HMDS真空烤箱主要技術(shù)指標(biāo):1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時(shí)間。5.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無(wú)發(fā)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。6HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱,使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時(shí)更易。7.低液報(bào)警裝置,采用紅外液體感測(cè)器,能及時(shí)靈敏給出指令(當(dāng)HMDS液過(guò)低時(shí)發(fā)出報(bào)警及及時(shí)切斷工作起動(dòng)功能)8.溫度與PLC聯(lián)動(dòng)保護(hù)功能(當(dāng)PLC沒(méi)有啟動(dòng)程序時(shí),加溫功能啟動(dòng)不了,相反加溫功能啟動(dòng)時(shí),PLC程序不按正常走時(shí)也及時(shí)切斷工作功能,發(fā)出警報(bào))9.整個(gè)箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無(wú)縫焊接(避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對(duì)人體的傷害)工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用?江蘇工業(yè)烤箱專賣
溫濕度振動(dòng)三綜合試驗(yàn)箱簡(jiǎn)介:廣泛應(yīng)用在對(duì)電工電子、家用電器、汽摩配件、化工涂料、航天、航空、石油、化工、電子、通訊、及其它相關(guān)產(chǎn)品零部件及材料進(jìn)行高低溫、恒定、交變濕熱及振動(dòng)沖擊綜合試驗(yàn),并與單一因素作用相比更能真實(shí)地反映電工電子產(chǎn)品在運(yùn)輸和實(shí)際使用過(guò)程中對(duì)溫濕度及振動(dòng)復(fù)合環(huán)境變化的適應(yīng)性,暴露產(chǎn)品的缺點(diǎn),是新產(chǎn)品研制、樣機(jī)試驗(yàn)、產(chǎn)品合格鑒定試驗(yàn)全過(guò)程必不可少的重要試驗(yàn)手段。
三綜合試驗(yàn)是指綜合溫度、濕度、振動(dòng)三個(gè)環(huán)境應(yīng)力的試驗(yàn),具有極寬大的溫濕度控制范圍,可滿足用戶的各種需要采用獨(dú)特的平衡調(diào)溫調(diào)濕方式,可獲得安全、精確的溫濕度環(huán)境。同時(shí)可在三綜合試驗(yàn)箱內(nèi)將電振動(dòng)應(yīng)力按規(guī)定的周期施加到試品上,供用戶對(duì)整機(jī)(或部件)、電器、儀器、材料等作溫濕度、振動(dòng)綜合應(yīng)力篩選試驗(yàn)。
特點(diǎn):1.試驗(yàn)室與制冷系統(tǒng)整體組合式結(jié)構(gòu),緊湊美觀,便于操作制冷壓縮機(jī)組及主要配件均為口。
2.進(jìn)口LCD彩色液晶觸摸屏,溫、濕度程序自動(dòng)控制,配有RS232通訊接口
3.可根據(jù)用戶要求選配不同制造商不同型號(hào)的振動(dòng)臺(tái),振動(dòng)臺(tái)接口接口可有多種形式選用,保證冷、熱、汽密封的同時(shí),振動(dòng)臺(tái)具有良好的力學(xué)傳遞性。
4.可根據(jù)用戶要求設(shè)計(jì)、制造不同規(guī)格 工業(yè)烤箱的工廠工業(yè)烤箱的結(jié)構(gòu)如何組成?
