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中國臺灣uv光學(xué)鍍膜設(shè)備

來源: 發(fā)布時間:2021-02-03

【磁控濺射光學(xué)鍍膜設(shè)備及鍍膜方法】設(shè)備包含真空鍍膜室、磁控濺射靶組件、立式旋轉(zhuǎn)鼓,真空鍍膜室為立式圓筒形結(jié)構(gòu),立式旋轉(zhuǎn)鼓位于真空鍍膜室內(nèi),繞垂直軸線旋轉(zhuǎn),立式旋轉(zhuǎn)鼓中心設(shè)置有旋轉(zhuǎn)密封箱,旋轉(zhuǎn)密封箱內(nèi)設(shè)置有膜厚測量儀表,旋轉(zhuǎn)密封箱的上部連接有旋轉(zhuǎn)軸,旋轉(zhuǎn)密封箱內(nèi)的氣氛與真空鍍膜室隔離。多組磁控濺射靶組件設(shè)置在立式旋轉(zhuǎn)鼓wai圍的真空鍍膜室的側(cè)壁上。鍍膜方法包括將需要鍍膜的工件裝卡到鍍膜設(shè)備的立式旋轉(zhuǎn)鼓的側(cè)面,對鍍膜設(shè)備抽真空;轉(zhuǎn)動立式旋轉(zhuǎn)鼓達到設(shè)定的轉(zhuǎn)速;啟動射頻離子源;交替啟動第一種材料的磁控靶靶和第二種材料的磁控靶,按工藝要求鍍制膜層。 光學(xué)鍍膜設(shè)備技術(shù)教程。中國臺灣uv光學(xué)鍍膜設(shè)備

【入射光的反射定律】照射到任何表面的光遵守光的反射、折射定律。表面平整的物體(這里以可以透光的玻璃為例)放置在空氣中,有一束光照射前表面時,將在入射點O 發(fā)生反射和折射。普通玻璃的反射率在8%左右,存在著眩光刺眼和透射影象的清晰度低等問題,甚至造成環(huán)境的不協(xié)調(diào)。在平板顯示、光伏發(fā)電、汽車玻璃、攝像鏡頭等領(lǐng)域均存在減反射(Anti -Reflectance,簡稱AR)的需求。 AR膜又稱增量膜,其主要功能是減少或消除透鏡、棱鏡、平面鏡等光學(xué)表面的反射光,從而增加這些元件的透光量。AR膜是應(yīng)用*廣、產(chǎn)量*大的一種光學(xué)膜,很多領(lǐng)域必須鍍膜,否則無法達到應(yīng)用的要求。如由18塊透鏡組成的35mm 自動變焦照相機,如果每個玻璃和空氣的界面有4%的反射,則沒有AR 的鏡頭光透過率為27%,鍍膜一層(剩余反射1.3%)的鏡頭光透過率為66%,鍍膜多層(剩余反射0.5%)的為85%。河北金屬光學(xué)鍍膜設(shè)備光學(xué)鍍膜設(shè)備詳細鍍膜方法。

【磁控濺射鍍膜設(shè)備工作原理】磁控濺射鍍膜設(shè)備的磁控濺射靶是采用靜止電磁場,而磁場是曲線型的,對數(shù)電場用于同軸圓柱形靶;均勻電場用于平面靶;S-qiang靶則位于兩者間.各部分的原理是一樣的. 電子受電場影響而加速飛向基材,在此過程中跟氬原子觸發(fā)碰撞.如果電子本身足夠30eV的能量的話,則電離出Ar?同時產(chǎn)生電子.電子依舊飛向基材,而Ar?受電場影響會移動到陰極(也就是濺射靶),同時用一種高能量轟擊靶的表面,也就是讓靶材發(fā)生濺射. 在這些濺射粒子中,中性的靶分子或原子會沉積在基片上而成膜;而二次電子在加速飛向基材時,在磁場的洛侖茲力影響之下,呈現(xiàn)螺旋線狀與擺線的復(fù)合形式在靶表面作一系列圓周運動.該電子不但運動路徑長,還是被電磁場理論束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域范圍內(nèi).于此區(qū)內(nèi)電離出大量的Ar?對靶材進行轟擊,所以說磁控濺射鍍膜設(shè)備的沉積速率高.

