半導(dǎo)體電子特氣行業(yè)具有較高的技術(shù)壁壘。半導(dǎo)體電子特種氣體在生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測(cè)、氣瓶處理等多項(xiàng)工藝技術(shù)，每一步均有嚴(yán)格的技術(shù)參數(shù)要求和質(zhì)量控制措施。為了保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量與成品率，特種氣體產(chǎn)品要同時(shí)滿足“超純”和“超凈”的要求，“超純”要求氣體純度達(dá)到 4.5N、5N 甚至 6N、7N（N 是 Nine 的簡(jiǎn)寫，幾個(gè) N 就有幾個(gè) 9“超凈”即要求嚴(yán)格控制粒子與金屬雜質(zhì)的含量。作為特種氣體的參數(shù)，純度每提升一個(gè) N，粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個(gè)數(shù)量級(jí)，都將帶來工藝復(fù)雜度和難度的提升。 溫度較低時(shí)，四氟化碳與二氧化碳不發(fā)生作用。上海***四氟化碳質(zhì)量代理商

四氟化碳，又稱為四氟甲烷。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳，也可以被視為一種無機(jī)化合物。所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過程中，需要使用四氟化碳。在蝕刻過程中，用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉，附有油墨的電路上銅皮得以保留，之后再用四氟化碳進(jìn)行清洗電路上的油墨再烘干.高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體是極大規(guī)模集成電路行業(yè)必須的清洗、蝕刻氣體。隨著極大規(guī)模集成電路技術(shù)的提升，芯片制程向14納米甚至7納米的邁進(jìn)，其對(duì)電子氣體的純度要求越來越高。為此，黎明院借助國(guó)家科技重大專項(xiàng)平臺(tái)，突破產(chǎn)物合成、精制提純、雜物分析、潔凈充裝等關(guān)鍵技術(shù)，攻克了高純度四氟化碳和六氟化硫制備過程中微量雜質(zhì)的純化、分析等技術(shù)難題，

一種四氟化碳?xì)怏w濃度檢測(cè)校正方法，包括：

通過雙光路檢測(cè)系統(tǒng)利用雙波長(zhǎng)紅外差分檢測(cè)法測(cè)量出不同溫度下的四氟化碳?xì)怏w濃度值；

將測(cè)量出的所述四氟化碳?xì)怏w濃度值和對(duì)應(yīng)的溫度值輸入至RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行訓(xùn)練；

將對(duì)測(cè)試樣本測(cè)量所得的四氟化碳?xì)怏w濃度值輸入至訓(xùn)練好的所述RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行測(cè)試并開展反演計(jì)算，得到校正后的四氟化碳?xì)怏w實(shí)際濃度值。

推薦地，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述四氟化碳?xì)怏w濃度檢測(cè)校正方法中，通過雙光路檢測(cè)系統(tǒng)利用雙波長(zhǎng)紅外差分檢測(cè)法測(cè)量出四氟化碳?xì)怏w濃度值，包括：所述紅外光源發(fā)出的紅外光束經(jīng)準(zhǔn)直后進(jìn)入內(nèi)置有四氟化碳?xì)怏w的所述氣體采樣室；被四氟化碳?xì)怏w吸收特定波長(zhǎng)的紅外光束作為測(cè)量光；波長(zhǎng)不受四氟化碳?xì)怏w影響的紅外光束作為參考光；

在所述測(cè)量光經(jīng)所述濾光片透射后，檢測(cè)所述測(cè)量光的光強(qiáng)；在所述參考光經(jīng)所述第二濾光片透射后，檢測(cè)所述參考光的光強(qiáng)；

性狀：無色無味氣體 2.熔點(diǎn)（℃）：-183.6 3.沸點(diǎn)（℃）：-127.8。

在使用四氟化碳的同時(shí)，也要注意使用四氟化碳的注意事項(xiàng)，如在泄漏時(shí)，應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴(kuò)散。如有可能，即時(shí)使用。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。四氟化碳的溶氧性很好，因此被科學(xué)家用于超深度潛水實(shí)驗(yàn)代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功，在275米到366米的深度內(nèi)，小白鼠仍可安全脫險(xiǎn)。通常常溫下只會(huì)與液氨-金屬鈉試劑能發(fā)生作用。南通優(yōu)良四氟化碳價(jià)格便宜

四氟化碳又稱四氟甲烷，被視為一種無機(jī)化合物。上海***四氟化碳質(zhì)量代理商

四氟化碳的化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，在通常情況下，它與硅直接接觸，也不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。溫度較低時(shí)，四氟化碳與二氧化碳不發(fā)生作用，只有在1000℃以上，才能和二氧化碳進(jìn)行反應(yīng)，生成羰基氟。 只有適當(dāng)?shù)臈l件下，四氟化碳才能與氧化劑和還原劑進(jìn)行反應(yīng)。 四氟化碳不燃燒，有低毒性和窒息性。四氟化碳對(duì)肝臟、腦神經(jīng)系統(tǒng)有損害。與可燃性氣體一起燃燒時(shí)，發(fā)生分解，產(chǎn)生的氧化物。

   四氟化碳沒有腐蝕性?？墒褂娩X、銅、青銅、鋼、不銹鋼等大部分金屬和合金材料。聚四氟乙烯和環(huán)氧樹脂具有良好的耐腐蝕性能。聚三氟氯乙烯聚合體接觸四氟化碳有輕微溶脹現(xiàn)象，但傻仍可耐無能蝕。尼龍?jiān)诟邷睾陀锌栈蛴兴执嬖谇闆r下，它全變脆。

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