壓電納米掃描系統(tǒng)是由精密壓電納米定位臺(tái)與壓電控制器組成，系統(tǒng)可完成單軸或多軸的納米精度的運(yùn)動(dòng)控制。下圖中為芯明天的一款小體積型Z向壓電納米掃描系統(tǒng)。干涉測(cè)量是基于電磁波的干涉理論，通過(guò)檢測(cè)相干電磁波的干涉圖樣、頻率、振幅、相位等屬性，將其應(yīng)用于各種相關(guān)測(cè)量的技術(shù)的統(tǒng)稱。用于實(shí)現(xiàn)干涉測(cè)量術(shù)的儀器被稱作干涉儀。在當(dāng)今科研領(lǐng)域、工業(yè)領(lǐng)域等，干涉測(cè)量術(shù)都發(fā)揮著重要作用，包括天文學(xué)、光纖光學(xué)、工程測(cè)量學(xué)等。在干涉測(cè)量中常用的工具是邁克爾遜干涉儀，一般可將相干光源的單條入射光束分成兩條相同的光束。每條光束的傳播路徑（稱為光程）不同，并在到達(dá)探測(cè)器之前重新會(huì)合。每條光束的傳播距離不同使它們之間產(chǎn)生相位差。該相位差形成了可通過(guò)探測(cè)器捕獲的干涉條紋。如果單條光束沿兩個(gè)光路分開（測(cè)量光路和參考光路），則利用相位差便可判斷出所有可改變光束相位的因素。 可根據(jù)需求提供或定制微米領(lǐng)域的電動(dòng)手動(dòng)移動(dòng)臺(tái)。納米力傳感電磁操作裝置

壓電納米定位臺(tái)的特點(diǎn)：壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)高精度位移，定位精度可達(dá)納米級(jí)。具有超高的導(dǎo)向精度，有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦等特點(diǎn)。壓電納米位移臺(tái)典型應(yīng)用：壓電納米位移臺(tái)在基礎(chǔ)科研市場(chǎng)，半導(dǎo)體市場(chǎng)，先進(jìn)制造業(yè)，生物醫(yī)藥行業(yè)，光學(xué)、通信等行業(yè)都能夠被廣泛應(yīng)用。尤其隨著國(guó)家政策對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的大力扶持，在半導(dǎo)體精密加工，芯片制造，5G通訊等具體應(yīng)用場(chǎng)景，壓電納米位移臺(tái)的市場(chǎng)需求得到進(jìn)一步擴(kuò)充，市場(chǎng)前景更廣闊。 亞微米角位臺(tái)廠家光纖對(duì)接錯(cuò)位，會(huì)導(dǎo)致光傳輸受阻或端面局部受熱等問(wèn)題。

過(guò)去十年，中國(guó)工業(yè)企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)正在加快對(duì)于設(shè)備和儀器的升級(jí)，從中國(guó)制造邁向中國(guó)創(chuàng)造，因此對(duì)于納米級(jí)別運(yùn)動(dòng)控制的需求出現(xiàn)了爆發(fā)。

精密儀器設(shè)計(jì)中相關(guān)的材料的選擇與傳統(tǒng)機(jī)械設(shè)計(jì)一般考慮相關(guān)，但主要關(guān)注點(diǎn)可能不同：例如強(qiáng)度和質(zhì)量可能不太重要，但保持形狀和尺寸穩(wěn)定性的能力，通常是要求很高的。由于材料的使用量小，因此材料成本可能不會(huì)對(duì)總成本產(chǎn)生重大影響，因此，性能被更優(yōu)先考慮，并且使用各種新材料是可行的。結(jié)構(gòu)材料的熱性能一直是精密儀器設(shè)計(jì)和使用的主要關(guān)注點(diǎn)。在正常使用中，所有機(jī)械設(shè)備都會(huì)遇到環(huán)境溫度變化、執(zhí)行器功耗、操作員操作等引起的熱量輸入。熱擾動(dòng)的直接影響是熱膨脹，它會(huì)引起機(jī)械部件的尺寸變化，從而導(dǎo)致儀器精度的損失。