【光譜分光不良的具體情況】分光不良分為二種情況:一是全部膜系鍍制完成后,經(jīng)測試分光不良,此類不良主要按六節(jié)所述方法處理,一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷(包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷)造成的分光不良,一般都可以通過后續(xù)努力補救。后方法正確,補救的成功率比較高中斷的原因形式不一: ①停電 ②機器故障 ③人為中斷(發(fā)現(xiàn)錯誤、疑問后中斷) 中斷后信息: (一)知道鍍到第幾層,已鍍各層的膜厚; (二)知道到第幾層,*后一層膜的膜厚不確定; (三)不知道鍍了多少。 光學(xué)鍍膜設(shè)備的工作原理和構(gòu)成。

【什么是薄膜干涉】薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的氣體薄層。入射光經(jīng)薄膜上表面反射后得第yi束光,折射光經(jīng)薄膜下表面反射,又經(jīng)上表面折射后得第二束光,這兩束光在薄膜的同側(cè),由同一入射振動分出,是相干光,屬分振幅干涉。若光源為擴展光源(面光源),則只能在兩相干光束的特定重疊區(qū)才能觀察到干涉,故屬定域干涉。對兩表面互相平行的平面薄膜,干涉條紋定域在無窮遠,通常借助于會聚透鏡在其像方焦面內(nèi)觀察;對楔形薄膜,干涉條紋定域在薄膜附近。 實驗和理論都證明,只有兩列光波具有一定關(guān)系時,才能產(chǎn)生干涉條紋,這些關(guān)系稱為相干條件。薄膜的想干條件包括三點: 兩束光波的頻率相同; 束光波的震動方向相同; 兩束光波的相位差保持恒定。薄膜干涉兩相干光的光程差公式為: Δ=ntcos(α) ± λ/2   式中n為薄膜的折射率;t為入射點的薄膜厚度;α為薄膜內(nèi)的折射角;λ/2是由于兩束相干光在性質(zhì)不同的兩個界面(一個是光疏介質(zhì)到光密介質(zhì),另一個是光密介質(zhì)到光疏介質(zhì))上反射而引起的附加光程差。薄膜干涉原理廣fan應(yīng)用于光學(xué)表面的檢驗、微小的角度或線度的精密測量、減反射膜和干涉濾光片的制備等。 光學(xué)鍍膜設(shè)備是什么?遼寧光學(xué)鍍膜設(shè)備廠家

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【濾光片術(shù)語】 入射角度:入射光線和濾光片表面法線之間的夾角。當光線正入射時,入射角為0°。 光譜特性:濾光片光譜參數(shù)(透過率T,反射率R,光密度OD,位相,偏振狀態(tài)s,p等相對于波長變化的特性)。 中心波長:帶通濾光片的中心稱為中心波長(CWL)。通帶寬度用*大透過率 一半處的寬度表示(FWHM),通常稱為半寬。 有效孔徑:光學(xué)系統(tǒng)中有效利用的物理區(qū)域。通常于濾光片的外觀尺寸相似,同心,尺寸略小些。 截止位置/前-后:cut-on對應(yīng)光譜特性從衰減到透過的50%點,cut-off對應(yīng)光譜特性從透過到衰減的50%點。有時也可定義為峰值透過率的5%或者10%點。 公差Tolerance::任何產(chǎn)品都有制造公差。以帶通濾光片為例,中心波長要有公差,半寬要有公差,因此定購產(chǎn)品時一定要標明公差范圍。濾光片實際使用過程中并非公差越小越好,公差越小,制造難度越大,成本越高,用戶可以根據(jù)實際需要,提出合理公差范圍。 中國臺灣uv光學(xué)鍍膜設(shè)備

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