壓電驅(qū)動納米定位平臺是指以壓電陶瓷驅(qū)動器作為驅(qū)動元件,以柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)為支撐導(dǎo)向的微位移運(yùn)動平臺,是實(shí)現(xiàn)動態(tài)納米控制不可或缺的關(guān)鍵部分。在微操作器,磁盤驅(qū)動、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、納米壓印、納米操縱等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。該平臺由壓電陶瓷驅(qū)動器、柔性鉸鏈微位移機(jī)構(gòu)、微位移測量傳感器和控制系統(tǒng)組成。適用范圍:激光衛(wèi)星通信、激光雷達(dá)、超分辨率光學(xué)成像、光學(xué)測量、顯微成像、半導(dǎo)體檢測、表面檢測、高密度存儲 壓電納米定位臺可集成于各類高精密裝備,為其提供納米級運(yùn)動控制、光路控制等。壓電陶瓷調(diào)諧電路
壓電納米定位臺用于讀寫頭的高精度調(diào)節(jié)壓電納米定位臺可以在光盤數(shù)據(jù)存儲中應(yīng)用于高密度數(shù)據(jù)存儲和讀取。壓電納米定位臺是一種納米級別的機(jī)械調(diào)節(jié)系統(tǒng),它由壓電陶瓷和納米機(jī)械部件組成,可以實(shí)現(xiàn)納米級別的位置調(diào)節(jié)。在光盤數(shù)據(jù)存儲中,壓電納米定位臺可以用來調(diào)節(jié)光學(xué)讀寫頭的位置,提高數(shù)據(jù)存儲和讀取的精度和容量。在傳統(tǒng)的磁性硬盤中,讀取頭需要不斷地尋道和定位,通過壓電納米定位臺的精細(xì)調(diào)整可以實(shí)現(xiàn)讀取頭的精確定位和快速尋道,提高數(shù)據(jù)讀取的速度和效率,并且大幅度減少數(shù)據(jù)讀取的誤差。 納米精度調(diào)整設(shè)備中空式壓電納米定位臺在其臺面的中心區(qū)域具有通孔。
三維納米定位臺使用需要注意哪些細(xì)節(jié):1.確定使用環(huán)境:三維納米定位臺通常需要在實(shí)驗(yàn)室或清潔的環(huán)境下使用,以避免灰塵、霉菌等不良因素對設(shè)備產(chǎn)生影響。在使用前,用戶需要確保使用環(huán)境的溫度、濕度、光照等因素符合設(shè)備的要求,并在需要時采取相應(yīng)的措施進(jìn)行調(diào)整。2.確認(rèn)探針/樣品定位方向:在使用三維納米定位臺時,用戶需要明確探針/樣品的固定方向以及各軸運(yùn)動方向,以保證正確的位置調(diào)整和操作。一般來說,每個軸向會有一定的限制和范圍,用戶需要在使用前確認(rèn)并了解這些參數(shù)。3.確認(rèn)操作方式:三維納米定位臺通??梢酝ㄟ^計(jì)算機(jī)軟件、手柄、遙控器等多種方式進(jìn)行操作,用戶需要確認(rèn)自己所使用的操作方式,并熟練掌握相關(guān)的控制方法和技巧。此外,在進(jìn)行操作時還需要注意力度和速度,避免過度操作和突然運(yùn)動,導(dǎo)致設(shè)備和樣品的損壞。4.確認(rèn)電源供應(yīng):三維納米定位臺通常需要接通電源才能正常工作,因此用戶需要確認(rèn)電源接口和供應(yīng)情況,并確保設(shè)備和電源之間的連接正確牢固。同時,用戶還需要遵循相關(guān)的電源使用規(guī)定,注意防止漏電、過載等問題,以保障設(shè)備的正常使用和使用者的安全。
人們普遍認(rèn)為,如果了解了納米定位平臺的共振頻率,就可以準(zhǔn)確地展示其性能,尤其是動態(tài)性能。簡單來說,共振頻率越高,每個平臺軸的運(yùn)動就越快。然而,就像生活中的許多事情一樣,它并沒有那么簡單!實(shí)際上,共振頻率由幾個因素決定。這些因素都會影響平臺的性能,因此在正確選擇納米定位系統(tǒng)之前,需要綜合考慮以下因素:制造平臺的材料,因?yàn)椴牧系膭偠群兔芏葧绊懝舱耦l率。低密度材料的運(yùn)動質(zhì)量越小,共振頻率越高;然而,如果增加負(fù)載,則共振頻率將迅速下降。相比之下,高剛度平臺,即使是由重型材料制造,也能更好地保持其共振頻率。施加到納米定位臺的負(fù)荷定義了加載的共振頻率,通常被認(rèn)為是每個軸的前一個共振??刂坪头答侂娮釉O(shè)備,對于控制諸如前一和第二共振對每個平臺軸動態(tài)位置的影響等因素至關(guān)重要。整個系統(tǒng),包括平臺及其所有安裝附件或柔性鉸鏈,以及安裝平臺的設(shè)備,每個組件都可能產(chǎn)生不同的共振頻率。 納米定位平臺的工作原理圖講解。
壓電納米位移平臺是非中孔式位移臺,有一定的承重負(fù)載能力,是一款面向半導(dǎo)體制造、光纖制造、激光直寫等應(yīng)用方向的產(chǎn)品,采用閉環(huán)負(fù)反饋控制,具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、運(yùn)動范圍大、成本低等特點(diǎn)。主要用于帶動負(fù)載進(jìn)行納米級精度的位移,以實(shí)現(xiàn)超精密定位加工的用途。壓電納米位移平臺由疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器提供驅(qū)動力,經(jīng)過位移放大機(jī)構(gòu),柔性機(jī)構(gòu)推動移動端面進(jìn)行1X1、2X2或3X3高精度位移,由于疊堆型壓電陶瓷執(zhí)行器響應(yīng)速度快,體積小,出力大剛度高,可以根據(jù)控制信號實(shí)現(xiàn)毫秒級快速定位響應(yīng)。 測試校準(zhǔn)系統(tǒng)是將納米位移系統(tǒng)內(nèi)部的“標(biāo)尺”與米定義聯(lián)系起來,實(shí)現(xiàn)量值的溯源。納米調(diào)整臺多少錢
在極端環(huán)境下研究納米尺度下的物理學(xué)與材料學(xué)已成為學(xué)術(shù)研究的熱點(diǎn)。壓電陶瓷調(diào)諧電路
壓電納米位移臺斷電時保持自鎖,從而不消耗能量,不發(fā)熱,可以很好的保持位置的機(jī)械穩(wěn)定性。由壓電馬達(dá)驅(qū)動的納米位移臺一般把馬達(dá)安裝在位移臺的基座上,而動子則是安裝位移臺滑動臺面部分,壓電驅(qū)動納米位移臺沒有傳統(tǒng)電磁馬達(dá)(伺服或步進(jìn)電機(jī))驅(qū)動的位移臺所需的絲桿或蝸輪蝸桿組部件,是一個直接驅(qū)動,穩(wěn)定性更高,慣性更小,沒有回程間隙和機(jī)械部件之間的空回,響應(yīng)時間沒有所延遲。壓電陶瓷的形變量小,可以達(dá)到非常高的平臺位移精度,可以說壓電馬達(dá)驅(qū)動的位移臺是名副其實(shí)的納米位移臺。 壓電陶瓷調(diào)諧電路