材料的可加工性是納米精度機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的另一個(gè)限制。首先，所選材料必須可加工成所需的幾何形狀。例如，我們的大多數(shù)撓性運(yùn)動(dòng)臺(tái)都是通過(guò)電火花加工來(lái)切割的。玻璃陶瓷盡管它們具有許多良好的性能但顯然不能用這種加工方式。另一方面，加工成本在產(chǎn)品價(jià)格中占主導(dǎo)地位，因?yàn)榧{米精度機(jī)構(gòu)中的大部分組件尺寸都比較小，因此材料成本的影響并不顯著。材料的機(jī)械加工性取決于材料的強(qiáng)度、硬度、韌性和導(dǎo)熱性等特性。

鋁合金是工程結(jié)構(gòu)中常用的材料之一。精密儀器主要利用其導(dǎo)熱性好、易于制造（加工成本低）和質(zhì)量輕的特性。由于其高熱膨脹系數(shù)，必須小心使用。通常選擇這種材料進(jìn)行熱匹配。 根據(jù)壓電納米定位臺(tái)的應(yīng)用環(huán)境，它又分為標(biāo)準(zhǔn)版、低溫真空、無(wú)磁版本。顯微鏡自動(dòng)化改造系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)

壓電納米掃描系統(tǒng)是由精密壓電納米定位臺(tái)與壓電控制器組成，系統(tǒng)可完成單軸或多軸的納米精度的運(yùn)動(dòng)控制。下圖中為芯明天的一款小體積型Z向壓電納米掃描系統(tǒng)。干涉測(cè)量是基于電磁波的干涉理論，通過(guò)檢測(cè)相干電磁波的干涉圖樣、頻率、振幅、相位等屬性，將其應(yīng)用于各種相關(guān)測(cè)量的技術(shù)的統(tǒng)稱。用于實(shí)現(xiàn)干涉測(cè)量術(shù)的儀器被稱作干涉儀。在當(dāng)今科研領(lǐng)域、工業(yè)領(lǐng)域等，干涉測(cè)量術(shù)都發(fā)揮著重要作用，包括天文學(xué)、光纖光學(xué)、工程測(cè)量學(xué)等。在干涉測(cè)量中常用的工具是邁克爾遜干涉儀，一般可將相干光源的單條入射光束分成兩條相同的光束。每條光束的傳播路徑（稱為光程）不同，并在到達(dá)探測(cè)器之前重新會(huì)合。每條光束的傳播距離不同使它們之間產(chǎn)生相位差。該相位差形成了可通過(guò)探測(cè)器捕獲的干涉條紋。如果單條光束沿兩個(gè)光路分開(kāi)（測(cè)量光路和參考光路），則利用相位差便可判斷出所有可改變光束相位的因素。 納米級(jí)線性調(diào)整設(shè)備“納米定位”則是它的功能，它的移動(dòng)端面可以產(chǎn)生納米級(jí)精度的步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。

納米技術(shù)是21世紀(jì)重要的科學(xué)技術(shù)之一，它將引起一場(chǎng)新的工業(yè)發(fā)展浪潮。納米技術(shù)是包括納米電子、納米材料、納米生物、納米機(jī)械、納米制造、納米測(cè)量、納米物理納米化學(xué)等諸多科學(xué)技術(shù)在內(nèi)的一組技術(shù)的匯聚，其目的是研究、發(fā)展和加工結(jié)構(gòu)尺寸小于100nm的材料、裝置和系統(tǒng)，以獲得具有所需功能和性能的產(chǎn)品?？萍及l(fā)達(dá)國(guó)家為搶占這一高新技術(shù)生長(zhǎng)點(diǎn)、制高點(diǎn)，競(jìng)相將納米技術(shù)列為21世紀(jì)戰(zhàn)略性基礎(chǔ)研究的優(yōu)先項(xiàng)目。納米測(cè)量技術(shù)是納米技術(shù)的重要組成部分，對(duì)于納米材料的發(fā)展。納米器件和系統(tǒng)的研究與開(kāi)發(fā)具有十分重要的意義。納米測(cè)量技術(shù)的內(nèi)涵涉及納米尺度的評(píng)價(jià)、成份、微細(xì)結(jié)構(gòu)和物性的納米尺度的測(cè)量，它是在納米尺度上研究材料和件的結(jié)構(gòu)與性能、發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象、發(fā)展新方法、創(chuàng)造新技術(shù)的基礎(chǔ)。納米技術(shù)主要研究微觀尺度的物體和現(xiàn)象，同時(shí)微納米檢測(cè)技術(shù)也主要指微米和納米尺度和精度的檢測(cè)技術(shù)。與廣義的測(cè)量技術(shù)相比，納采測(cè)量技術(shù)具有被測(cè)量的尺度小以及以非接觸測(cè)量手段為主等主要特點(diǎn)。

