浸沒光刻:在與浸沒光刻相對的干法光刻中,光刻透鏡與光刻膠之間是空氣。光刻膠直接吸收光源發(fā)出的紫外輻射并發(fā)生光化學反應。在浸沒光刻中,光刻鏡頭與光刻膠之間是特定液體。這些液體可以是純水也可以是別的化合物液體。光刻光源發(fā)出的輻射經過這些液體的時候發(fā)生了折射,波長變短。這樣,在不改變光源的前提條件下,更短波長的紫外光被投影光刻膠上,提高了光刻加工的分辨率。雙重光刻:雙重光刻的意思是通過兩次光刻使得加工分辨率翻倍。實現這個目的的一種方法是在開始光刻過后平移同一個光罩進行第二次光刻,以提高加工分辨率。下圖右展示了這樣一個過程。下圖右中雙重光刻子進行了兩次涂膠,兩次光刻和兩次刻蝕。隨著光刻膠技術的進步,只需要一次涂膠,兩次光刻和一次刻蝕的雙重光刻工藝也成為可能。光刻膠行業(yè)日系企業(yè)實力雄厚,國內廠商有望復刻成功經驗。普陀顯示面板光刻膠
光刻膠的產業(yè)鏈中游:為光刻膠制造環(huán)節(jié),當前全球光刻膠生產制造商主要被日本JSR、信越化學、住友化學、東京應化、美國陶氏化學等制造商所壟斷,中國本土企業(yè)在光刻膠市場的份額較低,與國外光刻膠制造商相比仍存明顯差距。
光刻膠的產業(yè)鏈下游:主要涉及半導體、平板顯示器、PCB等領域。伴隨消費升級、應用終端產品更新迭代速度加快,下游應用領域企業(yè)對半導體、平板顯示和PCB制造提出愈加精細化的要求,將帶動光刻膠行業(yè)持續(xù)發(fā)展。 江浙滬半導體光刻膠光引發(fā)劑光刻膠行業(yè)的上下游合作處于互相依存的關系,市場新進入者很難與現有企業(yè)競爭,簽約新客戶的難度高。
中國半導體光刻膠市場規(guī)模增速超過全球。隨著半導體制程節(jié)點不斷縮小,光刻工藝對光刻膠要求越來越高,需求量也越來越大。據智研咨詢數據,2018年全球半導體用光刻膠市場規(guī)模約13億美元,年復合增速為5.4%,預計未來5年年均增速約8%-10%;中國半導體用光刻膠市場規(guī)模約23億元人民幣,年復合增速為9.8%,預計未來5年年均增速約10%。以前,光刻膠主要依賴進口,隨著科技的逐漸發(fā)展,國產化光刻膠趨勢越來越明顯,相信國內光刻膠技術會越來越成熟,光刻膠國產化是必然趨勢。
EUV(極紫外光)光刻技術是20年來光刻領域的進展。由于目前可供利用的光學材料無法很好支持波長13nm以下的輻射的反射和透射,因此 EUV 光刻技術使用波長為13.5nm的紫外光作為光刻光源。EUV(極紫外光)光刻技術將半導體制程技術在10nm以下的區(qū)域繼續(xù)推進。在 EUV 光刻工藝的 13.5nm 波長尺度上,量子的不確定性效應開始顯現,為相應光源,光罩和光刻膠的設計和使用帶來了前所未有的挑戰(zhàn)。目前 EUV 光刻機只有荷蘭 ASML 有能力制造,許多相應的技術細節(jié)尚不為外界所知。在即將到來的 EUV 光刻時代,業(yè)界預期已經流行長達 20 年之久的 KrF、ArF 光刻膠技術或將迎來技術變革。光刻膠按應用領域分類,可分為 PCB 光刻膠、顯示面板光刻膠、半導體光刻膠及其他光刻膠。
根據2019年數據,全球半導體光刻膠**大廠商占據全球光刻膠市場87%份額。其中日本占有四家,分別是JSR、東京應化(TOK)、信越化學與富士電子材料,這四家的市場份額達到72%,市場集中度明顯。在半導體光刻膠細分領域,日本廠商在市場中具有較強話語權。(1)g/i線光刻膠市場:日本的東京應化、JSR、住友化學和富士膠片分別占據26%、15%、15%、8%的份額,在全球市場占據64%份額。(2)KrF光刻膠市場:日本企業(yè)東京應化、信越化學和JSR在全球KrF光刻膠細分市場分別占據34%、22%和18%份額,合計占比達到74%。(3)ArF光刻膠市場:日本企業(yè)JSR、信越化學、東京應化和住友化學包攬前四,分別占據全球ArF光刻膠細分市場25%、23%、20%和15%市場份額,合計市場份額達到83%。(4)EUV光刻膠市場:較先進的EUV光刻膠領域完全被日本企業(yè)所主導,日本JSR、東京應化、信越化學成為EUV光刻膠市場可實現量產的廠商。目前引入EUV工藝的*有三星電子和臺積電兩家公司。金屬氧化物光刻膠使用金屬離子及有機配體構建其主體結構,借助光敏基團實現光刻膠所需的性能。華東KrF光刻膠其他助劑
產品純度、金屬離子雜質控制等也是光刻膠生產工藝中需面臨的技術難關,光刻膠純度不足會導致芯片良率下降。普陀顯示面板光刻膠
光刻膠的產業(yè)鏈上游:主要涉及溶劑、樹脂、光敏劑等原材料供應商和光刻機、顯影機、檢測與測試等設備供應商。從原材料市場來看,由于中國從事光刻膠原材料研發(fā)及生產的供應商較少,中國光刻膠原材料市場主要被日本、韓國和美國廠商所占據。從設備市場來看,中國在光刻機、顯影機、檢測與測試設備行業(yè)的起步時間較晚,且這些設備具備較高的制造工藝壁壘,導致中國在光刻膠、顯影機、檢測與測試設備的國產化程度均低于10%。相信后期國產化程度會越來越高。普陀顯示面板光刻膠
上海蔚云化工有限公司公司是一家專門從事乙醇胺,乙二胺,丙二醇,己二酸二辛脂產品的生產和銷售,是一家貿易型企業(yè),公司成立于2017-03-31,位于上海市金山區(qū)龍勝路1000號二層211室C。多年來為國內各行業(yè)用戶提供各種產品支持。主要經營乙醇胺,乙二胺,丙二醇,己二酸二辛脂等產品服務,現在公司擁有一支經驗豐富的研發(fā)設計團隊,對于產品研發(fā)和生產要求極為嚴格,完全按照行業(yè)標準研發(fā)和生產。上海蔚云化工有限公司每年將部分收入投入到乙醇胺,乙二胺,丙二醇,己二酸二辛脂產品開發(fā)工作中,也為公司的技術創(chuàng)新和人材培養(yǎng)起到了很好的推動作用。公司在長期的生產運營中形成了一套完善的科技激勵政策,以激勵在技術研發(fā)、產品改進等。乙醇胺,乙二胺,丙二醇,己二酸二辛脂產品滿足客戶多方面的使用要求,讓客戶買的放心,用的稱心,產品定位以經濟實用為重心,公司真誠期待與您合作,相信有了您的支持我們會以昂揚的姿態(tài)不斷前進、進步。