干涉物鏡就是將顯微鏡物鏡與干涉儀結(jié)合起來(lái)設(shè)計(jì)而成的一種特殊的顯微鏡物鏡。它的原理是一束光通過(guò)分光鏡后，將光直接射向樣品表面和內(nèi)置反光鏡，從樣品表面反射的光線和內(nèi)置反射鏡反射的光線再結(jié)合，就產(chǎn)生了干涉圖案。干涉物鏡可用在非接觸光學(xué)壓型測(cè)量設(shè)備上，通過(guò)此物鏡可得到表面位圖和表面測(cè)量參數(shù)等，也可用來(lái)檢測(cè)表面粗糙度，測(cè)量精度非常高，在一個(gè)波長(zhǎng)之內(nèi)。在系統(tǒng)工作時(shí)，通過(guò)納米移動(dòng)臺(tái)驅(qū)動(dòng)待測(cè)樣本表面在垂直方向上均勻、緩慢、連續(xù)運(yùn)動(dòng)，改變測(cè)量光路與參考光路的光程差。垂直掃描的過(guò)程中，相機(jī)依次獲取一系列的白光干涉圖，通過(guò)三維形貌恢復(fù)算法計(jì)算并定位出每個(gè)像素點(diǎn)的零光程差位置，即可得到相應(yīng)的高度信息，從而恢復(fù)出待測(cè)表面的三維形貌。 低溫真空無(wú)磁型壓電納米定位臺(tái)非常適用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)等應(yīng)用。

納米定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)從上面的簡(jiǎn)要介紹中可以清楚地看出，為什么只考慮每個(gè)軸的共振頻率無(wú)法提供納米定位系統(tǒng)性能的準(zhǔn)確圖片。也正因如此，多數(shù)情況下，只有定制系統(tǒng)才能滿足各個(gè)應(yīng)用程序的特定要求。例如，必須選擇與應(yīng)用相匹配的共振頻率特性的結(jié)構(gòu)材料和平臺(tái)設(shè)計(jì)。此計(jì)算中的一個(gè)關(guān)鍵因素是施加的載荷。這就是為什么我們經(jīng)常在許多數(shù)據(jù)表中關(guān)注負(fù)載性能，因?yàn)檫@個(gè)標(biāo)準(zhǔn)能更好地反映平臺(tái)的實(shí)際用途。一般來(lái)說(shuō)，作用在平臺(tái)上的負(fù)載越大，平臺(tái)的共振頻率就越低。我們的高剛度平臺(tái)意味著共振頻率受負(fù)載變化的影響較小，因此任何動(dòng)態(tài)調(diào)諧對(duì)負(fù)載的變化都不太敏感。 納米定位臺(tái)底座固定方法。納米力傳感電磁運(yùn)動(dòng)微調(diào)解決方案

“納米定位”則是它的功能，它的移動(dòng)端面可以產(chǎn)生納米級(jí)精度的步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。納米力傳感電磁操作裝置

壓電納米位移臺(tái)的命名是由三部分組成：“壓電”指執(zhí)行器種類，是以PZT壓電陶瓷疊堆作為驅(qū)動(dòng)源；“納米”指精度等級(jí)，移動(dòng)端面在PZT壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)下，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的步進(jìn)或連續(xù)運(yùn)動(dòng)；“位移系統(tǒng)”指運(yùn)動(dòng)方式，其實(shí)現(xiàn)的是X、Y、Z向一維或多維的平移運(yùn)動(dòng)。壓電納米位移系統(tǒng)是將PZT壓電陶瓷與柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)、金屬殼體結(jié)構(gòu)相結(jié)合，并配備有機(jī)械固定安裝接口與負(fù)載安裝接口。壓電納米位移系統(tǒng)可直接帶動(dòng)負(fù)載進(jìn)行微位移調(diào)節(jié)，其運(yùn)動(dòng)面有螺紋孔用于安裝固定負(fù)載。此外，壓電納米位移系統(tǒng)可集成于各類高精密裝備，為其提供納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制、光路控制等。 納米力傳感電磁操作裝置