真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1、后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開(kāi)啟,同時(shí)兩端降溫封頭開(kāi)啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過(guò)氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的三、技術(shù)指標(biāo)1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:±2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:±5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無(wú)油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級(jí);10、抽氣速率:空載下,30min達(dá)到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)
潔凈烘箱,本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國(guó)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。箱體結(jié)構(gòu):1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風(fēng)道部分,塵埃物過(guò)濾部分,N2進(jìn)氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,功能實(shí)用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內(nèi)膽材料:采進(jìn)口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺(tái)本身灰塵的產(chǎn)生。3保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級(jí)高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費(fèi)。4電熱部分:采用進(jìn)口覆套式電熱器(SHEATHEDHEATER)無(wú)塵無(wú)氧化電熱發(fā)生器5風(fēng)道部分:整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A,(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))過(guò)濾效果可達(dá)99.99%,Class100;可靠先進(jìn)的測(cè)控系統(tǒng)1溫度控制裝置:日本進(jìn)口溫控器,內(nèi)置PID自動(dòng)整定,斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置:采用日本六通道巡回檢測(cè)有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實(shí)時(shí)環(huán)境溫度進(jìn)行檢測(cè)打印。工業(yè)烤箱的特點(diǎn)是什么?合肥真萍告訴您。
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問(wèn)題解決光罩的受潮問(wèn)題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問(wèn)題,解決線路板受潮問(wèn)題。下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤?。潔凈?jié)能氮?dú)夤竦牡獨(dú)獗O(jiān)控系統(tǒng):1.1、2.3”LED大屏幕數(shù)字顯示濕度/溫度。1.2、溫濕度顯示值0.1%-99.9%RH,溫度顯示值0.1℃-60.0℃。1.3、溫濕度收集采準(zhǔn)確傳感器,長(zhǎng)距離傳輸無(wú)誤差。潔凈節(jié)能氮?dú)夤竦臐穸瓤刂疲?.4.1利用濕度設(shè)定值來(lái)控制氮?dú)饬魅?,到達(dá)濕度設(shè)定值即停止進(jìn)氣,節(jié)省氮?dú)夂挠谩?.4.2濕度在1%-60%RH可調(diào)整。工業(yè)烤箱給社會(huì)帶來(lái)了什么好處?江蘇工業(yè)烤箱標(biāo)準(zhǔn)
工業(yè)烤箱運(yùn)用再哪些領(lǐng)域?江蘇工業(yè)烤箱專賣
高溫鐘罩爐設(shè)備規(guī)格及結(jié)構(gòu)爐膛結(jié)構(gòu):采用多晶莫來(lái)石材料砌筑而成外形尺寸:W1300×H2200×D1510(mm)一、熱工系統(tǒng)1.1額定溫度:1550℃1.2限制溫度:1600℃1.3加熱元件:U型硅鉬棒1.4加熱功率:16kW1.5空爐保溫功率≤8kW1.6溫區(qū)個(gè)數(shù):1個(gè)1.7控溫點(diǎn)數(shù):1點(diǎn)1.8熱偶:B分度1.9程序**精度:±2℃(大于600℃,升溫速率≤3℃/min)二、氣氛系統(tǒng)2.1爐膛氣氛:2路空氣,流量計(jì)量程為7~70L/min;每路流量可調(diào)節(jié)2.2排氣系統(tǒng):在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣*囪,用于廢氣排放三、傳動(dòng)系統(tǒng)3.1傳動(dòng)方式:升降式3.2傳動(dòng)類型:電動(dòng)推桿傳動(dòng)3.3容積:20L四、冷卻系統(tǒng)4.1冷卻結(jié)構(gòu):無(wú)4.2產(chǎn)品降溫:隨爐降溫五、安全保護(hù)5.1升、降、停按鈕:載料臺(tái)的升、降、??刂?.2報(bào)警指示:超溫、斷偶、過(guò)載、超程、偏差等聲光報(bào)警5.3設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min六、溫度控制系統(tǒng)6.1溫度測(cè)量:采用B分度熱偶測(cè)量6.2控制方式:高性能移相調(diào)壓+SCR晶閘管模塊控制6.3限溫處理:6.3.1當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)設(shè)定的安全值時(shí),斷加熱,并報(bào)警6.3.2當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)目標(biāo)溫度達(dá)到限制偏差值時(shí),報(bào)警6.4控制儀表:采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫上限報(bào)警、熱電偶失效指示等多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能江蘇工業(yè)烤箱專賣