷熱沖擊試驗箱設(shè)備制造廠商,在冷熱沖擊試驗箱設(shè)備制造領(lǐng)域的專業(yè)性是不用多說的。下面讓真萍科技從溫度方面,帶您了解冷熱沖擊試驗箱。一、溫度均勻度舊標(biāo)準(zhǔn)稱均勻度,新標(biāo)準(zhǔn)稱梯度。溫度穩(wěn)定后,在任意時間間隔內(nèi),工作空間內(nèi)任意兩點的溫度平均值之差的較大值。這個指標(biāo)比下面的溫度偏差指標(biāo)更可以考核產(chǎn)品的**技術(shù),因此好多公司的樣本及方案刻意隱藏此項。一般標(biāo)準(zhǔn)要求指標(biāo)為≤2℃。二、溫度偏差溫度穩(wěn)定后,在任意時間間隔內(nèi),工作空間中心溫度的平均值和工作空間內(nèi)其它點的溫度平均值之差。雖然新舊標(biāo)準(zhǔn)對此指標(biāo)的定義和稱呼相同,但檢測已有所改變,新標(biāo)準(zhǔn)更實際,更苛刻一點,但考核時間短點。一般標(biāo)準(zhǔn)要求指標(biāo)為±2℃,純高溫試驗箱200℃以上可按實際使用溫度攝氏度(℃)±2%要求。
三綜合試驗是指綜合溫度、濕度、振動三個環(huán)境應(yīng)力的試驗,具有極寬大的溫濕度控制范圍,可滿足用戶的各種需要采用獨特的平衡調(diào)溫調(diào)濕方式,可獲得安全、精確的溫濕度環(huán)境。同時可在三綜合試驗箱內(nèi)將電振動應(yīng)力按規(guī)定的周期施加到試品上,供用戶對整機(jī)(或部件)、電器、儀器、材料等作溫濕度、振動綜合應(yīng)力篩選試驗,以便考核試品的適應(yīng)性或?qū)υ嚻返男袨樽鞒鲈u價。下面為大家介紹一下真萍科技的溫濕度振動三綜合試驗箱特點。1.試驗室與制冷系統(tǒng)整體組合式結(jié)構(gòu),緊湊美觀,便于操作制冷壓縮機(jī)組及主要配件均為口。2.進(jìn)口LCD彩色液晶觸摸屏,溫、濕度程序自動控制,配有RS232通訊接口3.可根據(jù)用戶要求選配不同制造商不同型號的振動臺,振動臺接口接口可有多種形式選用,保證冷、熱、汽密封的同時,振動臺具有良好的力學(xué)傳遞性。4.可根據(jù)用戶要求設(shè)計、制造不同規(guī)格。網(wǎng)帶爐的功能具體介紹。
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應(yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜的過濾系統(tǒng)。1.EBM電子式EC馬達(dá)控制無塵室FFU。2.鏡面不銹鋼結(jié)構(gòu)體。3.特殊導(dǎo)流風(fēng)道設(shè)計,風(fēng)壓平均,可有效提供風(fēng)量,降低噪音。4.電路板控制模塊,提供安全保護(hù)裝置,運轉(zhuǎn)異常指示燈及控制干接點輸出。5.無段式風(fēng)量調(diào)速器可任意調(diào)整風(fēng)量大小。6.濾網(wǎng)ULPA,0.12μm,99.9995%以上的過濾效果。7.電力規(guī)格:單相220V50Hz0.95A,輸出功率150W。網(wǎng)帶爐給社會帶來了什么好處?復(fù)合網(wǎng)帶爐代理公司
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精密鼓風(fēng)烘箱適用于電子元器件、橡膠、塑料、裝飾材料等行業(yè)對溫度均勻性要求比較嚴(yán)格的實驗。下面為大家介紹一下真萍科技精密鼓風(fēng)烤箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.門與門框之間采用高性能密封材料及獨特的橡膠密封結(jié)構(gòu),密封、耐高溫性、抗老化性好。2.箱內(nèi)風(fēng)道采用雙循環(huán)系統(tǒng),不銹鋼多翼式離心風(fēng)輪及循環(huán)風(fēng)道組成,置于箱體背部的電加熱器熱量通過側(cè)面風(fēng)道向前排出,經(jīng)過干燥物后再被背部的離心風(fēng)輪吸入,形成合理的風(fēng)道,能使熱空氣充分對流,使箱內(nèi)溫度相當(dāng)大限度達(dá)到均勻。提高了空氣流量加熱的能力,大幅改善了干燥箱的溫度均勻性。3.加熱器用不銹鋼電加熱管,升溫快,壽命長。干燥網(wǎng)帶爐推薦廠家