納米平移臺(tái)參數(shù)運(yùn)動(dòng)范圍：納米定位器的極大位移。分辨率：平臺(tái)可以移動(dòng)的極小步長(zhǎng)。本底噪聲：當(dāng)平移臺(tái)處于靜態(tài)指令時(shí)，平移臺(tái)晃動(dòng)的振幅。它通常用峰值來(lái)測(cè)量和指定。它是傳感器噪聲、驅(qū)動(dòng)器電子噪聲和指令噪聲等的組合。由于我們使用的硅HR傳感器的信噪比非常高，所以我們平臺(tái)的位置噪聲非常有限。重復(fù)性：用相同的方法，同一試驗(yàn)材料，在相同的條件下獲得的一系列結(jié)果之間的一致程度。相同的條件是指同一操作者，同一設(shè)備，同一實(shí)驗(yàn)室和短暫的時(shí)間間隔。線性度誤差:實(shí)際位置和一階極佳擬合線（直線）之間的誤差。我們的納米定位產(chǎn)品通過(guò)激光干涉儀進(jìn)行校準(zhǔn)，非線性誤差被補(bǔ)償?shù)饺谐痰?.02%。共振頻率：壓電臺(tái)是以共振頻率為特征的振蕩機(jī)械系統(tǒng)。我們給出的諧振頻率是納米定位器上可以看到的極低諧振頻率。一般來(lái)說(shuō)，系統(tǒng)的諧振頻率越高，系統(tǒng)的穩(wěn)定性就越高，工作帶寬就越寬。壓電臺(tái)的諧振頻率是由堅(jiān)固性和質(zhì)量之比的平方根決定的。 納米定位臺(tái)是一個(gè)壓電掃描柔性引導(dǎo)平臺(tái)。

干涉物鏡就是將顯微鏡物鏡與干涉儀結(jié)合起來(lái)設(shè)計(jì)而成的一種特殊的顯微鏡物鏡。它的原理是一束光通過(guò)分光鏡后，將光直接射向樣品表面和內(nèi)置反光鏡，從樣品表面反射的光線和內(nèi)置反射鏡反射的光線再結(jié)合，就產(chǎn)生了干涉圖案。干涉物鏡可用在非接觸光學(xué)壓型測(cè)量設(shè)備上，通過(guò)此物鏡可得到表面位圖和表面測(cè)量參數(shù)等，也可用來(lái)檢測(cè)表面粗糙度，測(cè)量精度非常高，在一個(gè)波長(zhǎng)之內(nèi)。在系統(tǒng)工作時(shí)，通過(guò)納米移動(dòng)臺(tái)驅(qū)動(dòng)待測(cè)樣本表面在垂直方向上均勻、緩慢、連續(xù)運(yùn)動(dòng)，改變測(cè)量光路與參考光路的光程差。垂直掃描的過(guò)程中，相機(jī)依次獲取一系列的白光干涉圖，通過(guò)三維形貌恢復(fù)算法計(jì)算并定位出每個(gè)像素點(diǎn)的零光程差位置，即可得到相應(yīng)的高度信息，從而恢復(fù)出待測(cè)表面的三維形貌。 “壓電”指的是它的驅(qū)動(dòng)源，即利用PZT壓電陶瓷來(lái)作為驅(qū)動(dòng)源產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)。移相器性能提升

納米定位平臺(tái)的材料？顯微鏡自動(dòng)化改造系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)

在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的領(lǐng)域，通常需要壓電納米定位臺(tái)來(lái)實(shí)現(xiàn)納米甚至亞納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)控制精度。壓電納米定位臺(tái)在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)中的應(yīng)用：壓電納米定位臺(tái)用于讀寫(xiě)頭的高精度調(diào)節(jié)壓電納米定位臺(tái)可以在光盤數(shù)據(jù)存儲(chǔ)中應(yīng)用于高密度數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和讀取。壓電納米定位臺(tái)是一種納米級(jí)別的機(jī)械調(diào)節(jié)系統(tǒng)，它由壓電陶瓷和納米機(jī)械部件組成，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的位置調(diào)節(jié)。在光盤數(shù)據(jù)存儲(chǔ)中，壓電納米定位臺(tái)可以用來(lái)調(diào)節(jié)光學(xué)讀寫(xiě)頭的位置，提高數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和讀取的精度和容量。 顯微鏡自動(dòng)化改造系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)